Technische Daten Und Abmessungen; Allgemeines; Technische Daten; Tab. 14: Umrechnungstabelle: Druckeinheiten - Pfeiffer Vacuum HIPACE 300 H Betriebsanleitung

14 Technische Daten und Abmessungen
14.1 Allgemeines
Dieser Abschnitt benennt die Grundlagen für die technischen Daten von Pfeiffer Vacuum Turbopumpen.
● Vorgaben nach PNEUROP Komitee PN5
● ISO 27892 2010:"Vakuumtechnik - Turbomolekularpumpen - Messung des Drehmomentes bei
● ISO 21360-1 2012: "Vakuumtechnik - Standardverfahren zur Messung der Leistungsdaten von
● ISO 21360-4 2018: "Vakuumtechnik - Standardverfahren zur Messung der Leistungsdaten von
● Enddruck mit Testdom nach Ausheizdauer 48 h
● Gasdurchsatz mit Wasserkühlung; Vorpumpe = Drehschieberpumpe (10 m
● Kühlwasserverbrauch bei maximalem Gasdurchsatz, Kühlwassertemperatur 25 °C
● Integrale Leckrate mit Helium-Konzentration 100 %, Messdauer 10 s
● Schalldruckpegel bei Abstand zur Vakuumpumpe = 1 m
mbar
bar
Pa
hPa
kPa
Torr | mm Hg
Tab. 14:
mbar l/s
Pa m
sccm
Torr l/s
atm cm
Tab. 15:
14.2 Technische Daten
Typenbezeichnung erweitert
Bestellnummer
Anschlussflansch (Eingang)
Anschlussflansch (Ausgang)
Enddruck ohne Gasballast
Kompressionsverhältnis für Ar
Kompressionsverhältnis für H

Technische Daten

Angegebene Maximalwerte beziehen sich ausschließlich auf den Eintrag als Einzelbelas-
tung.
schneller Betriebsstörung"
Vakuumpumpen - Teil 1: Grundlegende Beschreibung"
Vakuumpumpen - Teil 4: Turbomolekularvakuumpumpen"
mbar
1
1000
0,01
1
10
1,33
Umrechnungstabelle: Druckeinheiten
mbar l/s
1
3 10
/s
1,69 · 10 -2
1,33
1,01
3 /s
Umrechnungstabelle: Einheiten für Gasdurchsatz
2
bar Pa
100
1 · 10 -3
1
1 · 10 5
1
1 · 10 -5
100
1 · 10 -3
0,01 1000
-3 133,32
1,33 · 10
1 Pa = 1 N/m 2
sccm
Pa m 3 /s
0,1 59,2
1 592
1,69 · 10 -3 1
0,133 78,9
0,101 59,8
HiPace® 300 H mit
TC 110
PM P05 540
DN 100 ISO-K
DN 16 ISO-KF/G ¼"
< 1 · 10 -7 hPa
> 1 · 10 13
1 · 10 7

Technische Daten und Abmessungen

3 /h)
hPa kPa Torr | mm Hg
1 0,1 0,75
1000 100 750
0,01
1 · 10 -3 7,5 · 10
1 0,1 0,75
10 1 7,5
1,33 0,133 1
Tor l/s
0,75
7,5
1,27 · 10 -2
1
0,76
HiPace® 300 H mit HiPace® 300 H mit
TC 110 TC 110
PM P05 541 PM P05 542
DN 100 CF-F DN 100 ISO-F
DN 16 ISO-KF/G ¼" DN 16 ISO-KF/G ¼"
< 1 · 10 -10 hPa < 1 · 10
> 1 · 10 13 > 1 · 10
1 · 10 7 1 · 10
-3
atm cm 3 /s
0,987
9,87
1,67 · 10 -2
1,32
1
-7 hPa
13
7
53/60