Inhaltsverzeichnis
Werbung
NEJ
VARNING!
Peta aldrig med fingrar eller föremål i turbopumpens inlopp
för att undvika skador. Användning av skyddsgaller (tillval)
rekommenderas starkt. Om vibrationsdämpare eller böjliga
metallbälgar
monteras
vid
förankras i fundamentet.
I närvaro av magnetfält skall pumpen skyddas med en särskild
skärm. Se bilagan "Technical information" för ytterligare
upplysningar.
Turbomolekylärpumparna i serien V1800A måste användas
med en särskild styrenhet från Varian (serie 969-9561, 969-
9461), och anslutas till en förpump (se schema i " Technical
information").
Turbopumpen ska installeras i lodrät position eller uppochned
med en max. lutning på 10° i förhållande till den lodräta axeln.
Pumpen kan stödjas mot sina fötter eller vara upphängd med
intagsflänsen.
Fäst turbopumpen i ett stabilt läge genom att ansluta pumpens
intagsfläns till en fast fläns som måste tåla ett vridmoment på
2814 Nm runt sin axel.
Turbopumpen
med
ISO-intagsfläns
vakuumkammaren med hjälp av dubbla eller enkla klamrar.
Den följande tabellen beskriver nödvändigt antal klamrar och
med vilket åtdragningsmoment de ska spännas.
FLÄNS
TYP AV
KLAMMER
ISO 250
Dubbel klammer
med gänga M10
Enkel klammer med
gänga M10
Turbopumparna med intagsfläns ConFlat ska fästas till
vakuumkammaren med hjälp av Varian fästdelar. För detaljer
hänvisas till bilaga "Technical Information".
Om pumpen stödjs på sina fötter, fästs de till stödytan med de
M6-gängade hål som är placerade i förhållande till stödfötterna.
Dessa hål är placerade på en omkrets med diameter 285 mm.
Installation
av
tillbehörsutrustning
Information".
ANVÄNDNING
Anvisningar för riktig användning av turbopumpen finns i
styrenhetens bruksanvisning.
Läs bruksanvisningen noga innan du startar pumpen.
För att förbättra tryckgränserna kan pumphuset värmas med ett
särskilt
värmeaggregat
som
uppvärmningen av pumploppet får temperaturen vid inloppet
aldrig bli högre än 120 °C.
inloppet
måste
pumpen
ska
fästas
i
ANTAL
ÅTDRAGNINGS-
MOMENT
6
22 Nm
12
22 Nm
beskrivs
i
"Technical
finns
som
tillval.
Under
Under uppvärmningen måste vattenkylningen användas. (se
bilaga "Technical Information" för detaljer om pumpens
anslutning till vattenkylning).
Vidrör
inte
turbopumpen
uppvärmningen för att undvika brännskador.
Använd luft eller ädelgas, fri från damm och partiklar för luftning
av pumpen. Trycket vid inloppet får vara högst 2 bar (över
atmosfäriskt tryck).
Undvik stötar eller plötsliga rörelser av pumpen under drift. I
annat fall kan lagren skadas.
För pumpning av frätande gaser är dessa pumpar försedda
med en speciell öppning igenom vilken man skall leda en ström
av ädelgas (kväve eller argon) för att skydda lagren (se bilagan
"Technical information").
Då pumpen används för pumpning av giftiga, lättantändliga
eller radioaktiva typ, bör man följa de särskilda anvisningarna
för varje enskild gas.
Använd ej pumpen i närheten av explosiva gaser.
UNDERHÅLL
Pumparna
i
Turbo-V1800A-serien
servicearbete måste utföras av auktoriserad personal.
Innan något arbete utförs på turbopumpen måste pumpens
strömförsörjning brytas och pumpen luftas genom att den
aktuella ventilen öppnas. Vänta sedan tills rotorn stannat samt
tills pumpens yttemperatur är lägre än 50ºC.
Om pumpen havererar, kontakta Varian reparationsverkstad
eller Varian utbytesservice, som kan ersätta pumpen med en
renoverad pump.
Innan pumpen lämnas in till tillverkaren för reparation eller
utbyte
mot
en
renoverad
säkerhetsbladet" som medföljer bruksanvisningen fyllas i och
skickas in till den lokala återförsäljaren. Bifoga dessutom en
kopia av bladet med pumpen.
Skrotning av pumpen skall ske enligt gällande lagstiftning.
16
BRUKSANVISNING
VARNING!
eller
några
tillbehör
VIKTIGT
VIKTIGT
VIKTIGT
VARNING!
är
underhållsfria.
VARNING!
OBSERVERA
enhet,
måste
"hälso-
87-900-867-01(A)
under
Allt
och
Werbung
Inhaltsverzeichnis
