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2.
MIKROSKOPFUNKTIONEN
•
Konfiguration (Set Gun)
Das
Dialogfeld Konfiguration (SetGun)
ist
in
Abb.
2.7 wiedergegeben.
Die
Wahlmög-
lichkeiten des
EinstellungsuntermenUs werden in einem
Dialogfeld
angezeigt.
Dieses
Dia-
logfeld
erscheint
automatisch,
nachdem
die
Emissionskammer
geöffnet wurde.
Abb.2.7.
I!]
0.9
Ges.
Aufhei zzeit
10 .7
Vorspannun
g:
[Ej
181
Autosiiltigung
Das Beaienungsfeld
Strahl (Beam)
und
das
Dialogfeld
Konfiguration
(SetGun)
Sie enthält die folgenden Elemente:
•
Wehneltänderung (Wehnell
changed):
Dies ist ein Markierungsfeld
.
Man
mu
ß es
anklicken,
wenn
e ine
neue Kalhode
in
-
stallien oder die Einstellung
der
Kathodenhalterung
geänden
wurde
(z.B.
der
Ab-
stand
zwischen Kalhode
und
Wehnelt-Blende).
Ist dieses Feld markien,
so
heizt
das System
die
Kalhode
nicht
automatisch
auf, sondern schaltet
die
Hochspannung
und den
Kathodenheizstrom auf Null
.
Damit wird
eine Übersättigung
der
Elektro-
nenkanone
sicher
vermieden.
•
HV
AnOde:
Dieses Auswahlsymbol
schaltet im
Wechscl
zw
ischen
LV Anode
und
HV
Anode
um
.
Es bezieht sich auf
den
Typ
der benutzten Anode.
Die
Hochspannungsanode
kann auch bei
niedrigen
Spannungen, d.h.
über
den
gesamten
Bereich,
benutzt
werden
.
•
LV Anode
:
Dieses
Auswahlsymbol muß
eingescha
ltet
werden, wenn eine
Niederspannungs-
anode (die
dicker ist
als die Hochspannungsa node)
installi ert
ist. Sie
bewirkt eine
Phil
ips
XL-Rasterelektronenm ikroskop
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