Verwandte Anleitungen für Pfeiffer Vacuum TPH 180 H
Inhaltszusammenfassung für Pfeiffer Vacuum TPH 180 H
- Seite 1 PFEIFFER VACUUM Betriebsanleitung Operating Instructions Mode d'emploi TPH 180 H/ TPU 180 H Turbomolekularpumpe Turbomolecular Pump Pompe turbomoléculaire PM800 190 BN/D (9610) N 3642...
- Seite 2 Contents Contenu Inhalt Généralités Allgemeines General Technical Data Caractéristiques techniques Technische Daten Dimensional Diagram Dessin cote Maßbild Volume Flow Rate/Gas Débit-volume / Débit de gaz Saugvermögen/Gasdurchsatz Pression finale Enddruck Throughput Ultimate Pressure Pompe primaire Vorval«uumpumpe Backing pump Installation Installation Remarques concernant Hinweis zu Installation...
- Seite 3 BREVE INSTRUCTION BRIEF INSTRUCTIONS KURZANWEISUNG SERVICE für Turbomolekularpumpen Turbomolecular Pumps pour pompes turbomoléculaires TPH/TPU 180 H TPH/TPU 180 H TPH/TPU 180 H 1 HV-Flansch 4 Vorvakuumflansch 5 Flutanschluß 6 Kühlwasseranschluß Turbopumpe 36 Lagerschild Steckdose 1 High vacuum flange 4 Fore vacuum flange 5 Venting connection...
- Seite 4 OPERATION EXPLOITATION BETRIEB — Raccorder tous les équipements — Alle erforderlichen Zusatzgeräte Connect all required accessory equip- anschließen (siehe — 4.6). ment (Paras. 4.3 4.6). appareils requis (voir sect. 4.3 å 4.6). MISE EN MARCHE de la pompe tur- EINSCHALTEN Turbopumpe: STARTING turbo:...
- Seite 5 Instructions Instruction de service für pour Turbomolekularpumpen Turbomolecular Pumps Pompes turbomoléculaires TPH 180 H, TPU 180 H TPH 180 H, TPU 180 TPH 180 H, TPU 180 H Wichtige Hinweise Important Information Directives importantes Prüfen Sie sofort nach dem Auspak-...
- Seite 6 — Les "substances toxiques" sont celles "Harmful substances" are defined — "Schadstoffe" Sind: Stoffe und Zube- énumérées par l'article 2 de la pres- materials and preparations in accor- reitungen gemäß EG-Richtlinie cription de la CE en date du 18 sep- dance with the EEC Specification dated 1 8.09.1 979, Artikel...
- Seite 7 - TPH H: Flansch ISO-K - TPH 180 H: flange DN 100 ISO-K - TPH H : bride ISO-K H: Flansch CF-F TPU 180 H: flange DN 100 CF-F H : bride CF-F Aufbau und Leistungdaten beider Tur- Design and performance data of both —...
- Seite 8 Maßbild 2.1 Dimensional Diagram Dessin coté 10 ISO-KF ltl,3 c,10-3f59 Fig. 3 Raccordement vide poussé High vacuum connection Hochvakuumanschluß O Fore vacuum connection O Bride vide primaire O Vorvakuumanschluß O Raccordement entrée d 'air G Venting connection G Flutanschluß O Raccordement eau de refroidissement Cooling water connection Kühlwasseranschluß...
- Seite 9 Pression finale Enddruck Ultimate Pressure Par pression finale des pompes turbo- According to DIN 28 428, the ultimate Unter Enddruckvon Turbomoleku pressure of turbomolecular pumps is moléculaires entend selon larpumpen Wird nach DIN 28428 la pression que ron obtient dans Druck verstanden, der in einem Meß-...
- Seite 10 4 Installation 4 Installation 4 Installation 4.1 Note concerning Installation Remarques concernant Hinweis Installation — Die Turbopumpe Wird mit Betriebsmit- — The turbo pump is supplied with the I' installation tel-Füllung geliefert. operating medium filled — La pompe turbo est livrée avec sa Remove the blank flanges at the high charge d'agent lubrifiant.
- Seite 11 4.2.1 Insertion of the Splinter Shield 4.2.1 Mise en place du pare-éclats 4.2.1 Einsetzen des Splitterschutzes Fig. 8 Fig. 8 Fig. 8 — Push the prestressed clamping lugs 3 — Enfoncer å I'intérieur Ies talons de ser- — Vorgespannte Klemmfahnen 3 nach rage précontraintes 3, fixer Ie pare-...
- Seite 12 4.4 Kühlung 4.4 Cooling Refroidissement Zum Abführen der Reibungswärme The turbo pumps must be cooled Pour dissiper Ia chaleur provenant order to dissipate the frictional heat d'une part, de Ia friction des parties beim Heizen auftretenden Wärme müssen die Turbopumpen and the heat produced during heating.
