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B.3.2.2.1 Ansammlungsprüfmethode
Diese Methode kann Lecks sowohl lokalisieren als auch quantifizieren. Einige
Verhüllungs- oder Haubenarten werden so platziert, um einen möglichen Leckort zu
umhüllen. Eine bestimmte Menge an Zeit wird gegeben, damit sich das austretende
Helium im umhüllten Bereich ansammelt, indem die Heliumkonzentration erhöht wird.
Der Lecksucher wird dann mit einem Ventil auf des umhüllte Volumen versehen. Wenn
viele potentielle Leckorte in einer Sammelleitung vorhanden sind oder wenn viele Teile
gleichzeitig zu testen sind, können Sie sequentiell mit einem Ventil versehen werden,
um zu bestimmen welcher Ort leckt (Abbildung B-7).
B.3.3 Systemlecktestmethoden
Systeme, wie individuelle Teile, sollten mit der gleichen Druckdifferenz und in der
gleichen Richtung wie bei der eigentlichen Verwendung getestet werden. Daher sollten
Systeme, die unter Vakuum stehen, während sie in Betrieb sind, unter Vakuum
leckgeprüft werden, während unter Druck gesetzte Systeme auf einen ähnlichen Druck
wie die Betriebsbedingungen wenn möglich mit Helium beladen werden.
B.3.3.1 Vakuumsysteme
Im allgemeinen werden Vakuumssysteme mit einem tragbaren Lecksucher getestet.
Typischerweise ist der Lecksucher mittels einesT zwischen der Foreline der
Hochvakuumpumpe und dem Einlass der Vorvakuumpumpe verbunden. Ein System
sollte einen Foreline-Druck niedrig genug halten können, um den Lecksucher an diesem
Standort zu betreiben. Helium wird an den potentiellen Leckstanort geliefert, unter
Verwendung einer Sprühsonde der Bereiche der mutmaßlichen Absackung . Wenn ein
Leck vorhanden ist, tritt Helium in das System ein und verbreitet sich schnell darin. Der
Lecksucher sollte innerhalb mehrerer Sekunden oder weniger antworten. Die
Lecksucherempfindlichkeit wird in Systemen mit großen Vorvakuumpumpen vermindert.
Wenn ein System eine Kryopumpe als Hochvakuumpumpe verwendet, muss es vom
Ventil genommen werden, bevor Helium eingeführt wird, da Kryopumpen begrenzte
Heliumpumpkapazität haben (Abbildung B-8).
Agilent Technologies Heliumlecksucher
Abbildung B-7 Ansammlung: Von innen nach außen
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