Gebrauch - Agilent Technologies Turbo-V 81-M Bedienungshandbuch

2 Gebrauchsanleitung

Gebrauch

Gebrauch

Alle Anweisungen für den korrekten Betrieb der Turbopumpe sind
im Handbuch der Kontrolleinheit enthalten. Bitte lesen Sie das
Handbuch aufmerksam vor dem Gebrauch. Für den Erhalt besserer
Grenzdruckwerte ist es möglich, das System zu erhitzen. Bei einer
eventuellen Erhitzung der Vakuumkammer darf die Temperatur an
dem Eintrittsflansch bei einem Flansch ConFlat nicht über 120 °C
und bei einem ISO-Flansch nicht über 80 °C liegen.
Während der Erhitzungsvorgänge immer die Abkühlung mit Wasser
verwenden.
WARNUNG! Die Pumpe darf nicht in Betrieb genommen werden, wenn der
Eingangsflansch nicht an die Vakuumkammer angeschlossen oder nicht mit
dem Verschlussflansch verschlossen ist. Während des Aufheizens dürfen
weder die Pumpe noch eventuelle heiße Zubehörteile berührt werden. Es
besteht Verbrennungsgefahr.
Während des Betriebs sind Stoß- und Vibrationseinwirkungen sowie
VORSICHT!
Ruckbewegungen an der Turbopumpe zu vermeiden, da die Lager beschädigt
werden könnten. Für die Belüftung der Pumpe trockene staub und partikelfreie
Luft oder Inertgase verwenden. Der Eingangsdruck am Belüftungsanschluß soll
unter 2 bar (über dem atmosphärischen Druck) betragen. Zum Pumpen von
aggressiven Gasen sind die Pumpen mit einer Öffnungsklappe ausgestattet, über
die zum Schutz der Lager Inertgas (Stickstoff oder Argon) zuzuleiten ist (siehe
Anhang "Technical Information").
Wenn die Pumpe zur Förderung von giftigen, leicht entflammbaren oder
WARNUNG!
radioaktiven Gasen benutzt wird, sind die für das jeweilige Gas
vorgeschriebenen Vorgänge und Maßnahmen zu befolgen. Die Pumpe darf
niemals bei Vorhandensein von explosionsfähigen Gasen verwendet werden.
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Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (E)