- Seite 13 4.4. I .1 Kühlwasseranschluß 4.4.1.1 Cooling Water Connection 4.4.1.1 Connexion eau de refroidisse- Fig. 10 Fig. 10 ment —Anschluß an vorhandenes Kühlwasser- —Connection to existing cooling water Fig. 10 netz (Uberdruck maximal 7 bar) Oder system — max. excess pressure 7 bar, —...
- Seite 14 4.4.2 Air cooling 4.4.2 Refroidissement par air 44.2 Luftkühlung Fig. 11 Fig. 11 Fig. 11 Les pompes turbo peuvent étre bran- — Die Turbopumpen können auf Luftküh — The turbo pumps can be converted air cooling 16 (Accessories, Section 9). chées sur refroidissement par air 16 lung 16 (Zubehör, Abschnitt...
- Seite 15 Raccordement de remise 4.5 Venting Connection Flutanschluß The turbo pumps can be vented I'air Die Turbopumpe kann manuell über manually via the standard screw plugs La pompe turbomoléculaire peut étre die serienmäßige Verschlußschraube (gas thread 1/8") at the vent opening. remise å...
- Seite 16 4.5. I Montage der Fluteinrichtung 4.5. I Installation of the Venting Device 4.5. I Montage du systéme de remise å Fig. 12 Fig. 12 ['air Verschlußschraube aus dem Flutan- Unscrew the screw plug from venting Fig. 12 schluß 5 (G 1/8") schrauben.
- Seite 17 Elektrischer Anschluß Turbo- Electrical Connection of Turbo 4.6 Raccordement électrique de la Pump pompe turbo pumpe — Siehe Betriebsanweisung der einge- — See operating instructions of the elec- — Voir I'instruction de service de Ia com- setzten Antriebselektronik tronic drive unit employed mande électronique utilisée...
- Seite 18 5 Operation 5. Fonctionnement 5 Betrieb Enclenchement 5.1 Switching-on Einschalten — Switch on the turbo pump at the elec- Mettre Ia pompe turbomoléculaire —Turbopumpe an der Antriebselektronik tronic drive unit. marche å Ia commande électronique. einschalten. — If the TCP 310 electronic drive unit...
- Seite 19 Arrét Abschalten 5.3 Switching-off Pump — Turbopumpe an der Antriebselektronik — Switch off the pump at the electronic Arréter Ia pompe turbomoléculaire drive unit. commande électronique. abschalten. Bei Anschluß nach Schaltplan — siehe If the pump is connected as shown Si le raccordement est fait conformé- ment au schéma électrique...
- Seite 20 6 Instandhaltung 6 Maintenance 6 Entretien 6.1 Cleaning the Turbo Pump 6.1 Nettoyage de la pompe turbo 6.1 Reinigung der Turbopumpe In case of slight contamination, e.g. oil En cas de salissure légére. par ex. par Bei leichter Verschmutzung Z.B. durch Betriebsmittelniederschläge kann die deposits, the pump can be cleaned in...
- Seite 21 —The pump is now ready for operation. La pompe pourra ensuite étre mise en — Anschließend kann die Pumpe wieder in Betrieb genommen werden. The pumping time for the first evacua route tout moment. — Beim ersten Evakuierungsvorgang tion process is longer, due to cleaning —...
- Seite 22 6.2 Changing the Operating 6.2 Remplacement du réservoir Wechsel Betriebsmittel- d'agent lubrifiant Medium Reservoir speichers Le syståme de lubrification des roule- The turbo pumps are supplied with Das System zur Schmierung Kugellagers ist bei Lieferung der Tur- operating medium TL 011 filled into the ments et paliers des pompes turbo...
- Seite 23 6.3.1 Prüfen Motors 6.3.1 Testing the Motor with TCP 6.3.1 Vérification du moteur avec Antriebse/ektronik Electronic Drive Unit commande électronique Achtung: Hallsondenspannungen sind Caution: Hall probe voltages are not Attention: Ies tensions émises par Ies nicht potentialfrei. OV-Verbindung potential-free. Disconnect the OV con- sondes de Hall ne sont pas exemptes...
- Seite 24 6.4 Bearing Replacement 6.4 Remplacement des paliers 6.4 Lagerwechsel General. Généralités: Allgemeines: Die Beschreibung des Lagerwechsels The description of bearing replacement T rés détaillée, Ia description des opé- ist ein Wegweiser für die richtige is a guide for the correct procedure.
- Seite 25 Notizen / Notes...
- Seite 26 6.4.1 Demontage 6.4. I Disassembly 6.4.1 Démontage Fig. 19-27, Fig. 19-27, Fig. 19-27, — Place the pump on the high-vacuum Déposer Ia pompe avec Ia bride vide — Pumpe mit Hochvakuumflansch I auf eine glatte, saubere Fläche stellen. flange I on a flat clean surface. Be poussé...
- Seite 27 FIG. 1 9 Betriebsmittelspeicher Fig. 20 Fig. 21 herausnehmen Einstellring 34 heruusschruuben Spritzmutter 37 herausdrehen Remove operating medium reservoir 33 Unscrew setting ring Unscrew splash nut 37 Enlever le reservoir de I'agent Dévisser Ia bague de réglage 34 Dévisser l'écrou de barbotage lubrifiant Fig.
