Általános Információ - Varian 869-8933 Bedienungshandbuch

ÁLTALÁNOS INFORMÁCIÓ
A berendezést professzionális felhasználók számára tervezték.
A felhasználónak a berendezés működtetése előtt el kell
olvasnia ezt a gépkönyvet és a Varian által biztosított bármely
információt. A Varian nem vonható felelősségre olyan
eseményekért, amelyek az ezen utasításoknak való akár
részbeni meg nem felelés, szakképzetlen személyek általi nem
megfelelő használat, a berendezésbe való jogosulatlan
beavatkozás vagy a konkrét nemzeti szabványokkal ellentétes
bármely művelet miatt történtek.
A TV 801 Navigator Bolted Flange egy integrált rendszer turbo-
molekuláris szivattyúval
vákuumalkalmazásokhoz a megfelelő vezérlőjével. A rendszer
bármely típusú gázt vagy gázkeveréket képes szivattyúzni.
Nem alkalmas folyadékok
szivattyúzására. A szivattyúzási
nagyteljesítményű 3 fázisú
nagysebességű turbina (max. 38000 fordulat/perc) biztosítja. A
TV 801 Navigator Bolted Flange szennyezőanyagoktól mentes,
és ezért alkalmas „tiszta" vákuumot igénylő alkalmazásokra.
Fel van szerelve külső csatlakozókkal, hogy további ventillátort
tápláljon, vezérelje a ventillátor szelepet, amit távoli helyről
irányít egy soros vonalon (RS232 vagy RS485) keresztül
csatlakoztatott gazdagép segítségével.
A következő bekezdések a berendezést használó kezelő
biztonságának garantálásához szükséges összes információt
tartalmazzák. Részletes információt
információ" függelékben.
Ez a kézikönyv a következő szabványos protokollt
használja:

VIGYÁZAT!
A figyelmeztető üzenetek felhívják a kezelő figyelmét egy
konkrét eljárásra vagy gyakorlatra, amit ha nem követnek
megfelelően, súlyos sérüléshez vezethet.
!
FIGYELEM
A „Figyelem" üzenetek olyan eljárások előtt jelennek meg,
amelyeket ha nem követnek, a berendezés károsodását
okozhatják.
MEGJEGYZÉS
A megjegyzések a szövegből
tartalmaznak.
TÁROLÁS
A Varian turbomolekuláris
teljesítményszintjének garantálására
útmutatásokat kell követni:
•
szivattyúk szállításakor, mozgatásakor és tárolásakor a
következő környezeti paramétereket nem szabad túllépni:
•
hőmérséklettartomány: -20 °C - 70 °C
•
relatív páratartalom: 0 – 90% (nem kondenzáló)
•
A turbomolekuláris szivattyúkat mindig lágyan kell indítani,
amikor a felhasználó átveszi és először üzemelteti.
•
Egy turbonukleáris szivattyú raktározhatási ideje 10
hónap a szállítás dátumától.
!
FIGYELEM
Ha valamilyen okból a raktározhatási időt túllépik, a szivattyút
vissza kell vinni a gyárba. Kérem, információért forduljon a
helyi Varian vákuumkereskedelmi
képviselethez.
ELŐKÉSZÍTÉS TELEPÍTÉSRE
A TV 801 Navigator
védőcsomagolásban szállítják. Ha ez sérülés jeleit mutatja, ami
szállítás közben felmerülhet, forduljon a helyi szolgáltatási
irodához.
nagy és rendkívül nagy
vagy szilárd részecskék
műveletet egy
elektromos motorral hajtott
talál a „Műszaki
vett fontos információt
szivattyúk maximális
a következő
és szolgáltatási
Bolted Flange-et különleges
A rendszer kicsomagolásakor ügyeljen arra, hogy ne ejtse le,
és kerülje annak bármilyen hirtelen ütését vagy rázkódását.
Ne ártalmatlanítsa a csomagoló anyagokat nem megengedett
módon. Az anyag teljesen újrafeldolgozható, és megfelel az
EEC 85/399-es direktívának.
!
Gázkivonási problémák elkerülésére ne használjon puszta
kezeket vákuumnak kitett komponensek kezelésére. Mindig
használjon kesztyűt vagy más alkalmas védelmet.
A környezetnek való normál kitettség nem károsíthatja a TV
801 Navigator Bolted Flange-et. Mégis ajánlatos zárva tartani a
rendszerbe való telepítésig, így megakadályozva a por általi
szennyeződés bármely formáját.
TELEPÍTÉS
!
Ne távolítsa el az
turbószivattyúnak a rendszerhez való csatlakoztatása előtt.
Csak beltéri környezetbe telepítse az eszközt, és semmilyen
esetben se használja
környezetben (eső, hó, jég), porban, agresszív gázokban,
illetve robbanó vagy tűzveszélyes környezetben.
Üzemeltetés közben a következő környezeti feltételeket kell
biztosítani:
−
maximális nyomás: 2 bar a légköri nyomás felett
−
hőmérséklet: +10 °C-tól +45 °C-ig
−
relatív páratartalom: 0 – 90% (nem kondenzáló)
Mágneses mezők jelenlétében a szivattyút védeni kell
ferromágneses pajzs segítségével. Részletes információért
lásd „Műszaki információ".
A TV 801 Navigator Bolted Flange-et elsődleges szivattyúhoz
kell csatlakoztatni (lásd "Műszaki információ").
A SZIVATTYÚ RÖGZÍTÉSE

Ha rotorhiba jelentkezik, a szivattyúnak a rendszerhez való
csatlakozása jelentős nyomatéknak lehet kitéve. Ha a
csatlakozás nem elegendő a nyomaték elviselésére, a
szivattyú leválhat a rendszerről, illetve a motorház leválhat a
szivattyú burkolatáról. Ebben az esetben fémrészecskék
állhatnak ki a szivattyúból vagy a rendszerből, ami komoly
sérülést vagy halált és/vagy környezet károsodást okozhat.
35
HASZNÁLATI UTASÍTÁS
FIGYELEM
MEGJEGYZÉS
FIGYELEM
öntapadó és védőkupakot
atmoszférikus közegeknek
VIGYÁZAT!
87-900-980-01(B)
a
kitett