INSTRUKCJA UZYTKOWANIA........................37 PŘÍRUČKA K POUŽITÍ.............................40 NÁVOD K POUŽITIU............................43 NAVODILA ZA UPORABO..........................46 INSTRUCTIONS FOR USE..........................49 TECHNICAL INFORMATION ...........................52 DESCRIPTION OF THE TV 801 NAVIGATOR ................52 Pump Description ......................52 Controller Description ......................53 TECHNICAL SPECIFICATION ....................53 TV 801 NAVIGATOR OUTLINE....................54 INTERCONNECTIONS........................55 P3 - Vent ..........................55 P4 –...
ISTRUZIONI PER L'USO Indicazioni di Sicurezza Pompe Turbomolecolari Le pompe Turbomolecolari descritte nel seguente Manuale di Istruzioni hanno una elevata quantità di energia cinetica dovuta alla alta velocità di rotazione in unione alla massa specifica dei loro rotori. Nel caso di un guasto del sistema, ad esempio per un contatto tra rotore e statore o per una rottura del rotore, l'energia di rotazione potrebbe essere rilasciata.
Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare at- ed il sistema potrebbe essere sottoposta ad una coppia signifi- tenzione a non lasciar cadere il TV 801 Navigator e a non sot- cativa. Se la connessione non è sufficiente per resistere alla...
Il LED verde posto sul pannello della base del TV 801 Naviga- NOTA tor indica, con la frequenza del suo lampeggio, le condizioni Il TV 801 Navigator non può essere fissato tramite la sua base. operative del sistema: − acceso fisso: la pompa è in rotazione normale;...
GEBRAUCHSANLEITUNG Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen Die in der folgenden Gebrauchsanweisung beschriebenen Turbomolekularpumpen verfügen aufgrund der hohen Rotationsgeschwindigkeit in Verbindung mit dem spezifischen Gewicht ihrer Rotoren über eine große Menge kinetischer Energie. Im Falle eines Systemdefekts, z.B. durch einen Kontakt zwischen Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch, könnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden.
Schutzmittel zu verwenden. autorisierten Eingriffen und Mißachtung der nationalen einschlägi- gen Normen übernimmt die Firma Varian keinerlei Haftung. Modell TV 801 Navigator ist ein integriertes System, das aus einer Turbomolekularpumpe für Hoch- und Höchstvakuum- anwendungen, integriert mit einem entsprechenden Controller, besteht.
Für ausführliche Informationen siehe im An- mit der Häufigkeit ihres Blinkens die Betriebsbedingungen des hang "Technical Information". System an: Modell TV 801 Navigator kann in jeder beliebigen Position in- Daueranzeige: Die Pumpe befindet sich im normalen Be- stalliert werden. trieb.
MODE D’EMPLOI Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Les pompes Turbomoléculaires décrites dans le Manuel d'Instructions suivant ont une énergie cinétique élevée due à la grande vitesse de rotation associée à la masse spécifique de leurs rotors. En cas de panne du système, par exemple à cause d'un contact entre rotor et stator ou d'une rupture du rotor, l'énergie de rotation pourrait être libérée.
Navigator est totalement exempt d'agents polluants et il est par conséquent indiqué pour toutes les applications exigeant un vide "propre". Le TV 801 Navigator est en outre doté de connecteurs auxiliaires permettant d'alimenter un ventilateur supplémentaire, de commander la soupape de ventilation, de le piloter à...
Mise en marche et utilisation du TV 801 Navigator collerette d'entrée de la turbopompe à la contre-collerette du Pour allumer le TV 801 Navigator il suffit de fournir la tension système au moyen d'une connexion en mesure de résister à un d'alimentation.
INSTRUCCIONES DE USO Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Las bombas Turbomoleculares descritas en el siguiente manual de instrucciones tienen una elevada cantidad de energía cinética debido a la alta velocidad de rotación en combinación a la masa específica de sus rotores. En el caso de un daño del sistema, por ejemplo por un contacto entre el rotor y el estator o por una rotura del rotor, la energía de rotación podría ser liberada.
