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Inhaltsverzeichnis

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S900-02-882
Issue A
Betriebsanleitung
6"-Rootspumpen des Typs MSeal und
Prozessabtrennungs-Rootspumpen
Übersetzung der ursprünglichen Anleitung

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Inhaltsverzeichnis
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Inhaltszusammenfassung für Edwards MSeal 900607MHR940

  • Seite 1 S900-02-882 Issue A Betriebsanleitung 6"-Rootspumpen des Typs MSeal und Prozessabtrennungs-Rootspumpen Übersetzung der ursprünglichen Anleitung...
  • Seite 2: Konformitätserklärung

    Konformitätserklärung Wir, Edwards Limited Crawley Business Quarter, Manor Royal Crawley, West Sussex, RH10 9LW, GB erklären in alleiniger Verantwortung als Hersteller und Person, die innerhalb der EU zur Zusammenstellung der technischen Unterlagen befugt ist, dass das Produkt bzw. die Produkte,...
  • Seite 3: Einbauerklärung

    Einbauerklärung Wir, Edwards Limited Crawley Business Quarter, Manor Royal, Crawley, West Sussex, RH10 9LW, GB erklären in alleiniger Verantwortung als Hersteller und Person, die innerhalb der EU zur Zusammenstellung der technischen Unterlagen befugt ist, dass das Produkt bzw. die Produkte,...
  • Seite 4 Diese Seite bleibt absichtlich frei.
  • Seite 5: Inhaltsverzeichnis

    Lecksuche ........................ 38 Wartungsplan ......................38 Allgemeine Wartungsarbeiten ..................38 Ölstand überprüfen .....................39 Durchführen eines Ölwechsels ..................39 Kupplung warten ......................40 Riemenantrieb überprüfen ....................40 © Edwards Limited 2014. Alle Rechte vorbehalten. Seite i Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
  • Seite 6 Abmessungen horizontaler (H) Rootspumpen mit freiliegender Welle mit Bypass-Ventil ....18 Abmessungen vertikaler (V) Rootspumpen mit freiliegender Welle mit Bypass-Ventil ......19 Anheben der Rootspumpe .....................24 Ausrichtung der Kupplung .....................30 Page ii © Edwards Limited 2014. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
  • Seite 7 Ersatzteile ....................... 47 Weiterführende Publikationen Publikationstitel Publikationsnummer Sicherheit von Vakuumpumpen und Vakuumsystemen P400-40-100 Warenzeichen Fomblin® ist ein eingetragenes Warenzeichen von Ausimont SpA. © Edwards Limited 2014. Alle Rechte vorbehalten. Seite iii Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
  • Seite 8 S900-02-882 Issue A Diese Seite bleibt absichtlich frei. Seite iv © Edwards Limited 2014. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
  • Seite 9: Einführung

    Einführung Umfang und Definitionen Diese Betriebsanleitung enthält Informationen zu Installation, Betrieb und Wartung der Edwards Rootspumpen des Typs MSeal und Prozessabtrennungs-Rootspumpen (nachfolgend als „Rootspumpe“ oder „Pumpe“ bezeichnet). Verwenden Sie die Rootspumpe nur so, wie es in der vorliegenden Anleitung beschrieben wird. Lesen Sie sich die vorliegende Anleitung vor Aufstellung und Inbetriebnahme der Rootspumpe aufmerksam durch.
  • Seite 10: Auswirkungen Der Atex-Richtlinie

    Die Einheiten in dieser Anleitung entsprechen durchgehend dem internationalen SI-Maßeinheitensystem. Auswirkungen der ATEX-Richtlinie Die Rootspumpe ist nicht entsprechend den europäischen Anforderungen der ATEX-Richtlinie ausgelegt. Seite 2 © Edwards Limited 2014. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
  • Seite 11: Beschreibung

    Pumpen. Diese Leistungsgrenzen, die Leistung der Vorvakuumpumpe und die Gaslast bestimmen den Einschaltdruck und die Druckgrenze bei Dauerbetrieb. Wenn die Kammergröße sowie die Daten der Vorvakuumpumpe und die Gaslast bekannt sind, können von Edwards Empfehlungen zu den Einschalt- und Betriebsgrenzen gegeben werden. Die erste im Betrieb erreichte Grenze ist der einschränkende Faktor.
  • Seite 12: Rootspumpenmodelle

    „VR101“ am Ende der Bestellnummer bezeichnen eine Pumpe mit freiliegender Welle für den Sauerstoffeinsatz (kohlenwasserstofffrei). Anderenfalls handelt es sich um eine Pumpe für den Standardbetrieb (mit Öl auf Kohlenwasserstoffbasis). Seite 4 © Edwards Limited 2014. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
  • Seite 13: Gesamtübersicht Für Horizontale (H) Rootspumpen

