Inhaltsverzeichnis
Werbung
Gebrauch
In diesem Abschnitt werden die wichtigsten Betriebsvorgänge
erläutert.
Vor Benutzung des Systems sind alle elektrischen und
pneumatischen Anschlüsse auszuführen. Während der eventuellen
Aufheizung der Vakuumkammer darf die Temperatur am
Eingangsflansch bei einem ConFlat-Flansch nicht über 120°C und bei
einem ISO-Flansch nicht über 80 °C steigen.
WARNUNG!
Das Pumpensystem darf nicht in Betrieb genommen werden, wenn der
Eingangsflansch nicht an die Vakuumkammer angeschlossen oder nicht mit
dem Verschlußflansch verschlossen ist.
WARNUNG!
Während des Aufheizens dürfen weder die Pumpe noch eventuelle heiße
Zubehörteile berührt werden. Es besteht Verbrennungsgefahr.
WARNUNG!
Die Turbopumpe darf während des Betriebes keinen Stößen oder ruckartigen
Bewegungen ausgesetzt werden. Die Lager könnten beschädigt werden und
Personen oder Gegenständen Schaden zugefügt werden.
TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (H)
Gebrauchsanleitung
Gebrauch
37/314
2
Werbung
Kapitel
Inhaltsverzeichnis