Durante la operación de desembalaje, tener cuidado de que no circunstancias, la conexión podría no resistir a dicho par de fuerza se caiga el TV 801 Navigator y de no someterlo a golpes o y, como consecuencia, la bomba podría separarse del sistema o el vibraciones.
Seite 17
Parada del TV 801 Navigator ¡ATENCIÓN! Para parar el TV 801 Navigator nte con desenchufarlo de la El TV 801 Navigator pertenece a la segunda categoría de corriente. El controler incorporado detiene inmediatamente la instalación (o sobretensión) prevista por la normativa EN bomba.
INSTRUÇÕES PARA O USO Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares As bombas turbomoleculares descritas no seguinte Manual de Instruções têm uma alta quantidade de energia cinética devida à alta velocidade de rotação unida à massa específica de seus rotores. Em caso de avaria do sistema, causada por exemplo por um contacto entre o rotor e o estator ou uma ruptura do rotor, a energia de rotação pode ser liberada.
Seite 19
Para ulteriores fabricante. Para mais informações, contatar o representante detalhes, consultar o apêndice "Technical Information". local da Varian. O TV 801 Navigator deve ser ligado a uma bomba primária (consultar esquema em "Technical Information"). PREPARAÇÃO PARA A INSTALAÇÃO FIXAÇÃO DA BOMBA O TV 801 Navigator é...
Seite 20
O TV 801 não pode ser fixado através da sua base. de erro. Paragem do TV 801 Navigator ATENÇÃO! Para parar o TV 801 Navigator é suficiente desligar a tensão de alimentação. O controller incorporado para imediatamente a O TV 801 Navigator pertence à segunda categoria de bomba.
GEBRUIKSAANWIJZINGEN Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen De turbomoleculaire pompen die in deze handleiding worden besproken hebben een grote hoeveelheid kinetische energie door de hoge rotatiesnelheid samen met de specifieke massa van hun rotoren. In geval van een defect van het systeem, bijvoorbeeld door een contact tussen de rotor en de stator of doordat de rotor breekt, kan de rotatie-energie vrijkomen.
Seite 22
GEVAAR! contact opnemen met het plaatselijke verkoopkantoor. Zorg er bij het uitpakken voor dat de TV 801 Navigator niet kan Als schade aan de rotor optreedt, zou de verbinding tussen de pomp en het systeem aan een behoorlijk groot koppel vallen en geen stoten of trillingen te verduren krijgt.
Seite 23
Om de TV801 Navigator in te schakelen is het voldoende om Bevestig de TV 801 Navigator in een stabiele positie door de deze van stroom te voorzien. De ingebouwde controller herkent inlaatflens van de turbopomp op de contraflens van het...
BRUGSANVISNING Sikkerhedsanvisninger Molekylære turbopumper De molekylære turbopumper, der er beskrevet i nærværende brugsanvisning, har en stor kinetisk energi, der skyldes den høje omdrejningshastighed kombineret med deres rotorers specifikke vægt. Hvis der er en fejl i systemet, for eksempel på grund af en kontakt mellem rotor og stator, eller fordi rotoren går i stykker, kan omdrejningsenergien spredes.
Seite 25
I dette tilfælde kan metalfragmenter blive Sørg for, at TV 801 Navigator ikke tabes eller udsættes for stød slynget ud af pumpen eller systemet, hvilket kan medføre ved udpakningen.
Seite 26
BRUGSANVISNING Montér TV 801 Navigator i en stabil position ved at montere Start og anvendelse af TV 801 Navigator turbopumpens indgangsflange på systemets kontraflange. For at starte TV 801 er det tilstrækkeligt at tilslutte et Forbindelsen skal kunne tåle et drejemoment på 8.900 Nm forsyningsstik.
BRUKSANVISNING Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar De molekylära turbopumparna som beskrivs i bruksanvisningen har en hög kinetisk energi beroende på den höga rotationshastigheten och rotorernas specifika massa. I det fall fel skulle uppstå i systemet, t ex på grund av kontakt mellan rotor och stator eller om rotorn skulle skadas, kan det hända att rotationsenergin frigörs.
