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ALLGEMEINE INFORMATIONEN
Dieser Apparat ist für den fachmännischen Gebrauch bestimmt. Vor
dem Gebrauch hat der Benutzer dieses Handbuch sowie alle
weiteren mitgelieferten Zusatzdokumentationen genau zu lesen. Bei
auch teilweiser Nichtbeachtung der enthaltenen Anweisungen,
unsachgemäßem Gebrauch durch ungeschultes Personal, nicht
autorisierten Eingriffen und Mißachtung der nationalen einschlägigen
Normen übernimmt die Firma Varian keinerlei Haftung.
Bei den Pumpen der Serie TV 1001 SEM handelt es sich um
Turbomolekularpumpen
Ultrahochvakuumanwendungen. Sie eignen sich zur Förderung
von jeder Art von Gasen oder gashaltigen Gemischen, nicht
jedoch zur Förderung von Flüssigstoffen oder Festpartikel.
Die Pumpwirkung wird durch eine hochtourige Turbine (max.
38000
1/min)
erreicht,
die
drehstrommotor angetrieben wird. Modell TV 1001 SEM enthält
keinerlei umweltschädliche Substanzen und eignet sich deshalb
auch für Anwendungen, die ein "sauberes" Vakuum erfordern.
Modell TV 1001 SEM verfügt des weiteren über Zusatzanschlüsse,
über die ein zusätzlicher Ventilator versorgt, das Entlüftungsventil
gesteuert oder die Vorrichtung von einem Host Computer über
eine serielle Leitung gesteuert werden kann (RS232, RS485).
In den folgenden Abschnitten sind alle erforderlichen Informationen
für die Sicherheit des Bedieners bei der Anwendung des Geräts
aufgeführt. Detaillierte technische Informationen sind im Anhang
"Technical Information" enthalten.
In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheitshinweise
folgendermaßen hervorgehoben:
GEFAHR!
Die
Gefahrenhinweise
lenken
Bedieners
auf
einen
Vorgang
Ausführungsweise, die bei unkorrekter Ausführung schwere
Verletzungen hervorrufen könnten.
!
ACHTUNG!
Die Warnhinweise werden vor Vorgängen angegeben, die bei
Nichtbeachtung Schäden an der Anlage verursachen könnten.
HINWEIS
Die Hinweise enthalten wichtige Informationen, die aus dem
Text hervorgehoben werden.
LAGERUNG
Um ein Höchstmaß an Effizienz und Zuverlässigkeit der Varian
Turbomolekularpumpen zu gewährleisten, sind die folgenden
Anweisungen zu beachten:
•
Während des Transports, der Handhabung und der
Einlagerung der Pumpen dürfen die folgenden Grenzwerte
nicht überschritten werden:
•
Temperatur: von –20 °C bis 70 °C
•
Relative Feuchtigkeit: von 0 bis 95% (nicht kondensierend)
•
Der Kunde hat die Turbomolekularpumpen nach dem
Empfang bei Erstinbetriebnahme stets im Modus Soft-Start
ingangzusetzen.
•
Die Lagerdauer für eine Turbomolekularpumpe beträgt 10
Monate ab dem Speditionsdatum.
!
ACHTUNG!
Falls die Lagerdauer aus verschiedentlichen Gründen die
genannte Frist überschreiten sollte, ist die Pumpe an das Werk
zurückzusenden. Für Informationen wenden Sie sich bitte an
den örtlichen Varian Vertreter.
VOR DER INSTALLATION
Modell
TV
1001
SEM
Schutzverpackung geliefert. Eventuelle Transportschäden sind
der zuständigen örtlichen Verkaufsstelle zu melden. Modell TV
1001 SEM ist vorsichtig auszupacken, wobei es vor dem
Herunterfallen und vor Stößen und Vibrationen zu schützen ist.
Das Verpackungsmaterial ist vorschriftsgemäß zu entsorgen.
Es ist vollständig recyclebar und entspricht der Richtlinie
85/399/EWG für Umweltschutz.
für
Hoch-
und
von
einem
Hochleistungs-
die
Aufmerksamkeit
des
oder
eine
bestimmte
wird
in
einer
speziellen
!
Um Entgasungen zu vermeiden, dürfen die Teile, die mit dem
Vakuum in Berührung kommen, nicht mit den bloßen Händen
angefaßt werden. Es sind stets Schutzhandschuhe oder andere
Schutzmittel zu verwenden.
Modell TV 1001 SEM kann durch die Umgebung an sich keine
Schäden erleiden. Es sollte jedoch bis zur Installation an der
Anlage geschlossen bleiben, um Verunreinigungen durch Staub
zu vermeiden.
INSTALLATION
!
Das Klebeband abziehen und den Schutzdeckel erst bei
Anschluß der Turbopumpe an das System abnehmen.
Die Pumpe darf nicht in Umgebungen, die ungeschützt vor Wetter
(Regen, Frost, Schnee), Staub und aggressiven Gasen sind, sowie
auch nicht in explosionsfähigen oder erhöht brandgefährdeten
Umgebungen installiert und/oder benutzt werden.
Beim
Betrieb
müssen
eingehalten werden:
-
Maximaler Druck: 2 bar über dem atmosphärischen Druck
-
Temperatur: von +5°C bis +35°C (siehe Diagramm im
Anhang "Technical Information")
-
Relative Luftfeuchtigkeit: 0
Bei Vorhandensein von elektromagnetischen Feldern ist die
Pumpe
entsprechend
Informationen siehe im Anhang "Technical Information". Modell
TV 1001 SEM ist an eine Primärpumpe anzuschließen (siehe
Schema in "Technical Information").
BEFESTIGUNG DER PUMPE
Wenn ein Läuferschaden auftritt, könnte die Verbindung
zwischen der Pumpe und dem System mit einem erheblichen
Drehmoment belastet werden. Setzt die Verbindung diesem
Drehmoment keinen ausreichenden Widerstand entgegen,
5
GEBRAUCHSANLEITUNG
ACHTUNG!
HINWEIS
ACHTUNG!
folgende
Umgebungsbedingungen
95% (nicht kondensierend).
abzuschirmen.
Für
ausführliche
GEFAHR!
87-900-973-01(C)
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