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Verwandte Anleitungen für Pfeiffer Vacuum Classic 590
Inhaltszusammenfassung für Pfeiffer Vacuum Classic 590
- Seite 1 Betriebsanleitung • Operating Instructions Hochvakuum Beschichtungssystem Classic 590 PC K00 084...
- Seite 2 Inhalt Inhalt Zu dieser Anleitung ........3 Gültigkeit .
- Seite 3 Aktuelle Betriebsanleitungen sind auch über www.pfeiffer-vacuum.net verfügbar. Umfang der Gesamt- Die Dokumentation für das Hochvakuum Beschichtungssystem Classic 590 hat die Pfeiffer Vacuum Nummer PA 0180 BD und besteht aus mehreren Ordnern. dokumentation Darin enthalten sind: • Betriebsanleitung PA 0178 BN •...
- Seite 4 Zu dieser Anleitung VORSICHT Möglicherweise bevorstehende Gefahr Mittlere bis leichte Verletzungen können eintreten. HINWEIS Gebot oder Hinweis Aufforderung zu einer Tätigkeit oder Information über Eigenschaften, deren Missach- tung zu Schäden am Produkt führen kann. Piktogramm- Definitionen Verbot einer Handlung oder Tätigkeit im Zusammenhang mit einer Gefahrenquelle, deren Missachtung zu schwer- wiegenden Unfällen führen kann.
- Seite 5 • Der Betreiber ist verplichtet, das System immer in einwandfreiem Zustand zu be- treiben. • Der Bediener ist verpflichtet, eintretende Veränderungen an dem Beschichtungs- system Classic 590, die die Sicherheit der Anlage beeinträchtigen, sofort dem Betreiber zu melden. • Der Betreiber muss durch entsprechende Anweisungen und Kontrollen die Sau- berkeit der Anlage gewährleisten.
- Seite 6 Türen). • Schutzeinrichtungen dürfen nur bei Stillstand und elektrisch freigeschaltetem System entfernt werden. • Das Hochvakuum Beschichtungssystem Classic 590 darf komplett nur mit einem Gabelstapler oder einem Hebekran transportiert werden. Die Gewichtsverteilung der Anlage ist dabei zu beachten (Kippgefahr!).
- Seite 7 Sicherheit Gewährleistung der Betriebssicherheit ist der Wächter mit in die Verriegelungskette integriert (bei Druckanstieg öffnet der Schalter, die Spannungsversorgung wird un- terbrochen). Sicherheitsschalter Der Sicherheitsschalter über der Rezipiententür dient zur netzseitigen Trennung der hochspannungsführenden Komponenten bei geöffneter Tür. Erdungsstab Durch Berühren der Einbauten mit dem Erdungsstab wird sichergestellt, dass rest- liche elektrische Ladung hochspannungsführender Komponenten abgeleitet wird.
- Seite 8 Durch betreiberseitige Installation von Zusatzeinrichtungen und Modifikationen erlischt die Konformitätserklärung des Herstellers. è Der Betreiber des Pfeiffer Vacuum Systems ist verpflichtet, vor der Inbetriebnahme von Zusatzeinrichtungen oder Modifikationen, die Konformität im Sinne der gelten- den EU-Richtlinien zu überprüfen und entsprechend neu zu bewerten.
- Seite 9 Transport und Lagerung 3 Transport und Lagerung 3.1 Auspacken / Wiederverpacken Das System ist für den Transport in Segmente zerlegt und in transportablen Holz- gestellen fixiert. Einzelteile sind sicher in Transportkisten verpackt. HINWEIS Entsorgung von Verpackungsmaterial Holzgestelle zum Transport von Systemkomponenten sind nach dem Auspacken nicht wieder verwendbar.
- Seite 10 è Siehe hierzu die Unterlagen im Dokumentationsordner. Typenschild Die Angaben auf dem Typenschild dienen der sicheren Identifizierung des Systems und sollten bei der Kommunikation mit Pfeiffer Vacuum immer bereitgehalten und verwendet werden. Das Typenschild ist gut sichtbar auf der Rückseite oder Seiten- verkleidung eines Schaltschranks.