Seite 28
Komponenter som skall utsättas för vakuum får inte hanteras dokumentation från Varian före användning av utrustningen. med bara händer p g a kontamineringsrisken. Använd alltid Varian tar inget ansvar för skador helt eller delvis till följd av handskar eller liknande skydd. åsidosättande av instruktionerna, olämplig användning av person utan tillräcklig kunskap, obehörigt bruk av utrustningen...
Seite 29
Att stänga av TV 801 Navigator TV 801 Navigator-systemet kan inte fastspännas med sin egen bas. Om du vill stänga av TV 801 Navigator behöver du bara dra ut elkabeln ur vägguttaget. Den inbyggda styrenheten avbryter omedelbart pumpens funktion. VIKTIGT ! ...
BRUKERVEILEDNING Sikkerhetsanvisninger Turbomolekylær Pumper Turbomolekylær pumpene som er beskrevet i den følgende Bruksanvisningen har et høyt kinetisk energinivå som skyldes den høye roteringshastigheten i tillegg til den spesifikke massen til pumpenes rotor. I tilfelle feil ved systemet, for eksempel på grunn av en kontakt mellom rotor og stator eller brudd på...
Viser denne tegn på skader som kan ha oppstått under transporten, må du ta kontakt med det lokale salgskontoret. Når TV 801 Navigator pakkes ut, må du se til at det ikke slippes ned eller utsettes for noen form for støt.
Seite 32
å tilgjengelige. Forsikre deg om at isoleringen av anordningen kople fra strømkabelen. koplet til TV 801 Navigator har en egnet isolering, også under forhold med en enkel feil i følge EN 61010-1 standarden. Nødstopp Trekk ut nettkabelen fra styreenheten for å...
KÄYTTÖOHJEET Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Tässä käyttöohjeessa kuvatuissa turbomolekyylipumpuissa on korkea määrä kineettistä energiaa, joka aiheutuu korkeasta pyörimisnopeudesta yhdistettynä pumppujen roottorien massaan. Järjestelmän vikatilassa, esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin rikkoutuessa, pyörimisenergia saattaa vapautua. VAARA! Tässä käyttöohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti laitteiston vaurioitumisen ja käyttäjien vahingoittumisen välttämiseksi! 87-900-953-01(E)
Jotta kaasun vuoto-ongelmilta vältyttäisiin, ei tyhjiölle altistuviin laitteen käyttöönottoa tulee käyttäjän lukea huolellisesti ohjekirja osiin tule koskea paljain käsin. Käyttäkää aina käsineitä tai ja muut Varianin toimittamat lisätiedot. Varian ei ota vastuuta muuta sopivaa suojausta. seurauksista, jotka johtuvat laitteen käyttöohjeiden täydellisestä...
Seite 35
Varianin mekaanisten varusteiden KUVAUS” “Tekniset tiedot” -liitteessä). avulla. Lisätietoja löytyy “Tekniset tiedot” -liitteestä. Vihreä LED LD1, joka sijaitsee TV 801:n perustan paneelissa, TV 801 Navigator voidaan asentaa mihin tahansa asentoon. osoittaa vilkkumistiheydellään järjestelmän toimintaolosuhteet: palaa jatkuvasti: pumppu pyörii normaalisti; HUOM vilkkuu hitaasti (noin 400 ms:n jakso): systeemi on kiihdytys-, jarrutus-, pysäytys- tai “Waiting for interlock”-...
ODHGIES CRHSHS Οδηγίες για Ασφάλεια για Μοριακές Αντλίες Στροβίλου Οι µοριακές αντλίες στροβίλου, όπως περιγράφονται στο ακόλουθο εγχειρίδιο λειτουργίας περιέχουν ένα µεγάλο ποσό κινητικής ενέργειας, λόγω της υψηλής ταχύτητας περιστροφής σε συνδυασµό µε το ειδικό βάρος για τους ρότορες που περιέχουν. Σε...
Seite 37
Kat£ th di£rkeia tou ano∂gmatoj thj suskeuas∂aj, dèste idia∂terh αντλία και στο σύστηµα µπορεί να εφαρµοστεί σηµαντική ροπή. Αν η prosocÿ èste na mhn afeqe∂ kai p◊sei to TV 801 Navigator kai na σύνδεση δεν είναι επαρκής για να αντέξει σε τέτοιου είδους ροπή, η...
