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Pfeiffer Vacuum Classic 590 Betriebsanleitung Seite 34

Hochvakuum beschichtungssystem

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34
Ventile
Hochvakuumventil
Hochvakuumventil
Vorvakuumventil
Flutventil (Kammer)
Lärmemission
Lautstärke im Betrieb
Einheit
DN 400
1 x Pendelschieber (Kryo-Pumpe)
ISO-F
DN 250
2 x Pendelschieber (Turbo-Pumpen)
ISO-F
DN 100
1 x HV-Eckventil
ISO-K
DN 25
HV-Eckventil
KF
Einheit
db(A)
< 85

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Diese Anleitung auch für:

Pc k00 084