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NEIN!
GEFAHR!
Um Verletzungen auszuschließen, darf auf auf keinen
Fall in die Einlaßöffnung der Turbopumpe gegriffen oder
irgendwelche Gegenstände eingeführt werden. Es wird
empfohlen, ein Schutzgitter zu installieren (Sonderzubehör).
Bei Installation eines Erschütterungsdämpfers oder eines
flexiblen Metallbalges auf der Einlaßöffnung muß die
Turbopumpe immer am Unterteil fest installiert sein.
Sind Magnetfelder vorhanden, müssen die Pumpen über
Einsatz
eines
entsprechend
geschützt werden.
Die Turbomolekularpumpen der Baureihe Turbo-V1800A dürfen
ausschließlich
mit
einer
betrieben werden (Baureihen 969-9561, 969-9461) und müssen
an eine Primärpumpe angeschlossen werden (siehe Schema
"Technical Information").
Die Turbopumpen müssen in vertikaler oder aber in invertierter
Position installiert werden; die maximal zulässige Neigung zur
vertikalen Achse beträgt dabei 10°.
Die Pumpen können ebenso auf den eigenen Standbeinen
stehend oder durch Befestigung am Eingangsflansch in
angehobener Position betrieben werden.
Befestigen Sie die Turbopumpe in einer stabilen Position,
indem Sie den Eingangsflansch der Pumpe an einen festen
Gegenflansch anschließen, der um die eigene Achse einem
Drehmoment von 2814 Nm standhalten muß.
Turbopumpen
mit
ISO-Eingangsflansch
doppelten
oder
einfachen
Vakuumkammer angeschlossen werden. In der nachstehenden
Tabelle
sind
die
Anzahl
Klemmschellen sowie der jeweilige Anzugsmoment angegeben.
FLANSCH
SCHELLENART
ISO 250
Doppelklemme mit
NM10-Gewinde
Einzelklemme
mit
NM10-Gewinde
Turbopumpen mit ConFlat-Eingangsflansch müssen mit dem
speziellen Varian-Befestigungsmaterial an die Vakuumkammer
angeschlossen werden. Weitere Hinweise siehe Anhang
"Technical Information".
Sollte die Pumpe auf ihren eigenen Standfüßen stehend
betrieben werden, so müssen diese mittels der an den Füßen
befindlichen M6-Gewindebohrungen befestigt werden. Diese
Bohrungen sind in einem Kreis mit einem Durchmesser von
285 mm (11,2 Zoll) angebracht.
Installation
Sonderzubehör:
Information".
geeigneten
Schutzschirms
der
Varian-Spezialsteuerungen
müssen
mittels
Klemmschellen
an
der
jeweils
erforderlichen
ANZAHL ANZUGSMOMENT
6
22 Nm
12
22 Nm
siehe
Anhang
"Technical
ANWENDUNG
Sämtliche Hinweise für den korrekten Betrieb der Turbopumpe
sind im Handbuch der Steuereinheit enthalten.
Dieses Handbuch sollte vor der Inbetriebnahme genau gelesen
werden. Um einen optimalen Enddruck zu erhalten, kann das
Pumpengehäuse
ausgeheizt werden.
Damit die Flanschgrenztemperatur der Turbopumpe 120°C
nicht
überschreitet,
Vakuumsystemen
(genauere Angaben zum Anschluß des Kühlwasserkreises an
die Pumpe siehe Anhang "Technical Information").
Während des Ausheizens dürfen weder die Pumpe noch
eventuelle heiße Anschlußteile berührt werden, denn es
besteht Verbrennungsgefahr.
Für die Belüftung der Pumpe trockene staub - und partikelfreie
Luft, oder Edelgase verwenden. Der Eingangsdruck am
Belüftungsanschluß muß kleiner als 2 bar über dem
atmosphärischen Druck sein.
Während des Betriebs darf die Pumpe weder Stößen noch
ruckartigen Bewegungen ausgesetzt werden, da die Lager
beschädigt werden können.
Zum Pumpen von aggressiven Gasen sind die Pumpen mit
einer Öfnungsklappe ausgestattet, über die zum Schutz der
Lager ausschließlich Edelgas (Stickstoff oder Argon) zugeführt
werden darf (siehe Anhang "Technical Information").
Wenn
die
Pumpe
entflammbaren oder radioaktiven Gasen benutzt wird, müssen
die für das jeweilige Gas vorgeschriebenen Vorgänge und
Maßnahmen
Benutzen Sie die Pumpe niemals in Präsenz von explosiven
die
Gasen.
WARTUNG
Die Pumpen der Baureihe Turbo-V1800A sind wartungsfrei.
Eventuelle Eingriffe dürfen nur von autorisierten Fachkräften
vorgenommen werden.
Vor jedem Eingriff an der Turbopumpe den Netzstecker ziehen,
die Pumpe über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften,
warten bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Temperatur
am Pumpenghehäuse unter 50°C abgesunken ist.
Bei einem Defekt kann der Varian Service oder der " advanced
exchange service" in Anspruch genommen werden.
Vor dem Versand einer defekten Pumpe an die Fa. Varian muß
das Formular "Sicherheit und Gesundheit", das diesem
Handbuch beiliegt, ausgefüllt an Varian geschickt und bestätigt
werden. Eine Kopie muß den Frachtpapieren beigelegt werden.
Eine eventuelle Verschrottung muß unter Einhaltung der
einschlägigen landesüblichen Vorschriften erfolgen.
4
GEBRAUCHSANLEITUNG
mit
einer
Heizmanschette
sollte
immer
bei
die
TP
mit
Wasserkühlung
GEFAHR!
ACHTUNG!
ACHTUNG!
ACHTUNG!
GEFAHR!
zur
Förderung
von
giftigen,
befolgt
GEFAHR!
ANMERKUNG
87-900-867-01(A)
(Optional)
ausheizbaren
arbeiten
leicht
werden.
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