Seite 1 TV 1001 SEM Pump models: 7698931, 8698932, 8698946 Controller model: 9698978 Manuale di istruzioni Instruksjon manual Bedienungshandbuch Ohjekäsikirja Notice de mode d’emploi Felhasználói kézikönyv Manual de istrucciones Podrecznik instrukcji Manual de istruções Návod k použití Bedrijfshandleiding Návod na obsluhu Istrukstionsbog Priročnik za navodila...
Seite 2 Do not “Restricted computer software” as proceed beyond a WARNING notice defined in FAR 52.227-19 (June 1987) until the indicated conditions are or any equivalent agency regulation or fully understood and met. TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 3 TV 1001 SEM TV 1001 SEM TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H) 3/296...
Seite 4 TV 1001 SEM 4/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 5 Preparazione per l’installazione 20 Installazione Fissaggio della pompa Manutenzione 27 Smaltimento Gebrauchsanleitung 29 Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 30 Allgemeine Informationen Lagerung Vor der Installation 34 Installation 35 Befestigung der pumpe 36 Gebrauch Wartung TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H) 5/296...
Seite 6 Mise au rebut Manual de istrucciones 57 Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Información general 59 Almacenamiento Preparación para la instalación 62 Instalación 63 Fijación de la bomba 64 Mantenimiento 69 Eliminación 70 6/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 7 Utilização Manutenção Eliminação 84 Bedrijfshandleiding 85 Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 86 Algemene informatie Opslag Uitpakken 90 Installatie Bevestiging van de pomp Gebruik Onderhoud 97 Afvalverwerking 98 Istruktionsbog Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H) 7/296...
Seite 8 Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar 114 Allmän information 115 Förvaring Förberedelser för installation 118 Installation 119 Fastsättning av pump Användning 122 Underhåll Bortskaffning Instruksjon Manual 127 Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper Generell informasjon 129 8/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 9 10 Ohjekäsikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Yleisiä tietoja Varastointi 145 Valmistelut asennusta varten146 Asennus Pumpun kiinnitys Käyttö Huolto Hävittäminen 11 Felhasználói Kézikönyv 155 Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz 156 Általános informáicó 157 Tárolás Előkészítés telepítésre TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H) 9/296...
Seite 10 Instalacja Mocowanie pompy 176 Użytkowanie Konserwacja Przetworstwo odpadow 182 13 Návod k Použití Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy 184 Všeobecné informace Uskladnění 187 Příprava k instalaci 188 Instalace Montáž vývěvy 190 10/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 11 Inštalácia Upevnenie vývevy Použitie Údržba Likvidácia 15 Priročnik za Navodila Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke 212 Splošne informacije 213 Shranjevanje Priprava za montažo 216 Montaža Pritrjevanje črpalke 218 Uporaba Vzdrževanje 223 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H) 11/296...
Seite 12 TV 1001 SEM Outline Interconnections How to Connect the Open-Collector Inputs of the Controller RS 232/RS 485 Communication Description 261 Inlet Screen Installation 271 Water Cooling Kit Installation Vent Accessories Vibration Isolator Installation 279 12/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 13 Serial Cable Installation 281 TV 1001 SEM Controller Installation 281 Connection C - Electrical 286 Pump Used with Corrosive Gases 287 Pump Used in Presence of Magnetic Fields Accessories and Spare Parts 289 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H) 13/296...
Seite 14 Contents 14/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 15 TV 1001 SEM User Manual Istruzioni per l’uso Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Informazioni Generali Immagazzinamento Preparazione per l’installazione 20 Installazione Fissaggio della pompa 22 Accensione ed uso della TV1001 SEM Arresto della TV1001 SEM 26 Arresto di Emergenza 26...
Seite 16 Per evitare danni all'apparecchiatura e prevenire lesioni agli operatori, è AVVERTENZA! necessario seguire attentamente le istruzioni di installazione descritte nel presente manuale! 16/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 17 (RS232 o RS485). Nei paragrafi seguenti sono riportate tutte le informazioni necessarie a garantire la sicurezza dell'operatore durante l'utilizzo dell'apparecchiatura. Informazioni dettagliate sono fornite nell'appendice “Technical Information”. TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H) 17/296...
Seite 18 I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che, se non ATTENZIONE! osservate, potrebbero causare danni all’apparecchiatura. Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal testo. NOTA 18/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 19 10 mesi dalla data di spedizione. Se, per qualsiasi ragione, il tempo di immagazzinamento è superiore, occorre ATTENZIONE! reinviare la pompa in fabbrica. Per ogni informazione, si prega di contattare il locale rappresentante della Agilent. TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H) 19/296...
Seite 20 LaTV 1001 SEM non può essere danneggiata rimanendo semplicemente esposta NOTA all'atmosfera. Si consiglia comunque di mantenere chiusa la pompa fino al momento dell'installazione sul sistema onde evitare eventuale inquinamento da polvere. 20/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 21 In presenza di campi elettromagnetici la pompa deve essere protetta tramite opportuni schermi. Vedere l'appendice "Technical Information" per ulteriori dettagli. LaTV 1001 SEM deve essere collegata ad una pompa primaria (vedere schema in "Technical Information"). TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H) 21/296...
Seite 22 Per le flange F le viti in acciaio devono essere di classe > 8.8 La turbopompa con flangia di ingresso ConFlat deve essere fissata alla camera da vuoto per mezzo dell'apposita minuteria meccanica Agilent. Per ulteriori dettagli vedere l'appendice "Technical Information". 22/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 23 Assicurarsi che l’isolamento del dispositivo connesso allaTV 1001 SEM abbia un isolamento adeguato anche in condizione di guasto singolo come previsto dalla normativa EN 61010-1. Per l'installazione degli accessori opzionali, vedere "Technical Information". TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H) 23/296...
Seite 24 (Azoto o Argon) per proteggere i cuscinetti (vedere l'appendice "Technical Information"). Non usare mai la pompa in presenza di gas o vapori corrosivi che possano ATTENZIONE! danneggiare i materiali interni alla pompa. 24/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 25 (vedere il paragrafo “RS 232/485 COMMUNICATION DESCRIPTION” nell’appendice “Technical Information”). Il LED verde posto sul pannello della base della TV 1001 SEM indica, con la frequenza del suo lampeggio, le condizioni operative del sistema: acceso fisso: la pompa è in rotazione normale;...
Seite 26 Istruzioni per l’uso Arresto della TV1001 SEM Per arrestare la TV 1001 SEM è sufficiente togliere la tensione di alimentazione. Il controller incorporato arresta immediatamente la pompa. AVVERTENZA! Per la sicurezza dell'operatore il controller Turbo-V deve essere alimentato con un cavo di alimentazione a 3 fili (vedere la tabella delle parti ordinabili) dotato di una spina (approvata a livello internazionale).
Seite 27 Istruzioni per l’uso Manutenzione Manutenzione La TV 1001 SEM non richiede alcuna manutenzione. Qualsiasi intervento deve essere eseguito da personale autorizzato. AVVERTENZA! Prima di effettuare qualsiasi intervento sul sistema scollegarlo dall’alimentazione, mandare all'aria la pompa aprendo l'apposita valvola, attendere fino al completo arresto del rotore ed attendere che la temperatura superficiale della pompa sia inferiore a 50 °C.
Seite 28 Per maggiori informazioni riferirsi a: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 28/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 29 TV 1001 SEM User Manual Gebrauchsanleitung Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 30 Allgemeine Lagerung Vor der Installation Installation Befestigung der pumpe 36 Gebrauch Einschaltung und Gebrauch von Modell TV 1001 SEM 39 Stoppen von Modell TV 1001 SEM Not-Aus Wartung Entsorgung Übersetzung der Originalanleitungen 29/296...
Seite 30 Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch, könnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden. Um Schäden am Gerät zu vermeiden und um Verletzungen der Bediener WARNUNG! vorzubeugen, befolgen Sie bitte aufmerksam die in diesem Handbuch beschriebenen Installationshinweise! 30/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 31 Eingriffen und Mißachtung der nationalen einschlägigen Normen übernimmt die Firma Agilent keinerlei Haftung. Bei den Pumpen der Serie TV 1001 SEM handelt es sich um Turbomolekularpumpen für Hoch- und Ultrahochvakuumanwendungen. Sie eignen sich zur Förderung von jeder Art von Gasen oder gashaltigen Gemischen, nicht jedoch zur Förderung von Flüssigstoffen oder Festpartikel.
Seite 32 Ausführung schwere Verletzungen hervorrufen könnten. Die Vorsichtshinweise werden vor Vorgängen angegeben, die bei VORSICHT! Nichtbeachtung Schäden an der Anlage verursachen könnten. Die Hinweise enthalten wichtige Informationen, die aus dem Text hervorgehoben HINWEIS werden. 32/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 33 Speditionsdatum. Falls die Lagerdauer aus verschiedenen Gründen die genannte Frist VORSICHT! überschreiten sollte, ist die Pumpe an das Werk zurückzusenden. Für Informationen wenden Sie sich bitte an den örtlichen Agilent Vertreter. TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H) 33/296...
Seite 34 Berührung kommen, nicht mit den bloßen Händen angefasst werden. Es sind stets Schutzhandschuhe oder andere Schutzmittel zu verwenden. Abbildung 1 Modell TV 1001 SEM kann durch die Umgebung an sich keine Schäden HINWEIS erleiden. Es sollte jedoch bis zur Installation an der Anlage geschlossen bleiben, um Verunreinigungen durch Staub zu vermeiden.
Seite 35  Bei Vorhandensein von elektromagnetischen Feldern ist die Pumpe entsprechend abzuschirmen. Für ausführliche Informationen siehe im Anhang "Technical Information". Modell TV 1001 SEM ist an eine Primärpumpe anzuschließen (siehe Schema in "Technical Information"). TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 36 Pumpe oder vom System geschleudert werden, die schwere Schäden oder den Tod und/oder Schäden an benachbarten Geräten zur Folge haben könnten. TV 1001 SEM in einer stabilen Position befestigen. Den Eintrittsflansch der Turbopumpe am Gegenflansch des Systems montieren. Diese Verbindung soll einem Drehmoment von 8.900 Nm um die eigene Achse standhalten.
Seite 37 Modell TV 1001 SEM kann nicht mittels seines Sockels befestigt werden. HINWEIS Der TV 1001 SEM gehört zur zweiten Installationsklasse (Überdruck) die von den VORSICHT! Normen EN 61010-1 vorgesehen ist. Die Vorrichtung muß daher an eine Speisungsleitung angeschlossen werden, die dieser Kategorie entspricht.
