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Gaseinlasssysteme
6 Gaseinlasssysteme
6.1 HPI 040 H, manuell betätigt
Funktion
Steuerung, Betrieb
Ventilsteuerung
6.2 HPI 040 P, elektropneumatisch betätigt
Funktion
30
Je nach Option wird der HPA 220 mit unterschiedlichen Gaseinlasssystemen geliefert.
Diese können je nach Ausführung manuell oder elektropneumatisch betätigt sein.
PT M5x x1x
HPI040 H, manuell
PT M5x x2x
HPI040P, elektropneumatisch
PT M5x x3x
Doppelbalgzugschieber, manuell
PT M5x x4x
Doppelbalgzugschieber, elektropneumatisch
PT M5x x5x
UDV 040
siehe Kapitel 6.2 HPI 040 P, elektropneumatisch betätigt; Funktion; Seite 30
Gefahr der Filamentzerstörung und Analysatorverschmutzung
Wird das Ventil bei ungenügendem Vakuum geöffnet, strömt Gas in den Rezipienten,
wodurch die Glühkathode oxidiert und zerstört werden kann.
Stellen Sie vor dem Öffnen des Ventils sicher, dass in der Prozesskammer
ausreichendes Vakuum vorhanden ist.
Beachten Sie auch [11].
entfällt, da manuelle Steuerung
Das Ventilinterface besteht aus 3 Ventilen.
V1 ist ein Balgzugschieber mit grossem Leitwert und Anschlussnennweite 40 mm.
Dieses Ventil wird zur Restgasanalyse bzw. zum Lecktest bei Hochvakuumbedingungen
in der Prozessanlage geöffnet. Die Ventile V2 und V3 sind als Blenden ausgeführt. Die
Leitwerte der Blenden sind so ausgelegt, dass der Druckbereich von 1 ... 10
abgedeckt ist. Optional kann für Drücke zwischen 1 und 5 mbar in V2 eine Blende mit
0,03 mm Durchmesser eingesetzt werden.
WARNUNG
-3
mbar
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