- Seite 28 6.4.2 Montage 6.4.2 Assembly 6.4.2 Montage Fig. 28-36 Fig. 28-36 Fig. 28-36 Toutes les piéces réutilisables doivent Clean all parts that are reused in clean Alle Teile, die wiederverwendet wer- étre nettoyées au bain de détergent ing agent bath and slightly lubricate den, vor Montage in Reinigungsmittel- graissées légérement avant remonta-...
- Seite 29 Fig. 30 Fig. 29 Fig. 28 Rillenkugellager 39 aufziehen Rillenkugellager Scheibe 41 einlegen Install deep groove ball bearing 39 Deep groove ball bearing 39 Insert washer Remonter le roulement billes Roulement rainuré billes Insérer Ie disque 41 Fig. 33 Fig. 32 Fig.
- Seite 30 —42 Fig. 36...
- Seite 31 Ie type et Ie angeben. numéro de fabrique. Ersatzteilliste / Spare parts list / Piåces de rechange TPH 180 H. TPU 180H Stuck POS. Benennung / Description / Designation Quant. Item Piéces de cat.
- Seite 32 Fig. 37...
- Seite 33 Ersatzteilliste / Spare parts list / Pieces de rechange TPH 180 H, TPU 180 H Luftkühlung / Air cooling / Refroidissement par air Stuck Pos. Benennung / Description / Désignation Quant. Item Piéces cat. Pos. Bausatz LuftkühlungiKit for air-cooling/Lot pour retroidissement...
- Seite 34 9 Accessoires 9 Zubehör 9 Accessories Eléments pour Ie chauffage Bauteile Heizen und Kühlen Components for heating and cooling refroidissement Chemise chauffante 115V/230V PM 043 Heating jacket Heizmanschette Contröleur d'eau 115 V, 50/60 PM COO 131 Kühlwasserwächter Cooling water monitor refroidissement T CW 220V,...
- Seite 35 Additional accessories Accessoires Weiteres Zubehör additionnels Splitterschutz Splinter shield Pare-éclats PVC-Schlauch hose Tuyau en PVC 8 x 14/1 m N 2358 Trockenvorlage (Zeolith-Füllung) Air drier (Zeolite-filling) Tubö-sécheur (Remplissage de Zeolithe) Verbindungsschlauch Connecting hose Tuyau de connexion P 0988 Membranvakuumpumpe — diaphragm vacuum pump...
- Seite 36 Safety information Information sécurité Sicherheitsinformation sur I'état d'appareils für die Rücksendung return of vacuum von Vakuumgeräten systems compo- de composants de tech- nique du vide retour- -komponenten nents ä I'usine General Introduction Information générale Allgemeine Information The employer (user) is responsible L'empioyeur (I'utilisateur) est respon-...
- Seite 37 Erklärung über Kontaminierung von Vakuumgeräten und -komponenten Wenn die Reparatur/Wartung im Herstellerwerk und nicht Die Reparatur und/oder die Wartung von Vakuumgeräten am Ort ihres Einsatzes erfolgen soil, Wird die Sendung und -komponenten Wird nur durchgeführt, wenn eine kor- rekt und vollständig ausgefüllte Erklärung vorliegt.
- Seite 38 Declaration of Contamination of Vacuum Equipment and Components The repair and/or service of vacuum components will only facturer could refuse to accept any equipment without be carried out if a correctly completed declaration has been declaration. submitted. Non-completion will result in delay. The manu- This declaration can only be completed and signed by authorised...
- Seite 39 Déclaration sur l'état de contamination de matériel de technique du vide Notre service peut intervenir et s'occuper du matériel seule- rempli. Selon I'état du matériel, nous nous réservons Ie droit ment si vous l'avez envoyé avec ce certificat précisement de refuser la réparation dans notre usine.
- Seite 40 PFEIFFER VACUUM Pfeiffer Vacuum GmbH Herstellererklärung im Sinne folgender EU-Richtlinien: Emrneliusstr. - Maschinen 89/392/EWG D-35614 Assiar - Elektromagnetische Verträglichkeit 89/336/EWG Niederspannung 73/23/EWG Hiermiterklärenwir, daßdasuntenaufgeführte Produkt z umEinbau in eineMaschinebestimmt i st unddaßderenInbetriebnahme s o langeuntersagt i st, bis festgestelft wurdo, daß das Endproduktden Bestimmungender EU-Richtlinie89/392/EWG, Anhang II B entspricht. Wir bestätigen Konformität m itder EU-Richtlinie ü...
- Seite 41 Kauajre:pw Produkt/Product/Produit/Prodotto/Producto/Produkt/ProduWProduto/ TPH 180 H TPU 180 H Angewendete Richtlinien,harmonisierte Normen und angewendete,nationale Normenin Sprachen und Spezifikationen: Guidelines, harmonised standards, national standards in languages and specifications which have been applied: Les directives appliquées,normes harmoniséeset Ies normes nationales appliquées en langues et spécifications:...