Seite 38 Wenn die Pumpe zur Förderung von giftigen, leicht entflammbaren oder radioaktiven Gasen benutzt wird, sind die für das jeweilige Gas vorgeschriebenen Vorgänge und Maßnahmen zu befolgen. Die Pumpe darf niemals bei Vorhandensein von explosionsfähigen Gasen verwendet werden. 38/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 39 Daueranzeige: Die Pumpe befindet sich im normalen Betrieb.  Langsame Blinkanzeige (ca. 400 ms): das System befindet sich  entweder im Status Rampe, Abbremsung, Stopp oder “Waiting for Interlock”. Schnelle Blinkanzeige (ca. 200 ms): Fehlerstatus.  TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H) 39/296...
Seite 40 Controller entwickeln, können zu schweren Schäden oder zum Tod führen. Vor den Wartungsarbeiten innerhalb der Einheit die Stromkabel trennen. Not-Aus Zur Stillsetzung von Mod. TV 1001 SEM in Notsituationen ist vom Controller das Netzkabel abzuziehen. 40/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 41 Gebrauchsanleitung Wartung Wartung Modell TV 1001 SEM erfordert keine Wartung. Eventuelle Eingriffe dürfen nur von autorisiertem Fachpersonal ausgeführt werden. WARNUNG! Vor jedem Eingriff am System den Netzstecker ziehen, die Pumpe über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften und abwarten, bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Temperatur am Pumpengehäuse unter 50 °C...
Seite 42 Endabnehmer sollte daher den Lieferanten des Geräts - d.h. die Muttergesellschaft oder den Wiederverkäufer - kontaktieren, um den Entsorgungsprozess zu starten, nachdem er die Verkaufsbedingungen geprüft hat. Für weitere Informationen: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 42/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 43 Indications générales Stockage Preparation pour l’installation Installation Fixation de la pompe Utilisation Mise en marche et utilisation du TV 1001 SEM 53 Arrêt du TV 1001 SEM 54 Arrêt d'urgence Entretien Mise au rebut 56 Traduction de la mode d’emploi originale...
Seite 44 être libérée. AVERTISSEMENT! Pour éviter tout dégât aux appareillages et empêcher toute blessure aux opérateurs, il faut suivre attentivement les instructions d'installation décrites dans ce manuel! 44/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 45 Les pompes de la série TV 1001 SEM sont des pompes turbomoléculaires conçues pour des applications de vide poussé et ultrapoussé, et elles sont appropriées pour le pompage de n'importe quel type de gaz ou de composé...
Seite 46 Les messages d’attention apparaissent avant certaines procédures qui, si elles ATTENTION! ne sont pas observées, pourraient endommager sérieusement l’appareillage. Les notes contiennent des renseignements importants isolés du texte. NOTE 46/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 47 à compter de la date d'expédition. En cas de dépassement du temps de stockage pour toutes raisons, la pompe ATTENTION! doit être retournée en usine. Pour tout renseignement, contacter le représentant Agilent de zone. TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H) 47/296...
Seite 48 Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage, veiller tout particulièrement à ne pas laisser tomber le TV 1001 SEM et à ne lui faire subir aucun choc et aucune vibration. Ne pas abandonner l'emballage dans la nature. Le matériel est entièrement recyclable et conforme à...
Seite 49 En présence de champs magnétiques, la pompe doit être protégée à l'aide d'écrans appropriés. Pour tout autre renseignement, se reporter à l'opuscule "Technical Information". Le TV 1001 SEM doit être connecté à une pompe primaire (Cf. schéma dans "Technical Information").
Seite 50 équipements environnants. Fixer le TV 1001 SEM de façon stable en assurant la collerette d'entrée de la turbopompe à la contre-collerette du système au moyen d'une connexion en mesure de résister à un couple de 8900 Nm autour de son axe.
Seite 51 être branchés aux circuits extérieurs de façon qu'aucune partie sous tension ne soit accessible. S'assurer que l'isolation du dispositif branché au TV 1001 SEM a une isolation appropriée même en condition de panne individuelle selon les termes de la norme EN 61010-1.
Seite 52 Lorsque la pompe est utilisée pour le pompage de gaz toxiques, inflammables ou radioactifs, suivre les procédures typiques de chaque gaz. Ne pas utiliser la pompe en présence de gaz explosifs. 52/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 53 "Soft Start", il faut réactiver ce mode opératoire à l'aide du logiciel (Cf. paragraphe "RS232 COMMUNICATION DESCRIPTION" dans l'appendice "Technical Information"). La LED verte LD1 placée sur le panneau de la base du TV 1001 SEM indique, par sa fréquence de clignotement, les conditions opérationnelles du système: allumée fixe: la pompe est en rotation normale;...
Seite 54 Mode d’emploi Utilisation Arrêt du TV 1001 SEM Pour arrêter le TV 1001 SEM, il suffit de retirer la tension d'alimentation. Le contrôleur incorporé arrête immédiatement la pompe. AVERTISSEMENT! Pour la sécurité de l’opérateur, le contrôleur Turbo-V doit être alimenté par un câble d’alimentation à...
Seite 55 Mode d’emploi Entretien Entretien Le TV 1001 SEM n'exige aucun entretien particulier. Toute intervention doit être effectuée par un personnel agréé. AVERTISSEMENT! Avant toute intervention sur le système, le débrancher, refouler l'air de la pompe en ouvrant la soupape prévue à cet effet, attendre jusqu'à l'arrêt complet du rotor et jusqu'à...
Seite 56 œuvre le processus de collecte et mise au rebut. Pour plus d’informations, rendez-vous à l’adresse: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 56/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 57 Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Información general Almacenamiento Preparación para la instalación 62 Instalación Fijación de la bomba Encendido y Uso del TV 1001 SEM Parada del TV 1001 SEM Parada de Emergencia 68 Mantenimiento Eliminación Traducción de las instrucciones originales...
Seite 58 ¡ADVERTENCIA! Para evitar daños a los equipos y prevenir lesiones a los operadores, es necesario seguir atentamente las instrucciones de instalación descritas en el presente manual! 58/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 59 “limpio”. Asimismo, el TV 1001 SEM posee conectores auxiliares con los que se puede alimentar un ventilador adicional, accionar la válvula de ventilación, pilotarla a distancia con un ordenador host conectado mediante línea serial (RS 232/RS 485).
Seite 60 Los mensajes de atención se visualizan antes de los procedimientos que, de no ¡ATENCIÓN! cumplirse, podrían provocar daños al aparato. Las notas contienen información importante extraída del texto. NOTA 60/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 61 En caso de superarse por cualquier motivo el período máximo permitido de ¡ATENCIÓN! almacenamiento, será necesario devolver la bomba al fabricante. Para mayores informaciones al respecto, se ruega contactar con el representante local de Agilent. TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H) 61/296...
Seite 62 Durante la operación de desembalaje, tener cuidado de que no se caiga el TV 1001 SEM y de no someterlo a golpes o vibraciones. No abandonar el embalaje en el medio ambiente. El material es completamente reciclable y cumple con la directiva CEE 85/399 para la preservación del medio ambiente.
Seite 63 Cuando existan campos electromagnéticos, la bomba ha de protegerse mediante pantallas oportunas. Véase el anexo “Technical Information” para más detalles. El TV 1001 SEM ha de conectarse a una bomba primaria (véase diagrama en “Technical Information”). TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 64 Fijar el TV 1001 SEM en posición estable, montando la brida de entrada de la turbo-bomba en la contrabrida del sistema, con conexión capaz de resistir a un par de 8900 Nm en torno a su propio...
Seite 65 El TV 1001 SEM puede instalarse en cualquier posición. El TV 1001 SEM no puede fijarse utilizando su base. NOTA El TV 1001 SEM pertenece a la segunda categoría de instalación (o ¡ATENCIÓN! sobretensión) prevista por la normativa EN 61010-1. Por lo tanto este dispositivo debe ser conectado a una línea de alimentación adecuada para dicha categoría.
Seite 66 ¡ADVERTENCIA! Cuando la bomba se utiliza para bombear gases tóxicos, inflamables o radioactivos, seguir los procedimientos apropiados típicos de cada gas. No usar la bomba cuando haya gases explosivos. 66/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 67 Manual de istrucciones Encendido y Uso del TV 1001 SEM Para encender el TV 1001 SEM basta con suministrar la tensión de alimentación. El controlador incorporado reconoce automáticamente la presencia de las señales de interbloqueo y de arranque y activa la bomba.
Seite 68 Manual de istrucciones Parada del TV 1001 SEM Para parar el TV 1001 SEM nte con desenchufarlo de la corriente. El controler incorporado detiene inmediatamente la bomba. ¡ADVERTENCIA! Para seguridad del operador el controlador Turbo-V debe ser alimentado con cable de alimentación de 3 hilos (véase tabla de partes disponibles para pedido) provisto de un enchufe (aprobado internacionalmente).
Seite 69 Manual de istrucciones Mantenimiento Mantenimiento El TV 1001 SEM no necesita ningún mantenimiento. Cualquier operación deberá ser realizada por personal autorizado. ¡ADVERTENCIA! Antes de realizar cualquier operación en el sistema desconectarlo de la corriente, enviar aire de la bomba abriendo la válvula oportuna, esperar hasta que el rotor se pare completamente y esperar a que la temperatura superficial de la bomba sea inferior a 50 ºC.
Seite 70 Para mayor información, remitirse a: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 70/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 71 Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares Informações gerais Armazenagem Preparação para a instalação Instalação Fixação da bomba 78 Utilização Acendimento e Utilização do TV 1001 SEM Paragem do TV 1001 SEM Paragem de Emergência Manutenção Eliminação Tradução das instruções originais 71/296...
Seite 72 ATENÇAO! Para evitar danos à aparelhagem e prevenir lesões aos operadores, é necessário seguir atentamente as instruções de instalação descritas neste manual! 72/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 73 O efeito da bomba é obtido através de uma turbina rotativa de alta velocidade (38000 r.p.m. máx.) movida por um motor eléctrico trifásico de alto rendimento. O TV 1001 SEM é totalmente isentos de agentes contaminadores e, portanto, é adequado para aplicações que requerem um vácuo "limpo".
Seite 74 As mensagens de cuidado são visualizadas antes de proceder que, se não CUIDADO! observadas, poderiam causar danos à aparelhagem. As notas contém informações importantes estrapoladas pelo texto. NOTA 74/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 75 Se, por uma razão qualquer, o período de armazenagem for superior, será CUIDADO! necessário enviar outra vez a bomba para o fabricante. Para mais informações, contatar o representante local da Agilent. TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H) 75/296...
Seite 76 à exposição do vácuo. Utilizar sempre luvas ou outra protecção adequada. Figura 1 O TV 1001 SEM não pode ser danificado permanecendo simplesmente exposto à NOTA atmosfera. Aconselha-se, no entanto, manter a bomba fechada até o momento da instalação no sistema para evitar eventuais acumulações de pó.
