Inhaltsverzeichnis
Werbung
INFICON
6.8.4 Informationen über das Gerät aufrufen
6.8.5 Informationen über Baugruppen aufrufen
6.8.6 Informationen zu Energiedaten aufrufen
UL6000-Fab,-PLUS-Betriebsanleitung-iinc75de1-02-(2207)
Es werden diverse Informationen zum Gerät angezeigt: Software- und
Seriennummern, Netzwerkinformationen und Betriebsstunden.
►
> Gerät > Identifikation
►
> Gerät > Netzwerk
►
> Gerät > Betriebsstunden
►
> Gerät > MSB
Es werden diverse Messwerte und Informationen zu folgenden Baugruppen
angezeigt: Vorverstärker, Ionenquelle, Turbomolekularpumpe (TMP),
Prozessorbaugruppe MSB, Vorpumpe und deren Frequenzwandler.
►
> Baugruppen > Vorverstärker
►
> Baugruppen > Ionenquelle
►
> Baugruppen > TMP
►
> Baugruppen > TMP2
►
> Baugruppen > Vorvakuumpumpe
Es werden diverse gemessene Versorgungsspannungen und elektrische Leistungen
angezeigt.
►
> Energie > Spannung (1)
ð In diesem Fenster wird der erste Teil der Informationen zur Spannung
angezeigt.
►
> Energie > Spannung (2)
Betrieb | 6
91 / 160
Werbung
Inhaltsverzeichnis
