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3.5 Justierung der Elektronenkanone und Säule bei LaB6-Systemen
Hand
oder
mit Motorantrieb
geschehen
.
Dies muß
bei
der
eingestellten
Vergrößerung ausgeführt
werden
und es darf keine Strahlverschiebung
benutzt werden
.
•
Nach Anklicken des Tastenfeldes
[+
I
erscheint eine Serie von Strahl-
größen und Hochspannungen. Bei jeder muß das Objekt wieder auf das
weiße Kreuz eingestellt werden
.
Am Ende jeder kV-Einstellung wird zum
Anklicken
von
[+
I
aufgefordert.
•
Am Ende von 64 erscheinen die Tastenfelder
Abbr. (Cancel)
und
Speichern (Save).
Wenn Sie sich für Abspeichern entscheiden, er-
scheinen die Angaben "Daten gespeichert" ("Please wait, Saving data")
und
die
ursprünglichen
Belriebsbedingungen werden wieder eingestellt.
Die Justierung ist damit abgeschlossen.
Die neue Justierung wird nun vom System automatisch benutzt, bis das Justierverfahren
wiederholt wird
und
die
neuen
Ergebnisse abgespeichen werden. Wenn Sie das Tastenfeld
Abbr.
(Cancel) anklicken, werden keine neuen Juslierergebnisse abgespeichert. Die Soft-
ware benutzt dann die
zuletzt
abgespeicherten Werte der betreffenden Justierung.
Kondensor: Bei der Kondensorjuslierung wird die Hochspannungsjustierung folgender-
maßen berücksichtigt:
25 kV, Strahlgröße 6, 5,
3,
I
,
dann Strahlgröße 7 und
8
16 kV, Strahlgröße
6,
5, 3, I, dann Strahlgröße
7
und
8
9
kV, Strahlgröße 6, 5, 3, I, dann Strahlgröße 7 und
8
4 kV, Strahlgröße
6,5,3,
I, dann Strahlgröße 7 und 8
1
kV, Strahlgröße
6,5,3,
I,
dann Strahlgröße 7 und
8
Bei jeder Hochspannungseinstellung wird die Justierung bei den
oben
aufgeführten Strahl
-
größen ausgeführt. Die Strahlgrößen
7
und
8
brauchen nur justiert zu werden, wenn Sie je-
mals
einen
hohen Elektronenstrahlstrom
(z.B.
für WDX) brauchen. Wenn dies nicht der
Fall ist, können Sie über das Tastenfeid
[+1
ohne Ausführung der Justierung den nächsten
Schrill anwählen. Beachten Sie, daß die Justierungen
nach
Ausführung des vollständigen
Strahlgrößenbereichs (d.h. bei Strahlgröße 8) durch Anklicken des Tastenfeldes
Spei-
chern (Save)
abgespcichert werden können.
Benutzerdefinierte Werte für das Justierverfahren 64 Kondensor
(Condenser)
Wir
empfehlen,
das System vollständig zu justieren und alle vom System angebotenen kV-
Einstellungen zu benutzen. Allerdings ist dies nicht unter allen Umslllnden erforderliCh.
Wenn das
InsUlJment
zum Beispiel
hauptsächlich
im Bereich von
15
bis 30 kV benutzt
wird, reicht eine Justierung bei 25
und 16
kV aus (Justierung bei diesen beiden Schrillen
abspcichem). Außerdem
ist
es möglich, das Justierverfahren
speziell
auf einen bestimmten
kV-Wen zu konzentrieren.
Beispiel:
•
•
•
Software- Version 4.x
Für einen Hochspannungswen von 5 kV wird dies folgendermaßen er-
reicht:
Das Juslierverfahren normal ausführen, bis derjenige kV-Wert vom Sy-
stem angeboten wird, der dem gewünschten Wen am
nächsten
liegt (in
diesem Falle wanen, bis das System die Juslierung bei 4 kV
anbietet).
Nun bei der ersten Strahlgröße des Bereichs
(d.
h.
der Strahlgröße
6)
die
Hochspannung auf 5
einstellen
und das Justierverfahren fonsetzen, bis
alle angebotenen Strahlgrößen benutzt wurden.
Wenn alle Strahlgrößen justien
sind,
das Tastenfeld
Speichern
(Save)
betäligen. Das System merkt
sich
den tatsächlichen Wert der
Hochspan-
nung und
speichen
die
emsprechende
Justierserie
ab.
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