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Rasterkraftmikroskop
Co-Nanopartikel und Spitzenqualität
Eine weitere Besonderheit sind Proben mit definierten Strukturen im niedrigen Nanometer-
Bereich. Zum einen, da hierdurch das hohe Auflösungsvermögen des Aufbaus gezeigt
werden kann und zum anderen, da in dieser Strukturgrößenordnung auch der
Spitzendurchmesser der mitgelieferten AFM-Spitzen liegt. Hieran können die Spitze-
Proben-Artefakte veranschaulicht werden. Eine theoretische Betrachtung dieses
Phänomens wird in Abschnitt 8.7.1 aufgezeigt. Die Strukturen zeigen eine wahrnehmbar
verbreiterte Strukturgröße die durch den Durchmesser der Spitze hervorgerufen wird
(Abbildung 84). Die Proben dienen deshalb dazu, den Spitzenradius und damit die Qualität
zu testen.
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Im Folgenden werden Messungen einer Probe mit Kobalt-Nanopartikeln
gezeigt. In
Abbildung 109 sieht man Proben, die mit unterschiedlichen Spitzenzuständen
vermessen wurden. Dabei ergeben sich für eine neu eingesetzte Spitze mit einem
Radius von 7 nm - 10 nm gemessene Partikelgrößen von 20 nm - 30 nm. Wie in
Abschnitt 8.7.1 beschrieben, muss der Spitzendurchmesser von der gemessenen
Partikelgröße abgezogen werden. Somit ergeben sich reale Partikelgrößen von
5 nm - 10 nm. Mit einer abgenutzten Spitze ergeben sich gemessene Strukturgrößen
von ca. 40 nm - 50 nm (oder größer), woraufhin auf den Spitzenradius
zurückgeschlossen werden kann. Abgebrochene Spitzen können sich im Bild als
wiederholende Strukturen zeigen (z.B. Dreiecke oder Doppelstufen). Weitere Aufnahmen
zu Bildartefakten durch veränderte Spitzengeometrie finden Sie im Troubleshooting,
insbesondere Abschnitt 10.4.
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®
http://www.tedpella.com/ (Hersteller), PELCO
AFM Tip and Resolution Test Specimen.
Rev C, 16. October 2018
Seite 131
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