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Varian TV 1001 SEM Bedienungshandbuch Seite 60

Turbomolekularpumpen
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TECHNICAL INFORMATION
Graph of nitrogen pumping speed vs inlet pressure
Graph of compression ratio vs foreline pressure
Graph of nitrogen throughput vs inlet pressure using
the recommended mechanical forevacuum pump
55
87-900-973-01(C)

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969-8939969-8940969-8978

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