    2. Motor (IEC-Rahmen abgebildet) 8. Ölablassstopfen (antriebsseitig) 3. Öleinfüllstopfen (antriebsseitig) 9. Ölstandschauglas (antriebsseitig) 4. Einlass 10. Auslass 5. Öleinfüllstopfen (getriebeseitig) 11. Bypass-Ventil 6. Ölstandschauglas (getriebeseitig) © Edwards Limited 2014. Alle Rechte vorbehalten. Seite 5 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
  • Seite 14: Gesamtübersicht Für Vertikale (V) Rootspumpen

    3. Öleinfüllstopfen (antriebsseitig) 9. Ölablassstopfen (getriebeseitig) 4. Motor (IEC-Rahmen abgebildet) 10. Ölstandschauglas (getriebeseitig) 5. Drehrichtung anzeigender Pfeil 11. Bypass-Ventil 6. Ölstandschauglas (antriebsseitig) Seite 6 © Edwards Limited 2014. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
  • Seite 15: Funktionsprinzip

    übermäßige Druckdifferenz erzeugt, wird das Bypass-Ventil (4) geöffnet, um einen Teil der komprimierten Gase (5) in Richtung der Einlassseite der Pumpe zurückströmen zu lassen. © Edwards Limited 2014. Alle Rechte vorbehalten. Seite 7 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
  • Seite 16: Rootspumpen Mit Freiliegender Welle (Riemenantrieb)

    Standard-Betrieb von 800 bis 3.600 U/min (U/min) konzipiert. Die in die Antriebswelle induzierten Lasten hängen von der an die Welle angelegten Leistung ab. Je nach Motorleistung gibt Edwards einen Riemenscheiben- Mindestdurchmesser für die Antriebswelle vor. Riemenscheiben mit kleineren Durchmessern als in der vorliegenden Betriebsanleitung angegeben dürfen nicht verwendet werden.
  • Seite 17: Technische Daten

    847 lb 865 lb Gewicht des Motors 34 kg 167 kg 84 kg 91 kg 75 lb 367 lb 185 lb 200 lb © Edwards Limited 2014. Alle Rechte vorbehalten. Seite 9 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
  • Seite 18: Technische Daten: 61B-5V10 Und 622-5H/5V25 Direkt Angetriebene Prozessabtrennungs

    75 kg 126 lb 126 lb 165 lb 165 lb * Diese Pumpen verwenden gemäß CE, NEMA und Wirkungsgradnorm IE3 (China) genehmigte IEC-Motoren. Seite 10 © Edwards Limited 2014. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
  • Seite 19: Technische Daten: 61Bmhr/Mvr601 Und 622Mhr/Mvr601 Direkt Angetriebene Rootspumpen

    75 kg 126 lb 126 lb 165 lb 165 lb * Diese Pumpen verwenden gemäß der Wirkungsgradnorm IE3 (Korea, Japan) genehmigte Motoren. © Edwards Limited 2014. Alle Rechte vorbehalten. Seite 11 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
  • Seite 20: Technische Daten: 61Bmhr/Mvr Und 622Mhr/Mvr Direkt Angetriebene Rootspumpen

    Abbildung 11 Abbildung 9 Gewicht der Pumpe 224 kg 283 kg 346 kg 433 kg 492 lb 623 lb 762 lb 954 lb Seite 12 © Edwards Limited 2014. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
  • Seite 21: Abmessungen Direkt Angetriebener Horizontaler (H) Rootspumpen

    1790 (70,5) 409 (16,1) 292 (11,5) 470 (18,5) 900622MHR934 228 (8,5) 543 (21,4) 438 (17,3) 1574 (62,0) 490 (19,3) 292 (11,5) 648 (25,5) © Edwards Limited 2014. Alle Rechte vorbehalten. Seite 13 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
  • Seite 22: Abmessungen Direkt Angetriebener Vertikaler (V) Rootspumpen

    409 (16,1) 1215 (47,8) 581 (22,9) 432 (17,0) 350 (13,8) 900622MVR934 648 (25,5) 496 (19,6) 1579 (62,2) 579 (22,8) 473 (18,6) 350 (13,8) Seite 14 © Edwards Limited 2014. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
  • Seite 23: Abmessungen Direkt Angetriebener Horizontaler (H) Rootspumpen Mit Bypass-Venti