Seite 38
Navigator anhvkei deuvterh kathgoriva Gia na stamatÿsete to TV 801 Navigator e∂nai arketÒ na afair◊sete egkatavstashÇ (hv upevrtashÇ) pou problevpetai apov ton thn t£sh trofodÒthshj. O enswmatwm◊noj elegktÿj stamat£ am◊swj kanonismov EN 61010-1. Katav sunevpeia sundevete th diavtaxh se thn antl∂a.
HASZNÁLATI UTASÍTÁS Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz A turbómolekuláris szivattyúk – ahogy a következő gépkönyvben le van írva – nagy mozgási energiával rendelkeznek a nagy forgási sebességük és a rotorok fajlagos tömege miatt. A rendszer hibás működése – például a rotor/állórész érintkezési hibája vagy akár a forgórész széttörése –...
Seite 40
A berendezést professzionális felhasználók számára tervezték. A felhasználónak a berendezés működtetése előtt el kell Gázkivonási problémák elkerülésére ne használjon puszta olvasnia ezt a gépkönyvet és a Varian által biztosított bármely kezeket vákuumnak kitett komponensek kezelésére. Mindig információt. A Varian nem vonható felelősségre olyan használjon kesztyűt vagy más alkalmas védelmet.
Seite 41
(mint az IC63250DCMZ) Varian típus). A TV 801 Navigator bekapcsolásához rá kell kapcsolni a A következő táblázat mindegyik karimához megmutatja az tápfeszültséget. A beépített vezérlő automatikusan felismeri a IC63250DCMZ kapcsok szükséges számát és a hozzátartozó...
INSTRUKCJA UZYTKOWANIA Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa Pomp Turbomolekularnych Pompy Turbomolekularne opisane w niniejszej Instrukcji Obsługi posiadają wysoką energię kinetyczną spowodowaną bardzo wysoką prędkością obrotów razem z masą właściwą wirników. W przypadku uszkodzenia systemu, na przykład z powodu kontaktu między wirnikiem a stojanem lub z powodu pęknięcia wirnika, energia obrotowa może być...
Seite 43
INSTRUKCJA UZYTKOWANIA skontaktować się z miejscowym biurem sprzedaży. Podczas OGÓLNE INFORMACJE operacji rozpakowywania, należy zwrócić szczególną uwagę Ta aparatura jest przeznaczona do użytku zawodowego. aby nie spowodować upadku systemu TV 801 Navigator ani nie Użytkownik musi przeczytać bardzo uważnie niniejszą...
Seite 44
( okres 200 ms.): stan błędu. Zatrzymanie systemu TV 801 Navigator INFORMACJA Aby zatrzymać TV 801 Navigator wystarczy odłączyć napięcie System TV 801 Navigator nie może być mocowany poprzez zasilania. Wbudowany sterownik zatrzyma natychmiast pompę. własną podstawę. ...
PŘÍRUČKA K POUŽITÍ Bezpečnostní návod Turbomolekulární vývěvy Turbomolekulární vývěvy, jak jsou popisovány v následujícím návodu, obsahují velké množství kinetické energie díky vysoké otáčivé rychlosti v kombinaci s konkrétním objemem jejich rotorů. V případě systémové nefukčnosti, např. kontaktu rotoru anebo statoru nebo při zhroucení rotoru může dojít k uvolnění...
Seite 46
POZNÁMKA činností, která je v rozporu s pokyny uvedenými v příslušných V normálním prostředí se vývěva TV 801 Navigator nemůže státních normách. poškodit. Přesto doporučujeme, abyste ji nechali zakrytou, Vývěva Navigator integrovaný...
Seite 47
Zapnutí a používání vývěvy TV 801 Navigator přívodní přírubu turbomolekulární vývěvy připevněte Pro uvedení vývěvy TV 801 Navigator do provozu je nutné protipřírubě systému pomocí přípojky, která odolá točivému přivést síťové napětí. Integrovaný regulátor automaticky momentu 8900 Nm kolem své...