Seite 77 Na presença de campos electromagnéticos, a bomba deve ser protegida através de blindagens adequadas. Para ulteriores detalhes, consultar o apêndice "Technical Information". O TV 1001 SEM deve ser ligado a uma bomba primária (consultar esquema em "Technical Information"). TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 78 Colocar o TV 1001 SEM em posição estável, fixando o flange de entrada da turbobomba ao contra-flange do sistema, com uma ligação que resista a um torque de 8900 Nm à...
Seite 79 às partes sob tensão. Assegure-se de que o isolamento do dispositivo ligado ao TV 1001 SEM esteja isolado correctamente mesmo em caso de avaria, conforme previsto pela norma NE 61010-1.
Seite 80 ATENÇAO! Quando a bomba é utilizada para bombear gases tóxicos, inflamáveis ou radioactivos, seguir os procedimentos adequados típicos para cada gás. Não usar a bomba na presença de gases explosivos. 80/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 81 (período de aprox. 400 ms): o sistema está em  estado de aceleração, ou de paragem, ou de Stop, ou de “waiting for interlock”. intermitência rápida (período de aprox. 200 ms): condição de  erro. TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H) 81/296...
Seite 82 Manual de Istruções Utilização Paragem do TV 1001 SEM Para parar o TV 1001 SEM é suficiente desligar a tensão de alimentação. O controller incorporado para imediatamente a bomba. ATENÇAO! Para a segurança do operador, o controller Turbo-V deve ser alimentado com um cabo de alimentação com 3 fios (ver a tabela das partes que...
Seite 83 Manual de Istruções Manutenção Manutenção O TV 1001 SEM não requer qualquer manutenção. Todas as operações devem ser efectuadas por pessoal autorizado. ATENÇAO! Antes de executar qualquer operação no sistema, desligá-lo da alimentação, introduzir ar na bomba abrindo a válvula específica, aguardar até a completa paragem do rotor e até...
Seite 84 Para maiores informações consultar: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 84/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 85 Bedrijfshandleiding Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen Algemene informatie Opslag Uitpakken Installatie Bevestiging van de pomp Gebruik Inschakeling en gebruik van de TV 1001 SEM 95 Afzetten van de TV 1001 SEM Noodstop Onderhoud Afvalverwerking 98 Vertaling van de originele instructies 85/296...
Seite 86 WAARSCHUWING! Om schade aan de apparatuur en letsel bij de bedieners te voorkomen, moeten de installatie-instructies in deze handleiding nauwgezet worden opgevolgd! 86/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 87 De pompen van de serie TV 1001 SEM zijn turbomoleculaire pompen voor hoge en ultrahoge vacuümtoepassingen, die in staat zijn om elk type gas of gasverbinding te pompen. Ze zijn niet geschikt voor het pompen van vloeistoffen of vaste deeltjes.
Seite 88 Bij dit synbool staat tekst met procedures die, indien niet opgevolgsd, schade VOORZICHTIG! aan apparatuur kunnen veroorzaken. De opmerkingen bevatten belangrijke informatie die uit de tekst is gelicht. OPMERKING 88/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 89 Indien om een willekeurige reden de opslagtijd langer is, moet de pomp weer VOORZICHTIG! naar de fabriek worden gestuurd. Voor meer informatie wordt verzocht contact op te nemen met de plaatselijke vertegenwoordiger van Agilent. TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H) 89/296...
Seite 90 Gebruik altijd handschoenen of een andere geschikte bescherming. Figuur 1 De TV 1001 SEM kan niet beschadigd worden door eenvoudigweg aan de OPMERKING atmosfeer blootgesteld te worden. Toch wordt aangeraden om de pomp gesloten te houden zolang deze niet in het systeem wordt ingebouwd, zodat eventuele vervuiling door stof wordt voorkomen.
Seite 91 In aanwezigheid van magnetische velden moet de pomp op passende wijze afgeschermd worden. Zie de bijlage “Technical Information” voor meer informatie. De TV 1001 SEM moet op een primaire pomp aangesloten zijn (zie schema in "Technical information"). TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 92 Bevestig de TV 1001 SEM in een stabiele positie door de inlaatflens van de turbopomp op de contraflens van het systeem te monteren, met een verbinding die in staat is om een koppel van 8900 Nm rondom de eigen as te weerstaan.
Seite 93 Controleer of de inrichting verbonden met de TV 1001 SEM goed geïsoleerd is, ook in geval van een enkele storing zoals voorzien door de norm EN 61010-1.
Seite 94 Wanneer de pomp wordt gebruikt voor het pompen van giftige, brandbare of radioactieve gassen, moeten de procedures worden gevolgd die speciaal voor elk type gas zijn opgesteld. Gebruik de pomp niet in aanwezigheid van explosieve gassen. 94/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 95 Gebruik Inschakeling en gebruik van de TV 1001 SEM Om de TV 1001 SEM in te schakelen is het voldoende om deze van stroom te voorzien. De ingebouwde controller herkent automatisch de aanwezigheid van interlock- en startsignalen en start de pomp.
Seite 96 Maak de voedingskabel los alvorens onderhoudswerkzaamheden in het systeem uit te voeren. Noodstop Om de TV 1001 SEM in noodomstandigheden te stoppen, moet de stroomtoevoerkabel van de controller losgemaakt worden. 96/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 97 Bedrijfshandleiding Onderhoud Onderhoud De TV 1001 SEM is onderhoudsvrij. Eventuele werkzaamheden moeten door bevoegd personeel worden uitgevoerd. WAARSCHUWING! Alvorens werkzaamheden aan het systeem uit te voeren, de voeding loskoppelen, de pomp met behulp van de hiervoor bestemde klep ontluchten en wachten totdat de rotor volledig stil staat en de oppervlaktetemperatuur van de pomp onder een temperatuur van 50 °C is gezakt.
Seite 98 Kijk voor meer informatie op: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 98/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 99 TV 1001 SEM User Manual Istruktionsbog Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper Generel information Opbevaring Forberedelser før installation Installation Fastgørelse af pumpe 106 Anvendelse Start og anvendelse af TV 1001 SEM 109 Stop af TV 1001 SEM Nødstop 110 Vedligeholdelse Bortskaffelse Oversættelse af originalinstruktionerne 99/296...
Seite 100 For at undgå materielle skader samt at operatørerne kommer til skade, er det ADVARSEL! strengt nødvendigt nøje at overholde installeringsvejledningen i denne brugsanvisning! 100/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 101 Pumpningen sker ved hjælp af en hurtigroterende turbine (38000 omdr./min.). Turbinen drives af en elektrisk trefasemotor med høj effekt. TV 1001 SEM er ikke fremstillet af skadelige stoffer og er derfor egnet til anvendelse, der kræver “rent” vakuum. TV 1001 SEM har endvidere hjælpestik, der gør det muligt at forsyne ventilator,...
Seite 102 Denne advarselsmeddelelse vises før procedurer, der skal følges nøje for ikke at FORSIGTIG! risikere maskinskader. Dette gør opmærksom på vigtig information i teksten. BEMÆRK 102/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 103  forsendelsesdatoen. Hvis opbevaringsperioden af en eller anden grund er længere, er det nødvendigt FORSIGTIG! at sende pumpen tilbage til fabrikken. Yderligere oplysninger fås ved henvendelse til den lokale Agilent repræsentant. TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H) 103/296...
Seite 104 TV 1001 SEM leveres i en speciel beskyttende emballage. Kontakt den lokale forhandler, hvis emballagen viser tegn på skader, der kan være opstået under transporten. Sørg for, at TV 1001 SEM ikke tabes eller udsættes for stød ved udpakningen. Smid ikke emballagen ud. Materialet kan genbruges 100 % og opfylder EU-direktiv 85/399 om miljøbeskyttelse.
Seite 105  Hvis pumpen er anbragt i nærheden af elektromagnetiske felter, skal den afskærmes. Se bilaget “Technical Information” for yderligere oplysninger. TV 1001 SEM skal tilsluttes en hovedpumpe (se skemaet “Technical Information”). TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H) 105/296...
Seite 106 Montér TV 1001 SEM i en stabil position ved at montere turbopumpens indgangsflange på systemets kontraflange. Forbindelsen skal kunne tåle et drejemoment på 8.900 Nm omkring dens egen akse.
Seite 107 VOORZICHTIG! overspændingsklasse) jf. normen EN 61010-1. Slut derfor anordningen til en forsyningslinie, som opfylder kravene i denne klasse. TV 1001 SEM er forsynet med konnektorer til ind-/udgange og til seriel kommunikation. Konnektorerne skal tilsluttes de eksterne kredsløb, således at det ikke er muligt at opnå adgang til de spændingsførende dele.
Seite 108 Pumpen må aldrig bruges hvis der er gasser eller ætsende dampe, der kan FORSIGTIG! beskadige pumpens indvendige dele. ADVARSEL! Når pumpen anvendes til toksiske, brandfarlige eller radioaktive gasser, følges fremgangsmåden for den enkelte gastype. Anvend ikke pumpen til eksplosive gasser. 108/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 109 Istruktionsbog Anvendelse Start og anvendelse af TV 1001 SEM For at starte TV 1001 SEM er det tilstrækkeligt at tilslutte et forsyningsstik. Den indbyggede styreenhed genkender blokerings- og startsignaler automatisk, og starter pumpen. Pumpen startes første gang ved hjælp af SOFT START metoden. Når startprocessen er afsluttet, frakobles denne funktion automatisk med hensyn til alle efterfølgende aktiveringer af pumpen, der vil ske uden...
Seite 110 Istruktionsbog Nødstop Stop af TV 1001 SEM For at afbryde TV 1001 SEM er det tilstrækkeligt at afbryde strømtilførselen. Den indbyggede styreenhed afbryder straks pumpen. ADVARSEL! For operatørens sikkerhed skal Turbo - V controller'en strømforsynes med et 3-trådet-fødekabel (se tabellen over de bestilbare stykker) fødekablet skal være udstyret med et stik (som skal være godkendt på...
Seite 111 Istruktionsbog Vedligeholdelse Vedligeholdelse TV 1001 SEM behøver ikke nogen vedligeholdelse. Ethvert indgreb skal foretages af autoriseret personale. ADVARSEL! Inden der foretages noget som helst indgreb på systemet, skal strømmen først afbrydes, og luften i pumpen skal fjernes ved at åbne ventilen. Vent med foretagelse af indgrebet til rotoren er standset, og til temperaturen på...
