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6 | Betrieb
6.16 Gerät ausschalten
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HINWEIS
Turbomolekularpumpen können beschädigt werden
Die laufenden Turbomolekularpumpen können durch ruckartige Bewegungen oder
Fremdkörper beschädigt werden.
► Bevor sie das Gerät ausschalten, belüften Sie den Einlass, um sicherzustellen,
dass die TMP2 (Booster-Pumpe) abgebremst wird.
► Nach dem Belüften des Einlasses vermeiden Sie ruckartige Bewegungen oder
Erschütterungen des Geräts während des Betriebs und bis 2 Minuten nach dem
Ausschalten.
► Falls Sie den Einlass nicht belüften, vermeiden Sie ruckartige Bewegungen oder
Erschütterungen des Geräts während des Betriebs und bis 6 Minuten nach dem
Ausschalten.
► Vermeiden Sie, dass Fremdkörper in den Einlass des Geräts gelangen.
Sie können das Gerät jederzeit mit dem Netzschalter ausschalten. Die im Gerät
eingestellten Parameter bleiben gespeichert.
UL6000-Fab,-PLUS-Betriebsanleitung-iinc75de1-02-(2207)
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