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Null Aktivieren
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Kalibrierung
Test
Feintest
Halten
Rohbearbeitung
Std Leck
Entlüftet
64
Agilent Technologies Heliumlecksucher
Schaltet den auf Null gestellten Hintergrund ein oder aus.
Diese Funktion schließt das Hintergrundleck vom
Leckratensignal aus.
Der Heliumhintergrund stellt Helium dar, welches im System ist,
aber nicht vom zu testenden Teil kommt. Wenn der Hintergrund
auf Null gestellt ist, wird eine genauere Messung der Leckrate
des Teils bestimmt. Wenn Null Aktivieren EINgeschaltet ist, wird
der Hintergrund ausgeschlossen; wenn es AUSgeschaltet ist,
zeigt das System das vollständige Heliumsignal an, einschließlich
Gesamthintergrund.
Tabelle 3-1 Betriebszustände des Lecksuchers
Gibt an, dass der Lecksucher aktuell eine Kalibrierroutine durchführt.
Gibt an, dass der Lecksucher im Testmodus ist. Im Testmodus öffnet sich
das Testanschlussventil und der Lecksucher ist bereit für die Leckprüfung.
Der Testleckratenbereich ist 1E-4 bis 1E-8 (MDL 5E-9).
Gibt an, dass der Lecksucher im Feintestmodus ist. Im Feintestmodus
öffnet sich das Testanschlussventil und der Lecksucher ist bereit für die
Feinleckprüfung. Der Feintestleckratenbereich ist 9E-7 bis 1E-11
(MDL 5E-12).
Gibt an, dass der Lecksucher im Haltemodus ist. Im Haltemodus sind alle
außer die Foreline-Ventile geschlossen und der Testanschluss sowie alle
Testobjekte oder Befestigungen werden vor dem Lecksucher-
Vakuumsystem isoliert. Verwenden Sie Halten, wenn Sie den
Testanschluss unter Vakuum halten möchten, ohne das Testvolumen zu
lüften; dies hilft bei der Systemreinigung.
Gibt an, dass der Lecksucher aktuell eine
Rohbearbeitungsebenenbewertung des Testanschlusses durchführt und
alle beigefügten Testobjekte oder Befestigungen am Testanschluss
angebracht sind.
Gibt an, dass das optional intern kalibrierte Leckstandardventil geöffnet ist
und dass der Lecksucher den Leckwert liest.
Gibt an, dass der Testanschluss zur Atmosphäre entlüftet wird. Der
Testanschluss und alle am Testanschluss angebrachten Objekte werden
vom internen Vakuumsystem des Lecksuchers isoliert.
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