Seite 112 For yderligere oplysninger, ret henvendelse til: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 112/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 113 TV 1001 SEM User Manual Bruksanvisning Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar 114 Allmän information Förvaring Förberedelser för installation Installation Fastsättning av pump 120 Användning Start och användning av TV 1001 SEM Att stänga av TV 1001 SEM 124 Nödstopp Underhåll Bortskaffning Översättning av originalinstruktionerna 113/296...
Seite 114 VARNING! För att undvika skador på utrustningen och förhindra att skador orsakas på operatörer, måste installationsinstruktionerna som beskrivs i den här bruksanvisningen följas noga. 114/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 115 TV 1001 SEM, som därför passar för tillämpningar som kräver ett "rent" vakuum. TV 1001 SEM har dessutom en hjälpkontakt som gör det möjlig att förse ström till en extra ventilator, att kontrollera avluftningsventilen, och att fjärrstyra den med hjälp av en host-dator som är ansluten genom seriell förbindelse (RS 232/RS 485).
Seite 116 Detta varningsmeddelande visas framför procedurer som måste följas exakt för OBSERVER! att inte risk för maskinskada skall uppstå Detta visar på viktig information i texten. OBSERVERA 116/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 117 De turbomolekylära pumparna kan lagras i 10 månader från  leveransdatumet. Om lagringstiden av någon anledning är längre måste pumpen skickas tillbaka OBSERVER! till fabriken. Var god och kontakta den lokala Agilent -återförsäljaren för ytterligare information. TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H) 117/296...
Seite 118 OBSERVER! pga. kontamineringsrisken. Använd alltid handskar eller liknande skydd. Figur 1 Normal påverkan från omgivningen kan inte skada TV 1001 SEM. Trots det är det OBSERVERA säkrast att hålla pumpen nerpackad tills den har installerats i systemet, för att förhindra att det kommer in damm eller annat i den.
Seite 119 I närvaro av magnetfält ska pumpen skyddas med en särskild skärm. Se bilagan “Technical Information“ för ytterligare upplysningar. TV 1001 SEM måste anslutas till en huvudpump (se schemat i "Technical Information"). TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H) 119/296...
Seite 120 Fäst TV 1001 SEM i ett stabilt läge genom att ansluta turbopumpens intagsfläns till systemets fläns som måste tåla ett vridmoment på 8900 Nm kring sin axel.
Seite 121 åt någon spänningsförande del. Kontrollera att anordningen som är ansluten till TV 1001 SEM har en lämplig isolering även vid ett enskilt fel enligt standard EN 61010-1.
Seite 122 VARNING! Då pumpen används för pumpning av giftiga, lättantändliga eller radioaktiva gaser, bör man följa de särskilda anvisningarna för varje enskild gas. Använd ej pumpen i närheten av explosiva gaser. 122/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 123 Bruksanvisning Användning Start och användning av TV 1001 SEM För att starta TV 1001 SEM behöver du bara ansluta till ett eluttag. Den inbyggda styrenheten känner automatiskt igen förreglings- och startsignaler, och startar pumpen. Pumpens första start sker i "Mjukstart"-läget som i slutet av inledningscykeln slås av automatiskt.
Seite 124 Bruksanvisning Användning Att stänga av TV 1001 SEM Om du vill stänga av TV 1001 SEM behöver du bara dra ut elkabeln ur vägguttaget. Den inbyggda styrenheten avbryter omedelbart pumpens funktion. VARNING! För operatörens säkerhet bör Turbo-V systemet vara anslutet med en strömkabel med 3 stycken ledare (se tabellen över ordinerbara delar)
Seite 125 Bruksanvisning Underhåll Underhåll TV 1001 SEM är underhållsfritt. Allt servicearbete måste utföras av auktoriserad personal. VARNING! Innan något arbete utförs på systemet måste pumpens strömförsörjning avbrytas och pumpen luftas genom att den aktuella ventilen öppnas. Vänta sedan tills rotorn stannat samt tills pumpens yttemperatur är lägre än 50 ºC.
Seite 126 återförsäljaren, för att kunna starta uppsamlings- och bortskaffningsprocessen, detta efter lämplig kontroll av kontraktsenliga tidsgränser och försäljningsvillkor. För ytterligare information, se: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 126/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 127 TV 1001 SEM User Manual Instruksjon Manual Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper Generell informasjon 128 Lagring Klargjøre til installasjon Installasjon 133 Festing av pumpen Bruk Starte og bruke TV 1001 SEM Stoppe TV 1001 SEM Nødstopp Vedlikehold Eliminering Oversetting av den opprinnelige samsvarserklæringen 127/296...
Seite 128 I tilfelle feil ved systemet, for eksempel på grunn av en kontakt mellom rotor og stator eller brudd på rotoren, kan roteringsenergien bli frigitt. For å unngå skader på utstyret og forebygge operatørskader må ADVARSEL! installasjonsanvisningene beskrevet i denne manualen følges nøye! 128/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 129 De er ikke beregnet for å pumpe væsker eller faste partikler. Pumpingen oppnås med en høyhastighetsturbin (maks. 38000 opm) koplet til en trefaset elektrisk motor. TV 1001 SEM har ingen forurensende stoffer og er derfor egnet for anlegg med behov for "rene" vakuum.
Seite 130 Denne advarselen vises foran fremgangsmåter som, dersom de ikke følges, kan FORSIKTIG! føre til at utstyret skades. Merknadene inneholder viktig informasjon som er hentet fra teksten. MERK 130/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 131 Lagringstiden for en turbomolekylær pumpe er 10 måneder fra  sendedato. Hvis lagringstiden av en hvilken som helst grunn er lenger, må pumpen FORSIKTIG! returneres til fabrikken. Vennligst kontakt den lokale Agilent -forhandleren for informasjon. TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H) 131/296...
Seite 132 TV 1001 SEM leveres i en spesiell beskyttelsesemballasje. Viser denne tegn på skader som kan ha oppstått under transporten, må du ta kontakt med det lokale salgskontoret. Når TV 1001 SEM pakkes ut, må du se til at det ikke slippes ned eller utsettes for noen form for støt.
Seite 133 0 – 95 % (uten kondens)  Ved magnetfelt må pumpen beskyttes av dertil egnede skjermer. Se “Technical Information” for detaljer. TV 1001 SEM må koples til en hovedpumpe (se skjema i " Technical informasjon"). TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H) 133/296...
Seite 134 Dette kan føre til alvorlige skader eller død og/eller skader på annet utstyr i nærheten. Fest TV 1001 SEM i en stabil posisjon, monter turbopumpens innløpsflens til systemets motflens med en tilkopling som er i stand til å...
Seite 135 Forsikre deg om at isoleringen av anordningen koplet til TV 1001 SEM har en egnet isolering, også under forhold med en enkel feil i følge EN 61010-1 standarden.
Seite 136 ADVARSEL! Når pumpen brukes for å pumpe giftige, brannfarlige eller radioaktive gasser skal de relevante forskriftene for de enkelte gasstypene følges. Pumpen skal ikke brukes i eksplosjonsfarlige miljøer. 136/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 137 Instruksjon Manual Bruk Starte og bruke TV 1001 SEM TV 1001 SEM startes ved å sette strømkabelen i veggkontakten. Den innebygde styreenheten kjenner automatisk igjen blokkerings- og startsignaler, og starter pumpen. Første igangsetting av pumpen skjer med MYK START, som etter denne første igangsettingssyklusen desaktiveres, slik at etterfølgende...
Seite 138 Før man utfører vedlikeholdsoperasjoner inne i enheten, er det nødvendig å kople fra strømkabelen. Nødstopp Trekk ut nettkabelen fra styreenheten for å stoppe TV 1001 SEM i en nødsituasjon. 138/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 139 Instruksjon Manual Vedlikehold Vedlikehold TV 1001 SEM er vedlikeholdsfritt. Alt arbeid på systemet må kun utføres av autorisert personell. ADVARSEL! Før noe arbeid gjøres på systemet må det frakoples strømtilførselen, pumpen må luftes ved å åpne den aktuelle ventilen og deretter vente til rotoren har stanset og pumpens overflatetemperatur er lavere enn 50 °C.
Seite 140 å henvende seg til leverandøren av anordningen, som kan være et firma eller en forhandler, som sørger for oppsamling og eliminering etter å ha kontrollert avtal og betingelser i kjøpekontrakten. For mer informasjon: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 140/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 141 TV 1001 SEM User Manual Ohjekäsikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet 142 Yleisiä tietoja Varastointi Valmistelut asennusta varten Asennus Pumpun kiinnitys 148 Käyttö 150 TV 1001 SEMin käynnistys ja käyttö 151 TV 1001 SEMin pysäyttäminen Hätäpysäytys 152 Huolto 153 Hävittäminen Alkuperäisen ohjeiden käännös...
Seite 142 Järjestelmän vikatilassa, esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin rikkoutuessa, pyörimisenergia saattaa vapautua. VAROITUS! Tässä käyttöohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti laitteiston vaurioitumisen ja käyttäjien vahingoittumisen välttämiseksi! 142/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 143 TV 1001 SEM sarjan pumput ovat turbomolekyylipumppuja, jotka on tarkoitettu korkean ja ultrakorkean tyhjiön muodostamiseen. Ne soveltuvat kaikentyyppisien kaasujen tai kaasuseosten pumppaamiseen. Ne eivät sovellu nesteiden tai kiinteiden hiukkasten pumppaukseen.
Seite 144 Varoitus-merkit saavat käyttäjän kiinnittämään huomion erityiseen käyttö- tai toimintatapaan, jonka vääränlainen suoritus voi johtaa vakaviin henkilövaurioihin. Huomio- merkinnät varoittavat toimenpiteistä, joiden laiminlyönti voi johtaa HUOMIO! laitteen vaurioitumiseen. Huomiot sisältävät tärkeää tekstistä otettua tietoa. HUOM 144/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 145 Turbomolekyylisen pumpun varastointiaika on 10 kuukautta  toimituspäivästä. Jos varastointiaika on jostain syystä pidempi, pumppu tulee palauttaa tehtaalle. HUOMIO! Pyydä lisätietoja paikalliselta Agilent-edustajalta. TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H) 145/296...
Seite 146 Jotta kaasun vuoto-ongelmilta vältyttäisiin, ei tyhjiölle altistuviin osiin tule HUOMIO! koskea paljain käsin. Käyttäkää aina käsineitä tai muuta sopivaa suojausta. Kuva 1 TV 1001 SEM ei vahingoitu ollessaan kosketuksissa ilman kanssa (auki). On HUOM kuitenkin suositeltavaa pitää se suljettuna, kunnes se asennetaan järjestelmään. Siten vältetään laitteen mahdollinen pölysaastuminen.