NÁVOD K POUŽITIU Bezpečnostný návod Turbomolekulárne vývevy Turbomolekulárne vývevy, ak sú následovne popisované, obsahujú veĺké množstvo kinetickej energie vďaka vysokej otáčavej rýchlosti v kombinácii s konkretným objemom ich rotorov. V prípade systémovej poruchy, napr. pri kontaktu rotora/statora alebo pri zrúcaniu rotora sa može uvolniť...
Seite 49
čas skladovateľnosti v dodatku „Technické informácie“. zariadenia, vráťte vývevu do závodu, v ktorom bola vyrobená. Zariadenie TV 801 Navigator sa musí pripojiť k primárnej Informácie získate u miestneho zastúpenia spoločnosti Varian výveve (pozri „Technické informácie“). pre predaj a servis. UPEVNENIE VÝVEVY PRÍPRAVA NA INŠTALÁCIU...
Seite 50
NÁVOD K POUŽITIU Upevnite zariadenie TV 801 Navigator do stabilnej polohy tak, že Zapnutie a použitie zariadenia TV 801 pripevníte vstupnú prírubu turbovývevy k prírube systému. Navigator Pripojenie musí byť schopné vydržať točivý moment 8900 Nm okolo vlastnej osi. Ak chcete zapnúť zariadenie TV 801 Navigator, musíte ho Napríklad príruba typu ISO-K môže byť...
NAVODILA ZA UPORABO Varnostna navodila Turbomolekularne črpalke Turbomolekularne črpalke, opisane v naslednjih navodilih vsebujejo veliko količino kinetične energije zaradi visoke hitrosti v povezavi s specifičnimi masami rotorjev. V primeru nepravilnega delovanje sistema, na primer pri dotiku rotorja/statorja ali poškodbe rotorja se lahko sprosti rotacijska energija. ...
Seite 52
Normalna izpostavljenost na okolje ne more poškodovati črpalko za visoko in ultra visoko vakuumsko uporabo s naprave TV 801 Navigator. Kljub temu je priporočljivo, da je primernim krmilnikom. Sistem lahko črpa vse tipe plinova ali enota zaprta dokler je ne namestite v sistem. S tem boste plinskih zmesi.
Seite 53
Za varnost operaterja mora biti krmilnik Turbo-V napajan preko POZOR triveznega napajalnega kabla (glej tabelo delov, ki se lahko Po direktivi EN 61010-1 spada TV 801 Navigator v skupino za naročijo) z vtikačem (potrjen na mednarodnem nivoju). drugo nameščanje (ali prekovoltažo). Napravo priljučite na Uporabljajte ta kabel in vtikač...
INSTRUCTIONS FOR USE Safety Guideline Turbomolecular Pumps Turbomolecular pumps as described in the following operating manual contain a large amount of kinetic energy due to the high rotational speed in combination with the specific mass of their rotors. In case of a malfunction of the system for example rotor/stator contact or even a rotor crash the rotational energy may be released.
801 Navigator. Nevertheless, it is advisable to keep it closed The TV 801 Navigator is an integrated system with a turbo- until it is installed in the system, thus preventing any form of molecular pump for high and ultra-high vacuum applications pollution by dust.
Switching on and Use of TV 801 Navigator jected from the pump or system, which could cause serious To switch on the TV 801 Navigator it is necessary to supply the injury or death and/or damage to surrounding equipment. mains. The integrated controller automatically recognizes the interlock and start signals presence and start up the pump.
TECHNICAL INFORMATION DESCRIPTION OF THE TV 801 NAVIGATOR Pump Description The SQ 306 system consists of a pump (SQ 336) The pump consists of a high frequency motor driv- with installed inlet screen, with an envelope with ing a turbine fitted with 8 bladed stages and 4 fins and a shroud with two fans.
80° C at inlet flange max. (ISO flange) Vibration level < 0.01 µm at inlet flange NOTE (displacement) When the TV 801 Navigator has been stored at a tem- Lubricant permanent lubrication perature less than 5°C, wait until the system has Cooling require- Forced air reached the above mentioned temperature.