- Seite 11 Produktbeschreibung 4.2 Aufbau und Funktion Das Hochvakuum Beschichtungssystem Classic 590 besteht im wesentlichen aus Vakuumsystem, Prozesskammer sowie Versorgungseinrichtungen und Schalt- schrank. Die einzelnen Komponenten sind auf einer Profilrahmenkonstruktion montiert und untereinander verdrahtet. Für die Bedienung des Systems sind am Schaltschrank eine Tastatur und eine Maus installiert, die Darstellung der grafi- schen Benutzeroberfläche erfolgt auf einem Farbdisplay.
- Seite 12 20 Flansch Turbopumpe 25 Flansch Kryopumpe 21 Beschichtungsschutz 26 Flansch Turbopumpe 22 Baseplate 27 Substratteller 23 Elektronenstrahlverdampfer Für das Beschichtungssystem Classic 590 sind folgende Beschichtungseinrichtun- gen realisiert: • Elektronenstrahlverdampfer (E-gun) • Drehblenden (Shutter) • Schichtdickenmesseinrichtung • drehbare Substrathalterung Pumpausrüstung Der Vakuumpumpstand besteht im wesentlichen aus: •...
- Seite 13 Die komplette Vakuumüberwachung erfolgt über Profibusanschluss durch die SPS. Steuerung Das Beschichtungssystem Classic 590 ist vom Lieferwerk funktionsgetestet. Die Steuerung des Pumpsystems erfolgt über die Steuerung der Kryopumpe und der Turbopumpen sowie über die SPS. Alle wichtigen Vorgänge und Anlagenzustände sind in einer Visualisierung darge- stellt.
- Seite 14 Produktbeschreibung 4.3 Medienversorgung Pneumatische Ventilinsel Ausrüstung Druckluftreservoir Wartungseinheit Hauptdruckluftanschluss Abb. 4: Druckluftversorgung Für die Funktionalität der Kammerteile und der elektropneumatischen Ventile ist die externe Bereitstellung von gereinigter Druckluft mit mindestens 6 bar Über- druck notwendig. Die Druckluftversorgung für pneumatische Komponenten hat ei- nen zentralen Eingang auf die Wartungseinheit.
- Seite 15 Produktbeschreibung Wasserversorgung Die Pumpen und die Prozesskammer werden mit Warm- bzw. Kaltwasser versorgt. Die Wasserversorgung besteht aus einem vom Rahmengestell getrennten Gestell. Darin ist die Wasserverteilung auf die einzelnen Komponenten enthalten. Manometer Rücklauf Manometer Vorlauf Elektronenstrahlverdampfer Quarzsensorkopf Prozesskammer Kryopumpe Turbopumpe Umschaltung Warm-/ Kaltwasser Rücklauf Umschaltung Warm-/...
- Seite 16 Grün Beschichtungsprozess läuft Prozessende Orange Anlage betriebsbereit Störung liegt an 4.5 Grafische Benutzeroberfläche Allgemeine Hinweise Die Steuerung des Beschichtungssystems Classic 590 erfolgt über eine grafische Benutzeroberfläche. Funktion und Bedienung der einzelnen Betriebsmodi sind in der separaten Dokumentation zur Steuerung beschrieben.
- Seite 17 è Siehe Technische Daten der Einzelkomponenten 5.3 Montage Das System wird von Pfeiffer Vacuum aufgestellt, montiert und inbetriebgenom- men. Alle Grundparameter des Vakuumpump- und Messsystems, sowie der Steu- erung sind voreingestellt und sollten nur in Absprache mit dem Hersteller geändert werden.
- Seite 18 Installation VORSICHT Auslaufendes Betriebsmittel beim Kippen der Pumpe! Rutschgefahr, Schädigung der Pumpe und Verschmutzung des Arbeitsplatzes durch ausgelaufenes Betriebsmittel. è Ausgelaufenes Betriebsmittel mit geeignetem Lappen oder Bindemittel aufnehmen. è Pumpe in alle Richtungen max. 10° neigen. è Betriebsmittel in die Vakuumpumpen einfüllen. VORSICHT Bei Verlegung der Auspuffleitung sind die Angaben in der Betriebsanleitung der Vor- pumpen zu beachten.