Seite 147 0 – 95 % (ei tiivistävä)  Mikäli läsnä on magneettikenttiä, tulee pumppu suojata tähän tarkoitukseen olevilla suojilla. Lisätietoja löytyy “Technical Information” -liitteestä. TV 1001 SEM tulee kytkeä pääpumppuun (ks. “Technical Information” -liitteen kaaviota). TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H) 147/296...
Seite 148 Laippojen F teräsruuvien tulee olla luokkaa > 8.8 Turbopumppu ConFlat-sisääntulolaipalla tulee kiinnittää tyhjiökammioon sopivien Agilentin mekaanisten varusteiden avulla. Lisätietoja löytyy “Technical Information” -liitteestä. TV 1001 SEM voidaan asentaa mihin tahansa asentoon. 148/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 149 TV 1001 SEM laitteissa on liittimet sisääntuloille/ulostuloille sekä sarjakytkennälle, jotka on kytkettävä ulkoisiin järjestelmiin siten, ettei mihinkään jännitteen alaisena olevaan osaan päästä käsiksi. Varmista, että TV 1001 SEM laitteeseen kytketyn laitteen eristys riittää myös yksittäisen toimintahäiriön yhteydessä EN 61010-1 säännösten edellyttämällä tavalla.
Seite 150 Älä käytä pumppua syövyttävien kaasujen tai höyryjen läheisyydessä: ne HUOMIO! saattavat vahingoittaa pumpun sisämateriaaleja. VAROITUS! Kun pumppua käytetään myrkyllisten, paloherkkien tai radioaktiivisten kaasujen pumppaamiseen, noudattakaa jokaiselle kaasulle sopivaa menettelytapaa. Älkää käyttäkö pumppua räjähdysherkkien kaasujen lähellä. 150/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 151  vilkkuu hitaasti (noin 400 ms:n jakso): systeemi on kiihdytys-,  jarrutus-, pysäytys- tai “Waiting for interlock”- tilassa; vilkkuu nopeasti (noin 200 ms:n jakso): virhetila.  TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H) 151/296...
Seite 152 CE- normien vaatimukset täyttyvät. Valvojassa kehittyvät korkeajännitteet voivat aiheuttaa vakavia onnettomuuksia tai jopa kuoleman. Irrota sähkökaapeli ennen yksikön sisälle suoritettavien huoltotoimenpiteiden aloittamista. Hätäpysäytys TV 1001 SEM on pysäytettävä hätätilassa irrottamalla sähkökaapeli ohjausyksiköstä. 152/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 153 Ohjekäsikirja Huolto Huolto TV 1001 SEM ei vaadi lainkaan huoltoa. Mahdolliset toimenpiteet tulee jättää valtuutetun henkilön tehtäväksi. VAROITUS! Ennen minkään tyyppistä toimenpidettä järjestelmässä kytkekää se irti sähköverkosta, päästäkää pumppuun ilmaa avaamalla siihen tarkoitettu venttiili ja odottakaa roottorin täydellistä pysähtymistä. Antakaa tämän jälkeen pumpun pintalämmön laskea alle 50 ºC :en.
Seite 154 Loppukäyttäjää kehotetaan sen vuoksi ottamaan keräys- ja hävittämisprosessia varten yhteyttä laitteen toimittajaan, olipa se sitten laitteen valmistaja tai jälleenmyyjä, tarkastettuaan ensin kaupan sopimusehdot. Lisätietoja varten viitatkaa osoitteeseen: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 154/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 155 TV 1001 SEM User Manual Felhasználói Kézikönyv Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz Általános informáicó Tárolás Előkészítés telepítésre 160 Telepítés A szivattyú rögzítése Használat A TV 1001 SEM bekapcsolása és használata 165 A TV 1001 SEM kikapcsolása Vészleállítás 166 Karbantartás Megsemmisítés Az eredeti utasítás fordítása 155/296...
Seite 156 érintkezése vagy a forgórész széttörése – esetén a forgási energia felszabadulhat. VESZÉLY! A berendezés károsodásának és a kezelő személyzet sérülésének megelőzésére az ebben a gépkönyvben adott telepítési utasításokat szigorúan be kell tartani! 156/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 157 A szivattyúzási műveletet egy nagyteljesítményű 3 fázisú elektromos motorral hajtott nagysebességű turbina (max. 38000 fordulat/perc) biztosítja. A TV 1001 SEM szennyezőanyagoktól mentes, és ezért alkalmas „tiszta” vákuumot igénylő alkalmazásokra. Fel van szerelve külső csatlakozókkal, hogy további ventillátort tápláljon, vezérelje a ventillátor szelepet, amit távoli helyről irányít...
Seite 158 A „Figyelem” üzenetek olyan eljárások előtt jelennek meg, amelyeket ha nem FIGYELEM! tartanak be, az a berendezés károsodását okozhatja. A megjegyzések fontos, a szövegből kivonatolt információkat tartalmaznak. MEGJEGYZÉS 158/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 159 Egy turbomolekuláris szivattyú raktározási ideje 10 hónap a  szállítás dátumától számítva. Ha valamilyen okból a raktározhatási időt túllépik, a szivattyút vissza kell vinni a FIGYELEM! gyárba. Kérem, információért forduljon a helyi Agilent vákuumkereskedelmi és szolgáltatási képviselethez. TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H) 159/296...
Seite 160 Mindig használjon kesztyűt vagy más alkalmas védelmet. Ábra 1 A környezetnek való normál kitettség nem tudja károsítani a TV 1001 SEM-et. MEGJEGYZÉS Mégis ajánlatos zárva tartani a rendszerbe való telepítésig, így megakadályozva a por általi szennyeződés bármely formáját.
Seite 161 0 – 95 % (nem kondenzáló)  Mágneses mezők jelenlétében a szivattyút védeni kell ferromágneses pajzs segítségével. Részletes információért lásd „Technical Information”. A TV 1001 SEM-et elsődleges szivattyúhoz kell csatlakoztatni (lásd „Technical Information”). TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H) 161/296...
Seite 162 Az „F” karima acélcsavarjai osztályának > 8.8-nak kell lennie. A ConFlat bemeneti karimás turbószivattyút a megfelelő Agilent hardverrel kell rögzíteni a vákuumkamrához. Részletes leírásért lásd “Technical Information”. A TV 1001 SEM bármely helyzetben telepíthető. 162/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 163 A szivattyú rögzítése A TV 1001 SEM nem rögzíthető az alapján keresztül. MEGJEGYZÉS A TV 1001 SEM a második telepítési (vagy túlfeszültség) kategóriához tartozik az FIGYELEM! EN 61010-1 direktíva szerint. Csatlakoztassa az eszközt a fenti kategóriának megfelelő hálózathoz. A TV 1001 SEMnak olyan bemeneti/kimeneti és soros kommunikációs csatlózásai vannak, amelyeket úgy kell külső...
Seite 164 VESZÉLY! Amikor a szivattyút mérgező, tűzveszélyes vagy radioaktív gázok szivattyúzására használja, kövesse az egyes gázok kezelésére vonatkozó eljárásokat! Ne használja a szivattyút robbanó gázok jelenlétében! 164/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 165 Felhasználói Kézikönyv Használat A TV 1001 SEM bekapcsolása és használata A TV 1001 SEM bekapcsolásához rá kell kapcsolni a tápfeszültséget. A beépített vezérlő automatikusan felismeri a kapcsolatot és a start jel jelenlétét, és elindítja a szivattyút. Az első szivattyúindítás „lágy indítás” módban történik. Amikor az indítási ciklus befejeződik, a „lágy indítás”...
Seite 166 Felhasználói Kézikönyv Használat A TV 1001 SEM kikapcsolása A TV 1001 SEM kikapcsolásához le kell kapcsolni a tápfeszültséget. A beépített vezérlő azonnal leállítja a szivattyút. VESZÉLY! A gépkezelő biztonsága érdekében, a Turbo-V vezérlő egységet háromeres betápkábellel kell ellátni (lásd a megrendelhető alkatrészek táblázatát), ami egyik végén (nemzetközi szabvány szerinti) csatlakozó...
Seite 167 Felhasználói Kézikönyv Karbantartás Karbantartás A TV 1001 SEM nem igényel karbantartást. A rendszeren végzett bármely munkát jogosult személyzetnek kell elvégeznie. VESZÉLY! A rendszeren bármely munka végzése előtt válassza le azt a tápfeszültségről, szellőztesse a szivattyút a megfelelő szelep kinyitásával, várjon, amíg a rotor forgása leáll, és amíg a szivattyú...
Seite 168 és feltételeinek alapos áttanulmányozása után, fel kell vennie a kapcsolatot a berendezés szállítójával, legyen ez a gyártó vagy egy viszonteladó. Részletes információk végett forduljon az alábbi címhez: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 168/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 169 Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych Ogólne Informacje Magazynowanie Przygotowanie do instalacji 174 Instalacja Mocowanie pompy Użytkowanie Włączenie i Użytkowanie systemu TV 1001 SEM Zatrzymanie systemu TV 1001 SEM 180 Zatrzymanie Awaryjne 180 Konserwacja Przetworstwo odpadow Tłumaczenie instrukcji oryginalnej 169/296...
Seite 170 ZAGROZENIE! Aby uniknąć uszkodzenia aparatury i zapobiec uszkodzeniom ciała operatorów, należy obowiązkowo przestrzegać zaleceń dotyczących instalacji opisanych w niniejszej instrukcji obsługi! 170/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 171 (RS232 lub RS485). W następnych paragrafach zostały przedstawione wszystkie potrzebne informacje w celu zagwarantowania bezpieczeństwa operatora podczas użytkowania aparatury. Szczegółowe informacje zostały przedstawione w dodatku dotyczącym informacji technicznych „Technical Information”. TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H) 171/296...
Seite 172 Komunikaty zwiększonej uwagi są wyświetlane przed procedurami i w przypadku UWAGA! ich braku przestrzegania, może dojść do uszkodzenia aparatury. Są to ważne informacje wyciągnięte z tekstu. PRZYPIS 172/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 173  miesięcy od daty wysyłki. Jeżeli z jakiegokolwiek powodu, czas magazynowania jest dłuższy, należy odesłać UWAGA! pompę do fabryki. W celu jakiejkolwiek informacji, prosimy skontaktować się z miejscowym przedstawicielem firmy Agilent. TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H) 173/296...
Seite 174 Należy zawsze stosować odpowiednie rękawice ochronne lub odpowiednie zabezpieczenie. ć Pompa TV 1001 SEM, nie może być uszkodzony poprzez wystawienie go na PRZYPIS działanie atmosfery. Mimo to zaleca się aby pompa do momentu jej instalacji na systemie, pozostała zamknięta w celu uniknięcia zanieczyszczenia jej pyłem.
