INFICON LDS3000 Originalbetriebsanleitung Seite 105

INFICON
Warnung Fehleranzeige
(Wrn) LDS3000
Fehler
(Err)
Wrn205 Spannung 24V_PWR56
außerhalb des Bereichs
(Sniff_valve/valve6)
Wrn221 Interne Spannung 24V_RC
außerhalb des Bereichs
Wrn222 Interne Spannung 24V_IO
außerhalb des Bereichs
Wrn223 Interne Spannung
24V_TMP außerhalb des
Bereichs
Wrn224 Interne Spannung 24V_1
(Pirani) außerhalb des
Bereichs
Wrn240 Spannung +15V außerhalb
des Bereichs
Wrn241 Spannung -15V außerhalb
des Bereichs
Err242 Spannung +15V oder -15V
kurzgeschlossen
Wrn250 Spannung REF5V
außerhalb des Bereichs
Err252 Spannung REF5V
kurzgeschlossen
3xx Nachweissystem (Offset Vorverstärker, Vorverstärkertest, Emission, Kathodentest)
Wrn300 Anodenspannung zu
niedrig
LDS3000(AQ)-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-10-(1911)
Warn- und Fehlermeldungen (LDS3000, LDS3000 AQ) | 10
Fehlernummer
LDS1000 Binär-
Protokoll bzw.ASCII
Protokoll
Kompatibilit
ätsmodus
LDS1000/
LDS2010
24 120
24 120
24 120
24 120
24 120
24 120
24 120
24 120
24 120
24 120
41 132
Grenzwerte Ursache
20V Kurzschluss am Ventil 5
(Schnüffeln) oder Ventil 6
30V
20V Kurzschluss 24V am Ausgang
Bedieneinheit
30V
20V Kurzschluss 24V am Ausgang IO
30V
20V Kurzschluss 24V der TMP
30V
20V Kurzschluss 24V
30V Drucksensor PSG500 (1,2,3),
Schnüffelleitung
+15V zu klein, IF-Board oder MSB
defekt
-15V zu klein, Kurzschluss am
Vorverstärker, IF-Board oder MSB
defekt
+ 15V oder -15V zu klein,
Kurzschluss am Vorverstärker, IF-
Board oder MSB defekt
4,5V +15V oder 5V zu klein,
Kurzschluss am Vorverstärker, IF-
5,5V
Board oder MSB defekt
+15V oder REF5V zu klein,
Kurzschluss am Vorverstärker, IF-
Board oder MSB defekt
7V < des Kurzschluss Anodenspannung, zu
Sollwerts hoher Druck im
Massenspektrometer, IF-Board,
MSB oder Ionenquelle defekt
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