4.5 Puhastuse käivitamine
Puhastustsüklid on mõeldud CMS-kihi puhastamiseks mustusest, aitamaks generaatoril kiiremini tootmispuhtust saavutada ja vältimaks
halvakvaliteedilise gaasi puhvrisse voolamist. Tsükli toime sõltub puhtusest nagu allpool kirjeldatud:
Rapid Cycle (Kiirtsükkel) – seda tsüklit kasutatakse madalama puhtusega generaatorite puhul (0,05 –5,0%). Kambreid täidetakse
ja tühjendatakse vaheldumisi kindlal tsükliperioodil. Kiirtsükkel kestab 160 sekundit.
Pure Start (Puhastuse käivitus) – kõrgema puhtusega generaatoritel (10–100 os/min) on vaja kaheastmelist puhastusprotsessi:
Pure Start A (Puhastuse käivitus A) – kui N
kambreid vaheldumisi.
Pure Start B (Puhastuse käivitus B) – koheselt järgneb puhastuse käivitusele A, N
et gaas saaks voolata puhveranumasse. Kambrid täidetakse ja tühjendatakse uuesti.
Puhastuse käivituse tsükli ajad sõltuvad generaatori tootluse puhtusest.
Käivitustsüklite lõpetamisel N
Puhastuse tsükli käivitust saab välja lülitada kliendi seademenüüs, kuid domnick hunter soovitab tungivalt
käivitustsükleid mitte muuta.
4.6 Säästurežiim
Säästureþiim on mõeldud generaatori lülitamiseks ootereþiimile, kui puudub vajadus gaasi järele.
Generaator jälgib väljastuse rõhku ja kui see ületab eelmääratud taseme püsival ajavahemikul (Säästuperiood*), siis N
Generaator jätkab töötsüklit tavaliselt, seadmesse gaasi viimata. Kui vasturõhk püsib täiendavad 5 minutit, siis generaator peatab tsükli ja
läheb säästureþiimile.
Kui rõhk langeb allpoole ettenähtud väljundrõhku, naaseb generaator tavakäitusele. Kui generaator on selle toimumise ajal säästurežiimil,
teostab see vastava puhastustsükli.
Säästurežiimi saab välja lülitada kliendi seademenüüs, kuid domnick hunter soovitab tungivalt seda seadet
mitte muuta.
Säästu väljalülituse vahendit (valikuline) saab kasutada kihtide korrashoiuks, kui generaator on säästurežiimil. Kui väljalülitus on aktiveeritud,
toimub puhastustsükkel iga 20 minuti järel. See võimaldab generaatoril sisse lülituda, kui väljundrõhk langeb allapoole ettenähtud väljundrõhku.
* Säästuperiood on tehases seatud 5 minutile.
TOOTLUSE PUHTUS
10 os/min
100 os/min
0,05%
väljastusklapp avaneb, võimaldades gaasil seadmesse jõuda.
2
väljastus puhverklappi on suletud, täidetakse ja tühjendatakse
2
PUHASTUSE KÄIVITUSE TSÜKKEL
A
4 x 120
4 x 90
4 x 90
316
ET
Generaatori käitus
väljastus puhverklappi on avatud,
2
B
120/90
90/70
90/70
väljastusklapp sulgub.
2