Seite 175 W obecności pól elektromagnetycznych pompa musi być odpowiednio zabezpieczona przez odpowiednie ekranowanie. W celu szczegółowego zapoznania się z tematem patrz dodatek “Technical Information” TV 1001 SEM musi być podłączona do głównej pompy (patrz schemat w “ Technical Information”) TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H) 175/296...
Seite 176 śmierć osób, jak i uszkodzić aparaturę znajdującą się w pobliżu systemu. Zamocować system TV 1001 SEM w pozycji stabilnej, montując kołnierz wejścia turbopompy do kołnierza systemu, dokręcając w taki sposób aby połączenie to wytrzymało moment 8900 Nm wokół...
Seite 177 UWAGA! przewidzianej przez normę EN 61010-1. Dlatego też podłączyć urządzenie do linii zasilania która spełni te wymogi. TV 1001 SEM posiada konektory wejściowe/ wyjściowe i dla komunikacji szeregowej które muszą być podłączone do obwodów zewnętrznych w sposób aby żadna część znajdująca się pod napięciem nie mogła być...
Seite 178 ZAGROZENIE! Kiedy pompa jest stosowana do pompowania gazów toksycznych, łatwo palnych lub radioaktywnych, należy wykonać odpowiednie procedury typowe dla każdego z gazów. Nie stosować pompy w obecności gazów wybuchowych. 178/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 179 Start” należy włączyć w/w tryb poprzez oprogramowanie (patrz paragraf “RS 232/485 OPIS KOMUNIKACJI” w dodatku “Technical Information”. Zielona dioda led znajdująca się na panelu podstawy TV 1001 SEM wskazuje z częstotliwością własnego migania, stan operacyjny systemu: zaświecona na stałe: pompa znajduje się w normalnych obrotach;...
Seite 180 Podrecznik Instrukcji Użytkowanie Zatrzymanie systemu TV 1001 SEM Aby zatrzymać TV 1001 SEM wystarczy odłączyć napięcie zasilania. Wbudowany sterownik zatrzyma natychmiast pompę. ZAGROZENIE! Dla zagwarantowania bezpieczeństwa operatorowi, kontroler Turbo-V powinien być zasilany kablem zasilającym o 3 przewodach (zobacz tabelę części dających się zamówić) i zamontowaną wtyczką (zgodna z międzynarodowymi normami).
Seite 181 Podrecznik Instrukcji Konserwacja Konserwacja Pompa TV 1001 SEM nie wymaga żadnej konserwacji. Jakakolwiek interwencja musi być wykonana przez upoważniony personel. ZAGROZENIE! Przed wykonaniem jakiejkolwiek interwencji na systemie, należy odłączyć go od zasilania, otworzyć odpowiedni zawór wlotu powietrza, odczekać aż do całkowitego zatrzymania wirnika i odczekać...
Seite 182 , po uprzedniej weryfikacji terminu i warunkow zawartych w kontrakcie sprzedazy, nawiazac kontakt z dostawca lub sprzedawca urzadzenia w celu uruchomienia procesu zbiorki i przerobu. W@ięcej informacji zamieszczono: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 182/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 183 Návod k Použití Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy 184 Všeobecné informace 185 Uskladnění Příprava k instalaci Instalace Montáž vývěvy Použití Zapnutí a používání vývěvy TV 1001 SEM 193 Vypnutí vývěvy TV 1001 SEM Nouzové zastavení Údržba Likvidace Překlad originálního návodu 183/296...
Seite 184 NEBEZPEČÍ! Pokyny k instalaci uvedené v tomto návodu musí být přísně dodržovány za účelem prevence poškození zařízení a zranění obsluhy! 184/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 185 činností, která je v rozporu s pokyny uvedenými v příslušných státních normách. Zařízení řady TV 1001 SEM jsou turbomolekulární vývěvy pro aplikace s vysokým a velmi vysokým vakuem a mohou odčerpávat jakýkoli druh plynu nebo směsi plynů. Nejsou vhodné na čerpání...
Seite 186 činnosti, které by v případě nedodržení mohly způsobit vážný úraz. Varovná hlášení jsou uvedena před postupy, které by v případě nedodržení mohly POZOR! poškodit zařízení. Poznámky obsahují důležité informace převzaté z textu. POZNÁMKA 186/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 187 10 měsíců ode dne  doručení. Pokud dojde z jakéhokoli důvodu k překročení skladovací lhůty, vývěvu musíte POZOR! vrátit výrobci. Informujte se prosím u místního zástupce pro prodej a servis vývěv firmy Agilent. TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H) 187/296...
Seite 188 Vždy používejte rukavice nebo jinou vhodnou ochranu. Postava 1 V normálním prostředí se vývěva TV 1001 SEM nemůže poškodit. Přesto POZNÁMKA doporučujeme, abyste ji nechali zakrytou, dokud nebude nainstalována do systému a tím se ochránila před jakýmkoli znečištěním a prachem.
Seite 189  V přítomnosti magnetických polí se vývěva musí chránit feromagnetickým stíněním. Viz podrobné informace v příloze "Technical Information” Vývěva TV 1001 SEM se musí připojit k primárnímu čerpadlu (viz "Technical Information”). TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H) 189/296...
Seite 190 úlomky, které by mohly způsobit vážný úraz nebo smrt a také poškodit okolní zařízení. Vývěvu TV 1001 SEM umístěte do stabilní polohy a přívodní přírubu turbomolekulární vývěvy připevněte k protipřírubě systému pomocí...
Seite 191 žádná elektrická součást nebyla přístupná. Zajistěte, aby izolace zařízení připojeného k vývěvě TV 1001 SEM byla přiměřená i v případě jediné poruchy podle směrnice EN 61010-1. Chcete-li informace o doplňkovém příslušenství, viz "Technical Information".
Seite 192 NEBEZPEČÍ! Pokud používáte vývěvu pro čerpání toxických, hořlavých nebo radioaktivních plynů, dodržujte prosím požadované postupy pro likvidaci každého plynu. Vývěvu nepoužívejte v přítomnosti výbušných plynů. 192/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 193 Návod k Použití Použití Zapnutí a používání vývěvy TV 1001 SEM Pro uvedení vývěvy TV 1001 SEM do provozu je nutné přivést síťové napětí. Integrovaný regulátor automaticky zjišťuje blokování, přítomnost spouštěcích signálů a uvede vývěvu do provozu. První spuštění vývěvy je v režimu “pozvolného rozběhu”. Jakmile bude rozběhový...
Seite 194 Návod k Použití Použití Vypnutí vývěvy TV 1001 SEM Pro vypnutí vývěvy TV 1001 SEM je nutné přerušit síťové napětí. Vestavěný regulátor vývěvu okamžitě zastaví. NEBEZPEČÍ! Pro zajištění bezpečnosti obsluhy musí být controller čerpadla Turbo-V napájený trojžilovým přívodním kabelem (viz tabulka dílů, které lze doobjednat) se zástrčkou (mezinárodně...
Seite 195 Návod k Použití Údržba Údržba Vývěva TV 1001 SEM nevyžaduje žádnou údržbu. Veškeré práce na tomto zařízení musí provádět oprávněné osoby. NEBEZPEČÍ! Než začnete provádět jakékoli práce na tomto zařízení, odpojte jej od sítě, odvzdušněte vývěvu otevřením příslušného ventilu, počkejte, až se rotor přestane otáčet a počkejte, dokud povrchová...
Seite 196 Podrobnejší informace můžete získat na internetové stránce: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 196/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 197 TV 1001 SEM User Manual Návod na Obsluhu Bezpečnostné pokyny pre Turbomolekulárne vývevy Všeobecné informácie Uchovávanie Príprava na inštaláciu Inštalácia Upevnenie vývevy Použitie Zapnutie a použitie zariadenia TV 1001 SEM Vypnutie zariadenia TV 1001 SEM Núdzové zastavenie Údržba Likvidácia Preklad originálneho návodu 197/296...
Seite 198 V prípade systémovej poruchy, napr. pri kontakte rotora a statora alebo pri zlomení rotora, sa može uvolniť rotačná energia. NEBEZPEČÍ! Pokyny k inštalácii uvedené v tomto návode musia byť dôsledne dodržované, aby nedošlo k poškodeniu zariadenia alebo k zraneniu obsluhy! 198/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 199 špecifickými štandardmi danej krajiny. Výveva série TV 1001 SEM je turbomolekulová výveva určená vysoké a ultravysoké vákuum a môže čerpať akýkoľvek plyn alebo zmes plynov. Nie je vhodná na vyčerpávanie tekutín alebo pevných častí.
Seite 200 Nebezpečie majú sústrediť pozornosť pracovníka na určitý postup alebo činnosť, nesprávne vykonanie ktorých môže spôsobiť vážne zranenie. Pozor označujú postupy, nedodržanie ktorých môže spôsobiť poškodenie POZOR! zariadenia. Poznámky upozorňujú na dôležité informácie z textu. POZNÁMKA 200/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 201  dňa dodania Ak z akéhokoľvek dôvodu vyprší čas skladovateľnosti zariadenia, vráťte vývevu do POZOR! závodu, v ktorom bola vyrobená. Informácie získate u miestneho zastúpenia spoločnosti Agilent pre predaj a servis. TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H) 201/296...
Seite 202 Návod na Obsluhu Príprava na inštaláciu Príprava na inštaláciu Zariadenie TV 1001 SEM sa dodáva v špeciálnom ochrannom balení. Ak je balenie poškodené (čo sa môže stať napríklad počas prepravy), obráťte sa na miestne zastúpenie spoločnosti Agilent. Počas vybaľovania systému dbajte na to, aby zariadenie nespadlo, nebolo vystavené...
Seite 203 V prítomnosti magnetického poľa musí byť výveva chránená feromagnetickým štítom. Podrobné informácie sa nachádzajú v dodatku „Technical Information“. Zariadenie TV 1001 SEM sa musí pripojiť k primárnej výveve (pozri „Technical Information“). TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H) 203/296...
Seite 204 časti a spôsobiť vážne zranenie alebo smrť a/alebo poškodiť ďalšie zariadenia. Upevnite zariadenie TV 1001 SEM do stabilnej polohy tak, že pripevníte vstupnú prírubu turbovývevy k prírube systému. Pripojenie musí byť schopné vydržať točivý moment 8900 Nm okolo vlastnej osi.
Seite 205 Návod na Obsluhu Upevnenie vývevy Zariadenie TV 1001 SEM môže byť nainštalované v ľubovoľnej polohe. Zariadenie TV 1001 SEM sa nemôže upevniť pomocou vlastnej základnej dosky. POZNÁMKA Zariadenie TV 1001 SEM patrí do druhej inštalačnej (prepäťovej) kategórie podľa POZOR! smernice EN 61010-1. Zariadenie je potrebné pripojiť ku zdroju napájania, ktorý...
