14 Technische Daten und Abmessungen
14.1 Allgemeines
Grundlagen für die technischen Daten von Pfeiffer Vacuum Drehschieberpumpen:
● Vorgaben nach PNEUROP Komitee PN5
● DIN ISO 21360-1: 2016: "Vakuumtechnik - Standardmethoden zur Messung der Leistungsdaten
● Dichtheitsprüfverfahren zur Ermittlung der integralen Leckrate nach DIN EN 1779: 1999 Verfahren
● Schalldruckpegel gemäß ISO 3744, Klasse 2
mbar
bar
Pa
hPa
kPa
Torr | mm Hg
Tab. 16:
mbar l/s
Pa m
sccm
Torr l/s
atm cm
Tab. 17:
14.2 Medienberührende Werkstoffe
Pumpeneinzelteile
Auslassventil
Gehäuse
Einlass-/Auslassflansch
Schauglas
Ölrückgewinnungseinheit
Stecker
Rotor
Dichtungen
Wellendichtung
Stator / Statorflansche
Drehschieber
Tab. 18:
von Vakuumpumpen - Teil 1: Grundlegende Beschreibungen"
A1; mit Helium-Konzentration 20 %, Messdauer 10 s
mbar
1
1000
0,01
1
10
1,33
Umrechnungstabelle: Druckeinheiten
mbar l/s
1
3
10
/s
1,69 · 10
-2
1,33
1,01
3
/s
Umrechnungstabelle: Einheiten für Gasdurchsatz
Werkstoffe mit Prozessmedienkontakt
bar
Pa
100
1 · 10
-3
1
1 · 10
5
1
1 · 10
-5
-3
100
1 · 10
0,01
1000
-3
133,32
1,33 · 10
1 Pa = 1 N/m
2
sccm
Pa m
3
/s
0,1
59,2
1
592
1,69 · 10
-3
1
0,133
78,9
0,101
59,8
Medienberührende Werkstoffe
Gusseisen, Aluminium, Stahl, FKM
Gusseisen
Gusseisen, Stahl
Borosilikatglas
Stahl
Stahl
Gusseisen, Stahl
FKM
FKM
Gusseisen
Kunstharzverbund
Technische Daten und Abmessungen
hPa
kPa
Torr | mm Hg
1
0,1
0,75
1000
100
750
0,01
1 · 10
-3
7,5 · 10
1
0,1
0,75
10
1
7,5
1,33
0,133
1
Torr l/s
atm cm
0,75
0,987
7,5
9,87
1,27 · 10
-2
1,67 · 10
1
1,32
0,76
1
-3
3
/s
-2
67/74