- Seite 19 Zum Transport wird der Schaltschrank von der Anlage getrennt. Vor Inbetrieb- nahme müssen die Verbindungen gem. Schaltplan hergestellt werden. Elektrische Schaltpläne Für das System gilt der Schaltplan mit der Pfeiffer Vacuum Nummer PC 003 079-S in Teil 2 der Gesamtdokumentation.
- Seite 20 Es erscheint das Hauptmenü auf dem Bildschirm. Passwortsicherung / In der Projektierung der grafischen Benutzeroberfläche des Beschichtungssystems Classic 590 sind Bedienelemente durch eine zusätzliche Benutzerebene gegen un- Anmeldung befugtes Bedienen geschützt. Diese Sicherheitsstufe ist nur durch entsprechende Anmeldung und Passworteingabe erreichbar. Die Weitergabe des eingerichteten Passwortes liegt im Verantwortungsbereich des Anlagenbetreibers.
- Seite 21 Einrichtungen können abhängig vom gefahrenen Prozess heiß sein. è Substrate können entnommen werden. Die Kammer kann für den nächsten Pro- zess bestückt werden oder ausgeschaltet werden. è Das komplette Beschichtungssystem Classic 590 durch Umlegen des Haupt- schalters in Stellung “0” ausschalten. è Versorgungsleitungen und angeschlossene Gasflaschen schließen.
- Seite 22 VORSICHT Das Schichtdicken Mess- und Steuergerät XTC ist werkseitig vorprogrammiert. Sämtli- che Haftungs- und Gewährleistungsansprüche gegen Pfeiffer Vacuum, die im Zusam- menhang mit Fehlern beim Programmieren und Einstellen von Beschichtungsgeräten stehen, sind ausgeschlossen. Beschichtungsprozesse und deren Ablauf liegen einzig im Verantwortungsbereich des Anlagenbetreibers.
- Seite 23 Jeder Beschichtungsprozess an der Beschichtungsanlage Classic 590 kann erst nach Herstellen der Kühlwasserversorgung gestartet werden. 6.4 Prozessablauf Ein Beschichtungsprozess am System Classic 590 wird hauptsächlich über die PC- Steuerung kontrolliert. Prozessinformation Jeder Prozessschritt am System Classic 590 kann in der Visualisierung beobachtet und nachvollzogen werden (weitere Informationen hierzu entnehmen Sie bitte der separaten Dokumentation zur Steuerung).
- Seite 24 Im manuellen Betrieb können auch die Beschichtungseinrichtungen und Drehblenden über Untermenüs und Schaltflächen der Visualisierung betrieben werden. Handbetrieb ist der generelle Betriebsmodus nach jedem Einschalten und Hoch- fahren des Beschichtungssystems Classic 590. Beispiele für Handbetrieb: • Einfahren von Testzyklen • Optimieren von Testparametern •...
- Seite 25 Personal bedient, gewartet und instandgehalten werden. Dieses Personal muss eine spezielle Unterweisung erhalten haben. Wartungsarbeiten, die einen größeren Eingriff in das System bedeuten, sollten nur vom Pfeiffer Vacuum Service durchgeführt werden. WARNUNG Bei nicht abgesprochenen, kundenseitigen Änderungen entfallen jegliche Gewährleis- tungs- und Haftungsansprüche gegen Pfeiffer Vacuum.
- Seite 26 Wartungsintervalle Eine regelmäßige Wartung sichert die einwandfreie Funktion Ihrer Anlage. Für die Wartung der Komponenten, gelten die Abschnitte in den entsprechenden Kompo- für Classic 590 nenten-Betriebsanleitungen. Die Einstellungen im Bildschirmmenü ”Betriebsstun- den” sind bindend für das Beschichtungssystem. Wartungsintervalle sind jedoch stark abhängig von Nutzung und Umgebungsbedingungen.
- Seite 27 7.3 Durchführbare Wartungsaufgaben Betriebsmittel über- Füllstand prüfen Pfeiffer Vacuum Drehschieberpumpen und Wälzkolbenpumpen werden standard- mäßig mit dem organischen Betriebs- bzw. Schmiermittel P3 betrieben. è System herunterfahren. Hauptschalter ausschalten. è Verkleidungsbleche vor den Vakuumpumpen demontieren. è Betriebsmittelstand an den Schaugläsern der Pumpen bei Betriebstemperatur überprüfen.