Seite 206 NEBEZPEČÍ! Ak vývevu používate na odčerpávanie toxických, horľavých alebo rádioaktívnych plynov, dodržiavajte prosím požadované postupy pre likvidáciu jednotlivých plynov. Nepoužívajte vývevu v prítomnosti výbušných plynov. 206/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 207 Návod na Obsluhu Použitie Zapnutie a použitie zariadenia TV 1001 SEM Ak chcete zapnúť zariadenie TV 1001 SEM, musíte ho pripojiť ku zdroju napájania. Integrovaný kontrolný modul automaticky rozpozná prítomnosť signálov spojenia a spustenia a zapne vývevu. Prvé spustenie vývevy prebehne v režime „Soft Start (Jemný štart)“.
Seite 208 Návod na Obsluhu Použitie Vypnutie zariadenia TV 1001 SEM Ak chcete vypnúť zariadenie TV 1001 SEM, musíte ho odpojiť od zdroja napájania. Zabudovaný kontrolný modul vývevu okamžite zastaví. NEBEZPEČÍ! Z dôvodu bezpečnosti obsluhujúceho pracovníka musí byť kontrolné zariadenie napájané pomocou 3-žilovej šnúry (viď tabuľku dielov, ktoré...
Seite 209 Návod na Obsluhu Údržba Údržba Zariadenie TV 1001 SEM nevyžaduje žiadnu údržbu. Akékoľvek úpravy a opravy systému musí vykonať autorizovaný personál. NEBEZPEČÍ! Skôr než začnete čokoľvek robiť v systéme, odpojte ho od zdroja napájania, vyvetrajte vývevu tak, že otvoríte príslušný ventil, počkajte, kým sa rotor neprestane otáčať...
Seite 210 Vyzývame preto konečného užívateľa, aby sa skontaktoval s dodávateľom prístroja, či už je to výrobca alebo predajca za účelom jeho likvidácie podľa zmluvných podmienok predaja. Podrobnejšie informácie môžete získať na internetovej stránke: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 210/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 211 Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke Splošne informacije Shranjevanje Priprava za montažo Montaža Pritrjevanje črpalke Uporaba Vklop in uporaba naprave TV 1001 SEM 221 Izklop naprave TV 1001 SEM 222 Zaustavitev v sili Vzdrževanje Odlaganje opadkov Prevod navodil v izvirniku 211/296...
Seite 212 V primeru nepravilnega delovanje sistema, na primer pri dotiku rotorja/statorja ali poškodbe rotorja se lahko sprosti rotacijska energija. SVARILO! Da bi se izognili poškodbam opreme in preprečili poškodbe osebja morate natančno slediti navodilom za nameščanje iz tega priročnika! 212/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 213 Črpalke serije TV 1001 SEM so turbomolekularne črpalke za visoko in ultravisoko vakuumsko uporabo in lahko črpajo poljubne tipe plinov ali plinskih zmesi. Ni primeren za črpanje tekočine ali trdnih delcev.
Seite 214 če se jih ne drži. Sporočila so prikazana pred postopki pri katerih lahko pride do poškodbe opreme. POZOR! Opombe vsebujejo vse najbolj pomembne informacije iz besedila. OPOMBA 214/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 215 Življenjska doba turbomolekularne črpalke je 10 mesecev od  datum pošiljanja. Če zaradi kakršnega koli razloga presežete življenjsko dobo, je treba črpalko vrniti POZOR! v tovarno. Za dodatne informacije kontaktirajte lokalnega predstavnika prodaje in storitev za Agilent Vacuum. TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H) 215/296...
Seite 216 Priročnik za Navodila Priprava za montažo Priprava za montažo TV 1001 SEM je dobavljen v posebni zaščitni embalaži Če je embalaža poškodovana, kontaktirajte lokalno prodajno pisarno. Pri odpiranju sistema pazite, da vam ne pade iz rok oz. ga ne stresajte.
Seite 217 Relativna vlažnost: 0 – 95 % (brez kondenza)  V prisotnosti magnetnih polje mora črpalka biti zaščitena s feromagnetnim ščitom. Za dodatne informacije glejte prilogo "Technical Information". TV 1001 SEM morate priključiti na primarno črpalko (glej "Technical Information"). TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H) 217/296...
Seite 218 Namestite TV 1001 SEM na stabilno pozicijo tako, da zmontirate dovodno prirobnico turbo črpalke na prirobnico na sistemu tako, da povezava lahko zdrži navor večji od 8900 Nm okoli osi. ISO-K prirobnico lahko na primer pritrdite s pomočjo jeklenih držal (kot pri...
Seite 219 Naprave TV 1001 SEM ne morete fiksirati z njegovo lastno spodnjo ploskvijo. OPOMBA Po direktivi EN 61010-1 spada TV 1001 SEM v skupino za drugo nameščanje (ali POZOR! prekovoltažo). Napravo priljučite na napetost, ki je v vskladu z zgornjo kategorijo.
Seite 220 Črpalke nikoli ne uporabljajte v prisotnosti razjednih plinov ali hlapov, ki bi lahko POZOR! poškodovali inertne materiale črpalke. SVARILO! Pri črpanju strupenih, vnetljivih ali radioaktivnih plinov, sledite zahtevanim navodilom za odstranjevanje vsakega plina. Črpalke ne uporabljajte v prisotnosti eksplozivnih plinov. 220/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 221 »Soft Start« načina je potreben ustrezen programski ukaz (glej odstavek »Opis komunikacije RS 232/485« v prilogi »Technical Information«. Zelena LED dioda, ki se nahaja na sprednji plošči TV 1001 SEM, s hitrostjo utripanja označuje delovne pogoje sistema: Brez utripanja: Č·rpalka je normalno vrti;...
Seite 222 Priročnik za Navodila Uporaba Izklop naprave TV 1001 SEM Za izklop naprave TV 1001 SEM morate prekiniti dovod napetosti. Vgrajen kontroler takoj zaustavi črpalko. SVARILO! Za varnost operaterja mora biti krmilnik Turbo-V napajan preko triveznega napajalnega kabla (glej tabelo delov, ki se lahko naročijo) z vtikačem (potrjen na mednarodnem nivoju).Uporabljajte ta kabel in vtikač...
Seite 223 Priročnik za Navodila Vzdrževanje Vzdrževanje Naprave TV 1001 SEM ni potrebno vzdrževati. Kakršno koli delo na sistemu mora opraviti avtorizirano osebje. SVARILO! Pred začetkom dela na sistemu, ga izključite iz napetosti, prečistite črpalko tako, da odprete primerno odprtino, počakajte, da se rotor ustavi an počakajte, da površinska temperatura črpalke pade pod 50 °C.
Seite 224 Zato pozivamo uporabnike, da se ali pri prodajalnem centru ali pa pri prodajalcu seznani o postopku ločevanja in odstranitve odpadkov, šele nato, ko se je seznanil s pogoji in z merili kupopordajne pogodbe. Za podrobnejše informacije si oglejte spletno stran: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 224/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 225 TV 1001 SEM User Manual Instructions for Use Safety Guideline for Turbomolecular Pumps General Information Storage Preparation for installation 230 Installation Pump fixing Switching on and Use of TV 1001 SEM TV 1001 SEM Switching off 236 Emergency Stop Maintenance Disposal Original Instructions 225/296...
Seite 226 WARNING! To avoid damage to equipment and to prevent injuries to operating personnel the installation instructions as given in this manual should be strictly followed! 226/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 227 The TV 1001 SEM series pumps are turbomolecular pumps for high and ultra-high vacuum applications and can pump any type of gas or gas compound.
Seite 228 The caution messages are displayed before procedures which, if not followed, CAUTION! could cause damage to the equipment. The notes contain important information taken from the text. NOTE 228/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 229 If for any reason the shelf life time is exceeded, the pump has to be returned to CAUTION! the factory. Please contact the local Agilent Vacuum Sales and Service representative for informations. TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H) 229/296...
Seite 230 Instructions for Use Preparation for installation Preparation for installation The TV 1001 SEM is supplied in a special protective packing. If this shows signs of damage which may have occurred during transport, contact your local sales office. When unpacking the system, be sure not to drop it and avoid any kind of sudden impact or shock vibration to it.
Seite 231 In the presence of magnetic fields the pump must be protected using a ferromagnetic shield. See the appendix "Technical Information" for detailed information. The TV 1001 SEM must be connected to a primary pump (see "Technical Information"). TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 232 Fix the TV 1001 SEM in a stable position, mounting the inlet flange of the turbopump to the system counter-flange, with a connection capable of withstanding a torque of 8900 Nm around its axis.
Seite 233 Be sure that the insulation of the device connected to the TV 1001 SEM is adequate even in the case of single fault as per directive EN 61010-1.
Seite 234 WARNING! When employing the pump for pumping toxic, flammable, or radioactive gases, please follow the required procedures for each gas disposal. Do not use the pump in presence of explosive gases. 234/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 235 Instructions for Use Switching on and Use of TV 1001 SEM To switch on the TV 1001 SEM it is necessary to supply the mains. The integrated controller automatically recognizes the interlock and start signals presence and start up the pump.
Seite 236 Instructions for Use TV 1001 SEM Switching off To switch off the TV 1001 SEM it is necessary to remove the mains. The integrated controller immediately stops the pump. WARNING! The Turbo-V controller must be powered with 3-wire power cord (see orderable parts table) and plug (internationally approved) for user's safety.
Seite 237 Instructions for Use Maintenance Maintenance The TV 1001 SEM does not require any maintenance. Any work performed on the system must be carried out by authorized personnel. WARNING! Before carrying out any work on the system, disconnect it from the mains,...
Seite 238 Parent Company or a retailer, to initiate the collection and disposal process after checking the contractual terms and conditions of sale. For more information refer to: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 238/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 239 How to Connect the Outputs of the Controller 260 P2 – Serial RS 232/RS 485 Communication Description Communication Format 261 Communication Protocol Examples Window-Meanings Inlet Screen Installation Water Cooling Kit Installation Original Instructions TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H) 239/296...
Seite 240 Connection A – High Vacuum Flange 284 Connection B – Fore-Vacuum Pump 285 Connection Configurations 285 Connection C - Electrical Pump Used with Corrosive Gases Pump Used in Presence of Magnetic Fields Accessories and Spare Parts 240/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 241 Description of the TV 1001 SEM Description of the TV 1001 SEM The TV 1001 SEM pumping system consists of a pump with a dedicated controller fixed to it. The system is available in three models that differ in the high vacuum flange.
