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4 Installation
4.1
Hinweis
zur
Installation
— Die Turbopumpe
Wird mit Betriebsmit-
tel-Füllung
geliefert.
— Blindflansche
an
Hoch-
kuumanschluß
erst
unmittelbar
Montage entfernen.
— Arbeiten
die Turbopumpen
Magnetfeld
bei Feldstärken
5,5 mT, Sind geeignete Abschirm
maßnahmen
vorzusehen
gehäuse
auf Anfrage).
4.2
Hochvakuumanschluß
Fig. 7
Wird ein Rezipient frei am Hochva-
kuumflansch
der Turbopumpe
stigt, darf kein Drehmoment
gen werden (einseitige
Belastung).
axiale
Belastbarkeit
des
stutzens beträgt max. 50 kg.
Achtung!
Bei verankerter
dürfen
keine
Kräfte
aus
tungssystem
auf die Pumpe einwirken.
—Alle UHV-Teile müssen bei größter
Sauberkeit
montiert
werden.
bere Bauelemente
verlängern
pumpzeit durch eine hohe Desorpti-
onsrate.
Die Pumpe kann in horizontaler
vertikaler
Einbaulage an den Rezipien-
ten angeflanscht
werden.
Bei einer Verbindung
Turbopumpe-
Rezipient über einen Federungskörper
muß die Pumpe verankert
—Zur Verankerung
der Pumpe Sind im
Unterteil
{Standfläche)
vier Gewindelö-
Cher M5 vorhanden
(Gummifüße
a bschrauben).
— Zum Schutz
der Turbopumpe
Fremdkörper,
Splitterschutz
einsetzen
(Zubehör,
Abschnitt
Splitterschutz
verringert
mögen um ca. 1
Weicht
die Einbaulage
bei Verwen-
dung einer ölgedichteten
pumpe von der Vertikalen ab, muß die
Pumpe mit dem Vorvakuumflansch
nach unten eingebaut
werden.
maximale Abweichung
von 200 nach
links Oder rechts ist zulässig (Fig 7).
Bei Einsatz
einer
Membranvakuum-
pumpe als Vorpumpe
ist die Lage des
Vorvakuumflansches
beliebig wählbar.
1
4
6
4 Installation
4.1 Note concerning
— The turbo
operating
Remove the blank flanges at the high
und
Vorva-
and roughing vacuum connection
vor
der
before you install the pump.
in einem
— If the turbo pumps operate in a mag-
netic field with field intensities
über
ing 5.5 m T, suitable
{Abschirm-
res must be provided
ing upon request)
4.2
High-vacuum
Fig. 7
If a vacuum
high-vacuum
befe-
without
übertra
that no torque
Die
stress).
The
Hochvakuum-
ing capacity ot the high-vacuum
is 50 kg.
Attention!
Turbopumpe
anchored
dem
Rohrlei-
that no forces
act on the pump.
—All UHV components
with
the
Unsau-
components
die Aus-
time as a result of the high desorption
rate.
— The pump can be flanged
bis
vacuum
vertical.
— If the turbo
vacuum
the pump must be anchored.
werden.
—The pump base has four M5 tap holes
for anchoring
rubber
legs).
In order to protect
foreign
matters,
gegen
(Fig. 8) should be fitted (Accessories,
2 (Fig. 8)
Sec. 9). The volume
9). Der
pump
is reduced
das Saugver-
result
of the splinter
— If the
installation
from perpendicular,
Vorvakuum
led backing pump is employed, the
pump
must be installed
4
vacuum
Eine
A maximum
or right is permitted
If a diaphragm
as the backing pump, the location of
the fore vacuum flange can be selected
as desired.
1
20
Installation
pump
is supplied
with the
medium
filled
in.
exceed- — Si Ies pompes turbo fonctionnent
screening
measu-
(screening
hous-
Connection
chamber
is fitted
to the
flange of the turbo pump
support.
it must be ensured
is transmitted
(lateral
maximum
axial
load-bear
socket
When the turbo pump
is
in place, it must be ensured
from the piping
system
must be fitted
utmost
cleanliness.
Unclean
increase the pump-down
to the
chamber
from
horizontal
to
pump
is connected
to the
chamber
via a metal
bellows,
the pump (unscrew the
the pump from
a splinter
shield
2
flow
rate of the
by approx.
15 % as a
shield
attitude
deviates
in case an oil sea-
with the fore
flange
4 facing
downwards.
deviation
of 200
to the
(Fig. 7).
vacuum pump is used
Fig. 7
1 Hochvakuumflansch
4 Vorvakuumflansch
1 High-vacuum
4 Fore vacuum
I Bride vide poussé
4 Bride vide primaire
4 Installation
4.1
Remarques
concernant
I' installation
— La pompe turbo est livrée avec sa
charge d'agent lubrifiant.
just
N'enlever
les brides
dements
vide élevé et cöté vide pri-
maire que juste avant le montage.
des champs
magnétiques
intensités
dépassent 5,5 mT, il est
nécessaire
de prévoir
blindage appropriées
dage sur demande).
4.2 Connexion
vide poussé
Fig. 7
Un récipient librement
pompe
turbo
ne doit pas exercer
moment de torsion (charge unilaté-
rale). La charge axiale de la bride vide
poussé
est de 50 kg au maximum.
Attention!
Si la pompe turbo est
ancrée
aucune
force provenant
systéme
tubulation
des effets
sur la pompe.
— Toutes
Ies piéces
UHV doivent
montées
dans un état de parfaite
preté.
Des éléments
qui ne seraient pas propres prolongent
le temps de pompage en raison du
taux de désorption
La pompe peut étre bridée sur Men-
ceinte de la position
position
verticale.
— En cas de raccordement
enceinte
par un raccord
que la pompe
soit ancrée au sol.
— Pour l'ancrage
4 percages
sont prévus å la partie inférieure (sur-
face reposant
sur le sol; dévisser
pieds en caoutchouc)
— Pour protéger
la pompe
corps étrangers,
monter
2 (Fig. 8) (voir accessoires,
pare-éclats
réduit
d'env.
15%.
— Si la position
de montage
s'écarte
de la verticale,
left
d'une
pompe
primaire
faut monter
la pompe
vide primaire
4 vers le bas. Une diffé-
rence maximale de 200 vers ja gauche
ou la droite est admise (Fig. 7).
A Ia mise en oeuvre
membrane
en tant que pompe
maire,
la position
de la bride du vide
primaire peut étre quelconque.
flange
flange
pleines
des raccor
dans
dont
Ies
des mesures
de
(carter de blin-
bridé sur Ia
un
du
ne doit produire
étre
pro-
de construction
élevé.
horizontale å la
pompe
turbo-
souple,
il faut
filetés
M5
les
contre
des
un pare-éclats
par. 9). Le
Ie débit-volume
de la pompe
å l'uti'isation
å joint
d'huile,
il
avec le bride
de pompe
vide
pri-
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