Rasterkraftmikroskop
Spitze und Probe
Scan Richtung
Gescannter Weg
Abbildung 83: Einfluss der Spitzendeformation auf das Messsignal.
Der in der Software zu diesem Aufbau durchführbare Vorwärts- und Rückwärtsscan
eröffnet die bessere Einschätzung von Spitzenartefakten.
Eine realistische Größenordnung für den Spitzenradius sind 7 - 10 Nanometer für die
beigelegten BudgetSensors Cantilever mit einem Öffnungswinkel von 10-25°. Dadurch
erscheinen also grundsätzlich gemessene Objekte um ca. 14 – 20 nm breiter (siehe
Abbildung 84). Ein Beispiel für diese Verbreiterung ist in Abbildung 109 gezeigt.
Seite 98
MTN008707-D03