Seite 242 The turbine is made of high-strength aluminium alloy, machined from a single block. Proceeding from the high vacuum to the for vacuum region, the turbine stages sequence is: 242/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 243 The connection of the forevacuum on the side of the pump is a KF 40 NW flange for the models 7698931 and 8698946, a KF 25 NW flange for the model 8698932. TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H) 243/296...
Seite 244 AC mains supply into a 3-phase, low voltage, medium frequency output which is required to power the pump. The controller can be operated by a remote host computer via the serial connection. A Windows-based software is available (optional). 244/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 245 < 350 mm/sec (see the following typical temperature of 20 °C: see vibration vibration graph) graph in the following figure) Lubricant permanent lubrication Cooling requirements Water TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H) 245/296...
Seite 246 ISO 200F flange 19.4 (43) Controller 5.4 (12) When the TV 1001 SEM has been stored at a temperature less than 5 °C, wait NOTE until the system has reached the above mentioned temperature. 246/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 247 Technical Information Technical Specification Figure 8 Typical Vibration Spectrum TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H) 247/296...
Seite 248 Technical Information TV 1001 SEM Outline TV 1001 SEM Outline The following figure shows the TV 1001 SEM outlines (dimensions are in mm [inches]). bo V 1001 Macro Torr Figure 9 Layout with CFF Flange 248/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 249 Technical Information TV 1001 SEM Outline Turbo V 1001 Macro Torr Turbo 1001 SEM Macro Torr Figure 10 Layout with ISO Flange Figure 11 Graph of nitrogen pumping speed vs inlet pressure TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H) 249/296...
Seite 250 Technical Information TV 1001 SEM Outline Figure 12 Graph of compression ratio vs foreline pressure Figure 13 Graph of nitrogen throughput vs inlet pressure using the recommended mechanical forevacuum pump 250/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 251 Technical Information Interconnections Interconnections The following figure shows the TV 1001 SEM interconnections. Turbo 1001 Macro Torr Figure 14 TV 1001 SEM interconnections P3 - Vent Figure 15 P3-Vent This is a dedicated 24 Vdc connector to control the optional vent valve.
Seite 252 This connector carries all the input and output signals to remote control the TV 1001 SEM. It is a 15-pins D type connector; the available signals are detailed in the table, the following paragraphs describe the signal characteristics and use. 252/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 253 (+) signal is connected to the +24 Vdc pin and the interlock (-) signal to the GROUND pin. Speed setting: PWM input signal to set the pump speed. The PWM signal characteristics must be the following: TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H) 253/296...
Seite 254 Programmable analog signal: this output signal is a voltage (from 0 to 10 Vdc) proportional to a reference quantity (frequency or power) set by the user. The default setting is the frequency (see the following example diagram). Figure 19 Output 254/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 255 24 Vdc until the frequency be-comes lower than 495 Hz (that is 500 Hz – 1% of 500 Hz). It is possible to delay the set point checking for a programmable delay time. The PROGRAMMABLE SET POINT signal has the following default settings: TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H) 255/296...
Seite 256 When no external input-output device is available this connector must be closed with the supplied mating connector that short-circuits the START and INTERLOCK inputs with the GROUND input (see the following figure). Figure 21 256/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 257 2. the customer does not supply the 24 Vdc Please note that on the connector a 24 Vdc, 60 mA voltage, a GROUND signal and the open collector pin are available. Figure 22 Case 1 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H) 257/296...
Seite 258 Technical Information How to Connect the Open-Collector Inputs of the Controller Figure 23 Case 2 with relay utilisation 258/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 259 Technical Information How to Connect the Open-Collector Inputs of the Controller Figure 24 Case 2 with transistor utilisation TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H) 259/296...
Seite 260 The figure example refers to the programmable set point signal on pins 11 and 9. Figure 25 Typical output connection P2 – Serial Figure 26 9 pin connector 260/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 261 RS 485 manages the address field. Therefore to enable the RS 485 is necessary to select the type of communication as well as the device address by means of the Navigator software. Communication Format 8 data bit  no parity  TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H) 261/296...
Seite 262 <DATA> = an alphanumeric ASCII string with the data to be written into  the window. In case of a reading command this field is not present. The field length is variable according to the data type as per the following table: 262/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 263 Alphanumeric 10 bytes After a read instruction of an alphanumeric window 1 byte (0x6) The command execution has been successfully completed NACK 1 byte (0x15) The command execution has been TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H) 263/296...
Seite 264 Win Disabled 1 byte (0x35) The specified window is Read Only or temporarily disabled (for example you can’t write the Soft Start when the Pump is running) 264/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 265 RS 232/RS 485 Communication Description Examples Command: START Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR Command: STOP Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H) 265/296...
Seite 266 RS 232/RS 485 Communication Description Command: SOFT-START (ON) Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR Command: SOFT-START (OFF) Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR 266/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 267 Set point hysteresis 0 to 100 (in % of threshold) (default = 2) Intercooling 0 = NO 1 = YES Active Stop 0 = NO (write only in stop) 1 = YES TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H) 267/296...
Seite 268 (expressed in 0.2 sec) (corresponding to 0 to 13107 sec) Reserved to Agilent service Pump current in mA dc Pump voltage in Vdc Pump power in W (pump current x pump voltage duty 268/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 269 CRC Param. (PA) PA8XXXX (where “XXXX” are variable) Reserved to Agilent service RS 485 address 0 to 31 (default = 0) Serial type select 0 = RS 232 1 = RS 485 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H) 269/296...
Seite 270 TOO HIGH LOAD NO CONNECTION SHORT CIRCUIT PUMP OVERTEMP. OVERVOLTAGE CONTROLL. OVERTEMP. AUX FAIL POWER FAIL Figure 27 Window N. 206 Bit Description 270/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 271 The inlet screen is fitted in the upper part of the pump, as shown in the figure. Figure 29 The screen can be mounted on each pump. The screen can be removed as shown in the following figure. TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H) 271/296...
Seite 272 The following figure shows the overall flange dimensions with the protection screen fitted on pump with ISO 200F flange and pump with ISO 200K flange and CFF 10”. ISO 200K Figure 31 272/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 273 The two model part numbers are: 9699337 (metallic model), and 9699347 (plastic model). Figure 32 Model 9699337 Figure 33 Model 9699347 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H) 273/296...
Seite 274 The items of the plastic model kit must be assembled as shown in the following CAUTION! figure Figure 34 The assembled kit must be screwed into the suitable holes of the pump body with a recommended closing torque of 5 Nm. Figure 35 274/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 275 200 l/h. The water electrical conductance must be ≤ 500 µs/cm. When the conductance NOTE is higher, in closed water circuit, the use of up to 20 % of Ethyl-Glycole is suggested. TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H) 275/296...
Seite 276 This vent valve waits before opening a minimum time of about 5 sec. This time can be increased up to about 220 min. by means of a setting of the T-Plus software (optional). To install the vent valve, unscrew the threaded plug (see figure below). 276/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 277 Do not overtighten the valve as this may damage the thread on the pump. CAUTION! Then connect the cable from the valve to the suitable connector on the controller (see the preceding paragraph “INTERCONNECTIONS”). TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H) 277/296...
Seite 278 This vent valve has a fixed delay time of about 2.5 sec. This value can be used only with rack controller. To install the vent valve execute the same steps as the vent valve model 9699834 (see the above paragraph). 278/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 279 9699374 for ISO 200F flange.  They typically reduce the vibration transmitted from the TV 1001 SEM to the system by a factor G that depends on vibration frequency. In the following table you can find the values of G for the most relevant peaks in the pump vibration spectrum.
Seite 280 To install the gas purge valve it is necessary to unscrew the purge port cover as shown in the following figure. Figure 40 and then screw the gas purge valve (with a torque of 2.5 Nm) as shown in the following figure. Figure 41 280/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 281 Serial Cable Installation Serial Cable Installation The supplied serial cable must be installed when the TV 1001 SEM or the optional vent valve have to be controlled by means of a remote computer. The cable is installed fixing the 9 pin D-type connector into the P2 serial connector as shown in the following figure.
Seite 282 Plug the line card and connect the pump cable to the pump; Connect the mating connector with the jumper on the interlock signal to start the pump. Turbo 1001 SEM Macro Torr Figure 43 282/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 283 Turn the pump again; Plug the line card and connect the pump cable to the pump; Connect the mating connector with the jumper on the interlock signal to start the pump. Figure 44 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H) 283/296...
Seite 284 Attach the units and tighten each one in turn. Repeat the sequential tightening until the flange faces meet. Exercise care when tightening nuts and bolts to avoid creating dents in the CAUTION! envelope as this may cause the pump rotor to lock. 284/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 285 TV 1001 SEM Controller Installation Connection B – Fore-Vacuum Pump A flange KF 40 NW is available to connect the TV 1001 SEM pump to the fore- vacuum pump. A hose or vacuum approved pipe can be used. If a rigid pipe is used, any vibration generated by the mechanical pump must be eliminated through the use of bellows.
Seite 286 If the temperature sensor is disconnected, the pump will not start. To prevent damage to the pump when the temperature exceeds 60 °C, the sensor automatically cuts out the power supply. 286/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 287 Turbo-V pump, with the chamber or the Turbo-V vent valve opened, to avoid system overpressures. If the vent valve can’t be kept opened, the backing pump should be left operating. TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H) 287/296...
Seite 288 Agilent’s specialist. As a matter of fact, in case of high magnetic fields, also important forces might be generated and applied to the rotor. 288/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 289 9499382 Triscroll Dry Vacuum Pump PTS 300 single phase, universal motor PTS03001UNIV Triscroll Dry Vacuum Pump PTS 300 3 phase, universal motor PTS03003UNIV IDP-15 Std X3815-64000 IDP-15 with inlet valve X3815-64010 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H) 289/296...
Seite 290 Technical Information Accessories and Spare Parts 290/296 TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)
Seite 296 Agilent Vacuum Products Division/Sales and Service Offices United States India (Sales) India (Service) Agilent Technologies Agilent Technologies India Pvt. Ltd. Agilent Technologies India Pvt. Ltd. 121 Hartwell Avenue Unit Nos 110- 116, & Part of 101 & 109 C-Block, RMZ Centennial Plot Number- 8A, 8B, 8C,...

Diese Anleitung auch für:

7698931 8698932 8698946 9698978

Agilent Technologies TV 1001 SEM Bedienungshandbuch

Quicklinks

Verwandte Anleitungen für Agilent Technologies TV 1001 SEM

Inhaltszusammenfassung für Agilent Technologies TV 1001 SEM

Diese Anleitung auch für: