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besteht die Möglichkeit, dass sich die Pumpe vom System oder
der Motor vom Pumpengehäuse löst. In diesem Fall könnten
Metallsplitter von der Pumpe oder vom System geschleudert
werden, die schwere Schäden oder den Tod und/oder Schäden
an benachbarten Geräten zur Folge haben könnten.
TV 1001 SEM in einer stabilen Position befestigen. Den
Eintrittsflansch
der
Turbopumpe
Systems montieren. Diese Verbindung soll einem Drehmoment
von 8.900 Nm um die eigene Achse standhalten.
Der
ISO-K-Flansch
kann
Stahlklemmen befestigt werden (Typ Modell Varian IC 63250
DCMZ). Die nachstehende Tabelle gibt an, wie viele Klemmen
IC 63250 DCMZ für jeden Flansch erforderlich sind und mit
welchem Anzugsmoment sie festzuziehen sind.
FLANSCH
ANZ.
ISO 200 K
8
Turbopumpen mit ISO 200 F Eingangsflansch sind mit dem
speziellen
Varian Befestigungsmaterial
kammer anzuschließen. Für ausführliche Informationen siehe
im Anhang "Technical Information".
Modell TV 1001 SEM kann in jeder beliebigen Position
installiert werden.
HINWEIS
Modell TV 1001 SEM kann nicht mittels seines Sockels
befestigt werden.
!
ACHTUNG!
Der TV 1001 SEM gehört zur zweiten Installationsklasse
(Überdruck) die von den Normen EN 61010-1 vorgesehen ist. Die
Vorrichtung muß daher an eine Speisungsleitung angeschlossen
werden, die dieser Kategorie entspricht.
Der TV 1001 SEM hat Verbinder für den Ein-und Ausgang und die
Schnittstellenkommunikation, die an die Außenkreise angeschlossen
werden müssen, sodaß kein Teil unter Spannung zugänglich ist .
Sicherstellen, daß die Isolierung der an den TV 1001 SEM
angeschlossenen Vorrichtung auch bei einer Einzelstörung ausreichend
isoliert, wie es von der Richtlinie EN 61010-1 vorgesehen wird.
Für die Installation der Optionsteile siehe im Anhang "Technical
Information".
GEBRAUCH
In diesem Abschnitt werden die wichtigsten Betriebsvorgänge
erläutert. Vor Benutzung des Systems sind alle elektrischen
und pneumatischen Anschlüsse auszuführen. Während der
eventuellen
Aufheizung
der
Temperatur am Eingangsflansch 120°C nicht überschreiten.
GEFAHR!
Die Pumpe darf nicht in Betrieb genommen werden, wenn der
Eingangsflansch nicht an die Vakuumkammer angeschlossen
oder nicht mit dem Verschlußflansch verschlossen ist.
Während des Aufheizens dürfen weder die Pumpe noch
eventuelle heiße Zubehörteile berührt werden. Es besteht
Verbrennungsgefahr.
!
ACHTUNG!
Während des Betriebs sind Stoß- und Vibrationseinwirkungen
sowie Ruckbewegungen an der Turbopumpe zu vermeiden, da
die Lager beschädigt werden könnten.
Für die Belüftung der Pumpe trockene staub und partikelfreie Luft
oder
Inertgase
verwenden.
Belüftungsanschluß soll unter 2 bar (über dem atmosphärischen
Druck) betragen. Zum Pumpen von aggressiven Gasen sind die
Pumpen mit einer Öffnungsklappe ausgestattet, über die zum Schutz
der Lager Inertgas (Stickstoff oder Argon) zuzuleiten ist (siehe
Anhang "Technical Information").
am
Gegenflansch
des
zum
Beispiel
mit
hochfesten
ANZUGSMOMENT
35 Nm
an
die
Vakuum
Vakuumkammer
darf
Der
Eingangsdruck
Wenn die Pumpe zur Förderung von giftigen, leicht entflammbaren
oder radioaktiven Gasen benutzt wird, sind die für das jeweilige Gas
vorgeschriebenen Vorgänge und Maßnahmen zu befolgen. Die
Pumpe darf niemals bei Vorhandensein von explosionsfähigen
Gasen verwendet werden.
Einschaltung und Gebrauch von Modell TV
1001 SEM
Zur Einschaltung von Modell TV 1001 ist es mit der
erforderlichen
Versorgungsspannung
eingebaute Controller erfaßt automatisch das Vorhandensein
von Interlock- und Anlaufsignalen und startet die Pumpe.
Die Erstinbetriebnahme der Pumpe erfolgt im Modus "Soft
Start", der sich nach dem Anlaufzyklus selbsttätig abschaltet.
Daher erfolgen alle nachfolgenden Pumpenanläufe ohne den
Modus "Soft Start". Um die Pumpe erneut im Modus "Soft Start"
zu starten, ist dieser Modus mittels der Software wieder
freizugeben (siehe Abschnitt "RS 232 COMMUNICATION
DESCRIPTION" im Anhang "Technical Information").
Die grüne LED LD1 an der Bodenplatte von Modell TV 1001 gibt mit der
Häufigkeit ihres Blinkens die Betriebsbedingungen des System an:
-
Daueranzeige: Die Pumpe befindet sich im normalen
Betrieb.
-
Langsame Blinkanzeige (ca. 400 ms): das System befindet
sich entweder im Status Rampe, Abbremsung, Stopp oder
"Waiting for Interlock".
-
Schnelle Blinkanzeige (ca. 200 ms): Fehlerstatus.
Stoppen von Modell TV 1001 SEM
Zum
Stoppen
Versorgungsspannung abzuschalten. Der eingebaute Controller
sorgt für den sofortigen Pumpenstopp.
Für die Sicherheit des Bedieners muss der Controller Turbo-V
mit einem dreidrähtigen Stromkabel (siehe Tabelle der Bestell-
teile) versorgt werden, das mit einem (auf internationaler Ebene
genehmigten) Stecker ausgestattet ist. Verwenden Sie dieses
Kabel und den Stecker zusammen mit einer entsprechend
geerdeten Steckdose, um Stromschläge zu vermeiden und den
Anforderungen der EG-Richtlinien zu entsprechen.
Die Hochspannungen, die sich im Controller entwickeln, kön-
nen zu schweren Schäden oder zum Tod führen. Vor den War-
tungsarbeiten innerhalb der Einheit die Stromkabel trennen.
Not-Aus
die
Zur Stillsetzung von Mod. TV 1001 SEM in Notsituationen ist
vom Controller das Netzkabel abzuziehen.
WARTUNG
Modell TV 1001 SEM erfordert keine Wartung. Eventuelle
Eingriffe dürfen nur von autorisiertem Fachpersonal ausgeführt
werden.
Vor jedem Eingriff am System den Netzstecker ziehen, die
Pumpe über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften und
abwarten, bis der Rotor vollkommen stillsteht und die
Temperatur am Pumpengehäuse unter 50°C abgesunken ist.
Bei Defekten kann der Varian Service oder der "Varian
advanced exchange service" in Anspruch genommen werden,
der ein generalüberholtes System als Ersatz für das defekte
System zur Verfügung stellt.
am
Bevor Fa. Varian ein System zur Reparatur oder den
Umtauschdienst eingesandt wird, ist das Formular "Sicherheit
und Gesundheit", das diesem Handbuch beiliegt, ausgefüllt an
die örtliche Verkaufsstelle zu senden. Eine Kopie ist der
Verpackung des Systems vor dem Versand beizulegen.
Eine eventuelle Verschrottung hat unter Beachtung der
einschlägigen nationalen Vorschriften zu erfolgen.
6
GEBRAUCHSANLEITUNG
GEFAHR!
zu
versorgen.
von
Modell
TV
1001
GEFAHR!
GEFAHR!
HINWEIS
87-900-973-01(C)
Der
SEM
ist
die
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