- Seite 28 Wartung è Betriebsmittelwechsel auch außerhalb der empfohlenen Wartungszyklen vor- nehmen, wenn die Färbung des Betriebsmittels dunkelgelb bis rotbraun ist (ent- spricht Farbkennzahl 4 - 5). è Bei Farbkennzahl unter 4 das Betriebsmittel weiterverwenden. è Betriebsmittelstand wieder auffüllen! è Betriebsmittel-Einfüllschraube einschrauben; auf O-Ring achten. Betriebsmittel wech- Der Hersteller empfiehlt, den Betriebsmittelwechsel unabhängig vom Alterungs- grad gemäß...
- Seite 29 è Kolbenstangen an Pneumatikzylindern mit weichen Tuch regelmäßig reinigen. 8 Außerbetriebnahme Die Außerbetriebnahme eines Pfeiffer Vacuum Systems sollte nur nach dem Emp- fehlungen des Pfeiffer Vacuum Service durchgeführt werden. Siehe auch die Hin- weise zum Stillsetzen von Komponenten in den Einzelbetriebsanleitungen und...
- Seite 30 System ab. Nach Beseitigung der Fehlermeldung und ihrer Ursache, muss das System erneut in Grundstellung gebracht werden. HINWEIS Fehlermeldungen beachten! Haftungs- und Gewährleistungsansprüche gegen Pfeiffer Vacuum, die aufgrund der Missachtung oder Fehlbewertung von Störungen auftreten, sind ausgeschlossen. 9.1 Störungsbehebung è Störung oder Fehlerquelle beseitigen.
- Seite 31 Reparaturdurchführung sollte das notwendige Spezialwerkzeug eingesetzt wer- den. Ein detailliertes Angebot über die benötigten Artikel kann entsprechend aus- gearbeitet werden. Ersatzteillisten Ersatzteillisten für Pfeiffer Vacuum Systeme befinden sich als Beilage in der Ge- samtdokumentation. 10.4 Reparatur / Austausch Ist eine Reparatur erforderlich, bestehen folgende Möglichkeiten: •...
- Seite 32 Vermerk "Frei von Schadstoffen" am Gerät oder in den Begleitpapieren nicht angebracht haben. • "Schadstoffe" sind: Stoffe und Zubereitungen gemäß EG-Richtlinie vom 18.09.1979, Artikel 2. Servicedaresse Pfeiffer Vacuum GmbH Berlinerstr. 43 D-35614 Asslar Telefon +49 6441 802 -192 Telefax +49 6441 802 -399 Internet: http://www.pfeiffer-vacuum.de...
- Seite 33 Technische Daten 11 Technische Daten Aufstellung Einheit Classic 590 Lichte Türmaße Vakuumkammer 900 x 1100 (B x H) Nutzraum Prozesskammer (B x T x 900 x 900 x 1100 Rackschrank (B x T x H) 600 x 800 x 2000...
- Seite 34 Notizen Ventile Einheit DN 400 Hochvakuumventil 1 x Pendelschieber (Kryo-Pumpe) ISO-F DN 250 Hochvakuumventil 2 x Pendelschieber (Turbo-Pumpen) ISO-F DN 100 Vorvakuumventil 1 x HV-Eckventil ISO-K DN 25 Flutventil (Kammer) HV-Eckventil Lärmemission Einheit Lautstärke im Betrieb db(A) < 85 12 Notizen...
- Seite 35 We hereby certify, that the product specified below is in accordance with the provision of EU Machinery Directive 98/37/EEC, EU Electromagnetic Compatibility Directive 89/336/EEC and EU Low Voltage Direc- tive 73/23/EEC. Produkt/Product: Hochvakuum Beschichtungssystem Classic 590 PC K00 084 Angewendete Richtlinien, harmonisierte Normen und angewendete, nationale Normen in Sprachen und Spezifikationen:...
- Seite 36 Roots pumps Dry compressing pumps Leak detectors Valves Components and feedthroughs Vacuum measurement Gas analysis System engineering Service Pfeiffer Vacuum Technology AG · Headquarters/Germany Tel. +49-(0) 64 41-8 02-0 · Fax +49-(0) 64 41-8 02-2 02 · info@pfeiffer-vacuum.de · www.pfeiffer-vacuum.net...