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Wartung - Varian TV 801 Navigator Bedienungshandbuch

Turbomolekularpumpen
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TV 801 Navigator in einer stabilen Position befestigen. Den
Eintrittsflansch der Turbopumpe am Gegenflansch des Sys-
tems montieren. Diese Verbindung soll einem Drehmoment von
8.900 Nm um die eigene Achse standhalten.
Der ISO-K-Flansch kann zum Beispiel mit hochfesten Stahlklem-
men befestigt werden (Typ Modell Varian IC 63250 DCMZ). Die
nachstehende Tabelle gibt an, wie viele Klemmen IC 63250
DCMZ für jeden Flansch erforderlich sind und mit welchem
Anzugsmoment sie festzuziehen sind.
FLANSCH
ANZ.
ISO 160
10
Turbopumpen mit ConFlat-Eingangsflansch sind mit dem spe-
ziellen Varian-Befestigungsmaterial an die Vakuum kammer
anzuschließen. Für ausführliche Informationen siehe im An-
hang "Technical Information".
Modell TV 801 Navigator kann in jeder beliebigen Position in-
stalliert werden.
HINWEIS
Modell TV 801 Navigator kann nicht mittels seines Sockels
befestigt werden.
!
ACHTUNG!
Der TV 801 Navigator gehört zur zweiten Installationsklasse
(Überdruck) die von den Normen EN 61010-1 vorgesehen ist.
Die Vorrichtung muß daher an eine Speisungsleitung ange-
schlossen werden, die dieser Kategorie entspricht.
Der TV 801 Navigator hat Verbinder für den Ein-und Ausgang
und die Schnittstellenkommunikation, die an die Außenkreise
angeschlossen werden müssen, sodaß kein Teil unter Span-
nung zugänglich ist . Sicherstellen, daß die Isolierung der an
den TV 801 Navigator angeschlossenen Vorrichtung auch bei
einer Einzelstörung ausreichend isoliert, wie es von der Richtli-
nie EN 61010-1 vorgesehen wird.
Für die Installation der Optionsteile siehe im Anhang "Technical
Information".
GEBRAUCH
In diesem Abschnitt werden die wichtigsten Betriebsvorgänge
erläutert. Vor Benutzung des Systems sind alle elektrischen
und pneumatischen Anschlüsse auszuführen. Während der
eventuellen Aufheizung der Vakuumkammer darf die Tempera-
tur am Eingangsflansch 120°C nicht überschreiten.
GEFAHR!
Die Pumpe darf nicht in Betrieb genommen werden, wenn der
Eingangsflansch nicht an die Vakuumkammer angeschlossen
oder nicht mit dem Verschlußflansch verschlossen ist.
Während des Aufheizens dürfen weder die Pumpe noch eventuelle
heiße Zubehörteile berührt werden. Es besteht Verbrennungsgefahr.
!
ACHTUNG!
Während des Betriebs sind Stoß- und Vibrationseinwirkungen
sowie Ruckbewegungen an der Turbopumpe zu vermeiden, da
die Lager beschädigt werden könnten.
Für die Belüftung der Pumpe trockene staub- und partikelfreie
Luft oder Inertgase verwenden. Der Eingangsdruck am Belüf-
tungsanschluß soll unter 2 bar (über dem atmosphärischen
Druck) betragen. Zum Pumpen von aggressiven Gasen sind die
Pumpen mit einer Öffnungsklappe ausgestattet, über die zum
Schutz der Lager Inertgas (Stickstoff oder Argon) zuzuleiten ist
(siehe Anhang "Technical Information").
GEFAHR!
Wenn die Pumpe zur Förderung von giftigen, leicht entflammbaren
oder radioaktiven Gasen benutzt wird, sind die für das jeweilige
Gas vorgeschriebenen Vorgänge und Maßnahmen zu befolgen.
Die Pumpe darf niemals bei Vorhandensein von explosionsfä-
higen Gasen verwendet werden.
ANZUGSMOMENT
35 Nm
6
GEBRAUCHSANLEITUNG
Einschaltung und Gebrauch von Modell TV 801
Navigator
Zur Einschaltung von Modell TV 801 ist es mit der erforderli-
chen Versorgungsspannung zu versorgen. Der eingebaute
Controller erfaßt automatisch das Vorhandensein von Interlock-
und Anlaufsignalen und startet die Pumpe.
Die Erstinbetriebnahme der Pumpe erfolgt im Modus "Soft
Start", der sich nach dem Anlaufzyklus selbsttätig abschaltet.
Daher erfolgen alle nachfolgenden Pumpenanläufe ohne den
Modus "Soft Start". Um die Pumpe erneut im Modus "Soft Start"
zu starten, ist dieser Modus mittels der Software wieder frei-
zugeben
(siehe
Abschnitt
DESCRIPTION" im Anhang "Technical Information").
Die grüne LED LD1 an der Bodenplatte von Modell TV 801 gibt
mit der Häufigkeit ihres Blinkens die Betriebsbedingungen des
System an:
-
Daueranzeige: Die Pumpe befindet sich im normalen Be-
trieb.
-
Langsame Blinkanzeige (ca. 400 ms): das System befindet
sich entweder im Status Rampe, Abbremsung, Stopp oder
"Waiting for Interlock".
-
Schnelle Blinkanzeige (ca. 200 ms): Fehlerstatus.
Stoppen von Modell TV 801 Navigator
Zum Stoppen von Modell TV 801 Navigator ist die Versor-
gungsspannung abzuschalten. Der eingebaute Controller sorgt
für den sofortigen Pumpenstopp.
GEFAHR!
Für die Sicherheit des Bedieners muss der Controller Turbo-V
mit einem dreidrähtigen Stromkabel (siehe Tabelle der Bestell-
teile) versorgt werden, das mit einem (auf internationaler Ebene
genehmigten) Stecker ausgestattet ist. Verwenden Sie dieses
Kabel und den Stecker zusammen mit einer entsprechend
geerdeten Steckdose, um Stromschläge zu vermeiden und den
Anforderungen der EG-Richtlinien zu entsprechen.
Die Hochspannungen, die sich im Controller entwickeln, kön-
nen zu schweren Schäden oder zum Tod führen. Vor den War-
tungsarbeiten innerhalb der Einheit die Stromkabel trennen.
Not-Aus
Zur Stillsetzung von Mod. TV 801 Navigator in Notsituationen
ist vom Controller das Netzkabel abzuziehen.

WARTUNG

Modell TV 801 Navigator erfordert keine Wartung. Eventuelle
Eingriffe dürfen nur von autorisiertem Fachpersonal ausgeführt
werden.
GEFAHR!
Vor jedem Eingriff am System den Netzstecker ziehen, die
Pumpe über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften und
abwarten, bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Tempera-
tur am Pumpengehäuse unter 50°C abgesunken ist.
Bei Defekten kann der Varian Service oder der "Varian advan-
ced exchange service" in Anspruch genommen werden, der ein
generalüberholtes System als Ersatz für das defekte System
zur Verfügung stellt.
HINWEIS
Bevor Fa. Varian ein System zur Reparatur oder den Um-
tauschdienst eingesandt wird, ist das Formular "Sicherheit und
Gesundheit", das diesem Handbuch beiliegt, ausgefüllt an die
örtliche Verkaufsstelle zu senden. Eine Kopie ist der Verpa-
ckung des Systems vor dem Versand beizulegen.
Eine eventuelle Verschrottung hat unter Beachtung der ein-
schlägigen nationalen Vorschriften zu erfolgen.
"RS
232
COMMUNICATION
87-900-953-01(E)

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