TECHNICAL INFORMATION TV 801 NAVIGATOR OUTLINE The following figure shows the TV 801 Navigator outlines (dimensions are in mm [inches]). 87-900-953-01(E)
TECHNICAL INFORMATION Graph of nitrogen pumping speed vs inlet pressure INTERCONNECTIONS P3 - Vent The following figure shows the TV 801 intercon- nections. This is a dedicated 24 Vdc connector to control the optional vent valve. 87-900-953-01(E)
This connector carries all the input and output sig- Vdc pin and the START/STOP (-) signal to the nals to remote control the TV 801 Navigator. GROUND pin: in this condition the pump auto- matically starts as soon as the controller recog- It is a 15-pins D type connector;...
Seite 62
TECHNICAL INFORMATION SPEED SETTING: PWM input signal to set the pump speed. The PWM signal characteristics must be the following: • frequency: 100 Hz +/-20% • ampitude: 24 V max • duty cycle range: from 25% to 75% • corresponding to an output frequency from 272 Hz to 646 Hz linearly.
Seite 63
TECHNICAL INFORMATION How to connect the open-collector inputs of the controller Here below there are the typical connections of the open collector input of SQ 337 to an external sys- tem. Two cases are considered: 1. the customer supplies the 24 Vdc 2.
TECHNICAL INFORMATION How to connect the outputs of the controller P2 - Serial The following figure shows a typical logic output connection (relay coil) but any other device may be connected e.g. a LED, a computer, etc., and the related simplified circuit of the controller. The following figure refers to the programmable set point signal on pins 11 and 9.
TECHNICAL INFORMATION In this way, you will be sure to reduce the influ- Communication Protocol ence of the external noise and to accomplish the The communication protocol is a MASTER/SLAVE EMC requests. In picture d is showed the cable type where: assembled.
Seite 66
TECHNICAL INFORMATION The addressed SLAVE will respond with an AN- Examples: SWER whose structure depends from the MESSAGE type. Command: START Source: PC Destination: Controller When the MESSAGE is a reading command, the SLAVE will respond transmitting a string with the same structure of the MESSAGE.
1 = Current valve on/off Off = 0 2 = Time (on = closed) (default = 1) (default = 0) Reserved to Varian service Set Point (default = 582) threshold Set the vent Automatic = 0 (expressed valve (see note 1.)
0.7 mm diameter. The inlet mand) screen, however, does reduce the pumping speed Reserved to Varian service by about 10%. The inlet screen is fitted in the upper part of the pump, as shown in the figure.
TECHNICAL INFORMATION The following figure shows the overall flange di- mensions with the protection screen fitted on pump with ISO flange. AIR COOLING KIT INSTALLATION TV 801 with Navigator Controller An air cooling kit (mod. 5214 NM) is available to improve the TV 801 cooling during heavy opera- tional conditions.
However if the effect is greater, than the case should be carefully reviewed by Varian’s specialist. As a matter of fact, in case of high magnetic fields, also important forces might be generated and ap- plied to the rotor.
Seite 71
NOTE: If a product is received at Varian which is contaminated with a toxic or hazardous material that was not disclosed, the customer will be held responsible for all costs incurred to ensure the safe handling of the product, and is liable for any harm or injury to Varian employees as well as to any third party occurring as a result of exposure to toxic or hazardous materials present in the product.
Seite 72
Request for Return FAILURE REPORT TURBO PUMPS and TURBOCONTROLLERS POSITION PARAMETERS Power: Rotational Speed: Does not start Noise Vertical Current: Inlet Pressure: Does not spin freely Vibrations Horizontal Temp 1: Foreline Pressure: Does not reach full speed Leak Upside-down Mechanical Contact Overtemperature Other: Temp 2:...
Seite 73
Fax: (82) 2 3452 2451 Korea China Mexico Tel: (82) 2 3452 2452 (dedicated line) Varian Technologies - Beijing Varian, S. de R.L. de C.V. vtk.technical.support@varianinc.com Room 1201, Jinyu Mansion Concepcion Beistegui No 109 No. 129A, Xuanwumen Xidajie Col Del Valle Xicheng District C.P.