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Betrieb
System hochfahren /
Grundstellung
Beschichtungssystem
ausschalten
6.3 Voraussetzungen / Einstellungen
Für den Hochlauf der Anlage sowie nach jedem unvorhergesehenen Abbruch oder
zum Funktionstest nach Serviceeinsätzen sollte das gesamte System in Grundstel-
lung gebracht werden. Dies vermeidet generell unerlaubte Betriebszustände (z.B.
nach Not-Aus). Grundstellungsfahrt ist nur möglich, wenn keine Fehlermeldungen
für das gesamte System anstehen (weder aktuell noch bestätigt).
Die Grundstellung aller Ventile an der Anlage ist im Vakuumschema dargestellt.
Siehe Teil 2 der Dokumentation. Darin bedeutet:
• NO offen ("normally opened")
• NC geschlossen ("normally closed")
Das System kann aus jedem beliebigen Zustand heruntergefahren werden. Der
Hersteller empfiehlt jedoch den Ablauf eines aktiven Beschichtungszyklus abzu-
warten und das System über die Visualisierung herunterzufahren.
Im Notfall:
è Laufenden Prozess am XTC beenden.
è Abbruch an der Visualisierung bestätigen und den kompletten Betrieb der Be-
schichtungssteuerung beenden.
è Pumpausrüstung über die Visualisierung ausschalten.
è Vakuumkammer belüften.
Nach Erreichen von Atmosphärendruck öffnet die Kammertür selbstätig.
Beim Öffnen und Schließen der Kammertür Quetschgefahr vermeiden.
Vor allen Arbeiten in der geöffneten Vakuumkammer elektrische Restladung von
den Beschichtungseinrichtungen mit Hilfe des beigestellten Erdungsstabes ablei-
ten.
Hohe Temperaturen und heiße Oberflächen
Verbrennungsgefahr durch Berührung an heißen Bauteilen und Komponenten. Kam-
mertür und Einrichtungen können abhängig vom gefahrenen Prozess heiß sein.
è Substrate können entnommen werden. Die Kammer kann für den nächsten Pro-
zess bestückt werden oder ausgeschaltet werden.
è Das komplette Beschichtungssystem Classic 590 durch Umlegen des Haupt-
schalters in Stellung "0" ausschalten.
è Versorgungsleitungen und angeschlossene Gasflaschen schließen.
Der Prozessbetrieb ist aus Sicherheitsgründen über den mechanischen Sicher-
heitskreis und folgende Parameter abgesichert:
• Tür Rezipient geschlossen
• Pumpsystem läuft
• Vakuum im Rezipient < 133 mbar
• Kühlwasserfluss Rezipient o.k.
• Kühlwasserfluss Prozesseinbauten o.k.
WARNUNG
WARNUNG
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