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Technische Daten
5 Technische Daten
5.1 HPA 220
Massenbereich
Nachweisgrenze, min
Empfindlichkeit für Ar
Beeinflussung der
Nachbarmasse 40/41
Betriebstemperatur,
Analysator
Ausheiztemperatur,
Analysator ohne QME
Analysator
Filamentmaterial
Stabsystem: Material/
Durchmesser/ Länge
Detektor
Massenspektrometer-
elektronik
Software
Turbopumpe
Membranpumpe
Totaldruckmessröhre
Systemsteuerung
Schnittstellen:
– Verbindung System/PC
– Analoge Ausgänge, frei
wählbar
– Analoge Eingänge, frei
wählbar
– Digitale Ausgänge, frei
wählbar
– Digitaler Ausgang,
Ready
– Digitale Eingänge
wählbar
– Digitale Eingänge,
vorgegeben
Tabelle 5.1: Technische Daten HPA 220
18
amu
Faraday
mbar
C-SEM
Faraday
A/mbar
ppm
°C
°C
zwei Yttriumoxid-beschichtete Irirdiumfilamente bei Option PT M5x1xx
mm
1
, frei
HPA 220
1...100
-12
5x10
-14
1x10
-4
5x10
200
10
QMA 220 M
zwei Wolframfilamente bei Option PT M5x2xx
Edelstahl/6/100
C-SEM/Faraday
QME 220 M
HiPace 80
MVP 020-3
4x 0...+10V
5x -10...+10V
13x 24VDC
Kontakt, 60 VDC/30W
bis zu 4x24 VDC
24 VDC, Verriegelungen für System, Ventile und Heizung
1...200
-11
5x10
-14
1x10
-4
3x10
200
20
0...+150°C
max. +200°C
Quadera
PKR 251
BRU 220
Ethernet
1...300
-11
2x10
-14
4x10
-4
1.5x10
100
50
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