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3. INBETRIEBNAHME DES INSTRUMENTS
3.1 .3. Umschalten in den Bereitschaftszustand (Standby)
Es wird empfohlen,
das
Mikroskop in den Bereitschaftszustand zu versetzen, wenn es nicht
benutzt wird, z.B. über Nacht oder während
des Wochenendes.
Im BereilSChaftszustand ist
der Elektronenstrahl abgeschaltet, die Kammer bleibt jedoch
unter
Hochvakuum.
Ausschalten in den Bereitschaftszustand
•
Falls der Elektronenstrahl noch
eingeschaltet
ist, muß
er
durch Anklicken des
Markierungsfeldes
Ein (Beam ON)
im Bedienungsfeld ausgeschaltet werden.
Warten, bis der Emissionsstrom auf Null
zurückgegangen
ist.
•
Wenn
das
System mit
einer
Turbomolekularpumpe
ausgerüstet
ist,
das
Tastenfeld
Uimin 60%
(RPM
60%)
(Bedienungsfeld
Einstellung
(Settings), Gruppe
Va·
kuum (Vacuum)
ausvergrößert) anklicken
.
•
Die Taste
HIGH
TENSION im Bedienungsfeld drücken
(sie
leuchtet dann nicht
mehr). Den Bildmonitor
ausschalten.
Das
System befindet sich nun im Bereitschaftszustand
(Standby)
3.1.4. Vollständiges Ausschalten
In bestimmten Fällen muß man jedoch das Instrument vollständig ausschalten,
d.h.
strom-
los machen. In diesem Zustand
sind
dann
ein
Transport des Mikroskops oder Arbeiten an
den Versorgungsleitungen für Wasser und Druckluft
möglich.
Völliges Ausschalten in
den
stromlosen Zustand
•
•
•
•
Falls der Elektronenstrahl noch eingeschaltet ist, muß
er
durch Anklicken
des
Ta-
stenfeldes
Ein (Beam ON)
im Bedienungsfeld ausgeschaltet werden.
Warten, bis
der
Emissionsstrom auf Null zurückgegangen ist.
Wenn das System mit
einer
Öldirrusionspumpe ausgerüstet
ist,
Aus
(Shutdown)
anklicken
(Bedienungsfeld Einstellung
(Settings),
Gruppe
Va-
kuum (Vacuum)
ausvergrößert). Dadurch wird automatisch die VACUUM-Taste
auf dem Bedienungspult ausgeschaltet. Dies bedeutet, daß die Ventiie des Vaku-
urnsystems
geschlossen
werden und daß die Öldiffusionspumpe nicht mehr geheizt
wird.
Warten bis die ROl.ationspumpe
nicht
mehr läuft (Sie stoppt automatisch
nach ca. 15 Minuten, wenn
die
Öldiffusionspumpe abgekühlt
ist.).
Nun erst darf
man die Kühlwasserversorgung abschließen
.
Man beachte, daß die Kammer nicht
belüftet
wird.
Falls das System
mit
einer Turbomolekularpumpe ausgerüstet ist, betätigt man
das Tastenfeld
Belüften (Vent)
im Bedienungsfeld
Einstellung
(Settings).
Beendigung des Belüftungsprozesses
abwarten.
Die obere linke
Ecke
des Bildschirms doppelt anklicken,
um
das
Mikroskopsteu-
erprograrnm
zu
stoppen.
Das Symbol des MS-Windows
"Prograrn
Manager"
dop-
pelt anklicken. Dann das Symbol für "DOS-Prompt" doppelt
anklicken.
Bei
20
MB-Festplauen außerdem SHUTDOWN
eintippen
und
Return-Taste
drücken.
Hierdurch werden die Schreib-/Leseköpfe
der
System-Harddisk in eine sichere
Position
gebracht.
Nun die Stromversorgung durch Drücken der
Taste
OFF
im
Bedienungsfeld
ausschalten.
Philips
XL-RasterelektronenmikroskOp
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