    406 (16,0) 791 (31,1) 1574 (62,0) 413 (16,3) 454 (17,9) 90061BMVR934 349 (13,8) 406 (16,0) 791 (31,1) 1753 (69,0) 409 (16,1) 454 (17,9) © Edwards Limited 2014. Alle Rechte vorbehalten. Seite 15 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
  • Seite 24: Abmessungen Horizontaler (H) Rootspumpen Mit Freiliegender Welle

    (16,1) (11,5) (18,5) (3,0) (1,7) 900-622-MHR 1018 (8,5) (21,4) (17,3) (40,1) (19,6) (11,5) (25,5) (3,0) (1,7) * 9 mm (3/8 Zoll) Vierkantstift Seite 16 © Edwards Limited 2014. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
  • Seite 25: Abmessungen Vertikaler (V) Rootspumpen Mit Freiliegender Welle

    (33,2) (19,8) (16,0) (13,8) (3,0) (1,7) 900-622-MVR 1018 (25,0) (19,6) (40,1) (19,8) (17,2) (13,8) (3,0) (1,7) * 9 mm (3/8 Zoll) Vierkantstift © Edwards Limited 2014. Alle Rechte vorbehalten. Seite 17 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
  • Seite 26: Abmessungen Horizontaler (H) Rootspumpen Mit Freiliegender Welle Mit Bypass-Ventil

    Abbildung 10 - Abmessungen horizontaler (H) Rootspumpen mit freiliegender Welle mit Bypass-Ventil Abmessungen: mm (Zoll) Pumpe 900-61B-MHR (13.8) (17.0) (28.3) (33.2) (16.2) (17.9) (3.0) (1.7) * 9 mm (3/8 Zoll) Vierkantstift Seite 18 © Edwards Limited 2014. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
  • Seite 27: Abmessungen Vertikaler (V) Rootspumpen Mit Freiliegender Welle Mit Bypass-Ventil

    Abbildung 11 - Abmessungen vertikaler (V) Rootspumpen mit freiliegender Welle mit Bypass-Ventil Abmessungen: mm (Zoll) Pumpe 900-61B-MVR (13,8) (17,0) (28,3) (33,2) (16,2) (17,9) (3,0) (1,7) 9 mm (3/8 Zoll) Vierkantstift © Edwards Limited 2014. Alle Rechte vorbehalten. Seite 19 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
  • Seite 28 S900-02-882 Issue A Diese Seite bleibt absichtlich frei. Seite 20 © Edwards Limited 2014. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
  • Seite 29: Installation

    Stellen Sie sicher, dass der Installationstechniker mit den Sicherheitsmaßnahmen im Zusammenhang mit dem  Pumpenöl und den vom Pumpsystem verarbeiteten Produkten vertraut ist. Lesen Sie die Edwards-Publikation P400-40-100 (Vacuum pump and vacuum system safety – chemical and  industrial systems [Sicherheit von Vakuumpumpen und Vakuumsystemen – chemische und industrielle Systeme]), bevor Sie die Rootspumpe installieren und verwenden, um gefährliche oder zündfähige...
  • Seite 30: Auspacken Und Kontrollieren

    Das Pumpsystem ist so zu konzipieren, dass beim Herunterfahren des Systems eine Durchspülung mit Inertgas  möglich ist, um gefährliche Gase auf sichere Konzentrationen zu verdünnen. Wenden Sie sich an Edwards oder Ihren Lieferanten, wenn Sie diesbezüglich Zweifel haben. Soll die Rootspumpe in ein neues System eingebaut werden, muss sichergestellt werden, dass alle Vorverrohrungen durchgeführt wurden und für die Rootspumpe ein geeigneter Grundrahmen vorbereitet wurde, bevor mit den...
  • Seite 31: Transportieren Sie Die Rootspumpe An Ihren Einsatzort

    Beim Transportieren von Rootspumpen mit angebautem Direktantriebsmotor ist besondere Vorsicht geboten. Die Pumpen müssen unmittelbar nach der Positionierung am Aufstellort in ihrer Position gesichert werden. Tabellen 4 enthalten Informationen zum Gewicht der Pumpe. © Edwards Limited 2014. Alle Rechte vorbehalten. Seite 23 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
  • Seite 32: Anheben Der Rootspumpe

    Ketten und Hebeösen C. Anheben von Pumpen mit Seilen 1. Hebeöse (an Rootspumpe) 2. Hebeöse (falls am Motor vorhanden) 3. Seile Seite 24 © Edwards Limited 2014. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
  • Seite 33: Aufstellung Der Rootspumpe

    Leitwert der Leitungen ist zu überprüfen, um sicherzustellen, dass die Pumpleistung des Systems nicht verringert wird. In die Abgasleitung dürfen keine Reduzierstücke oder Drosselventile eingebaut werden, durch die der Abgasdruck über den Atmosphärendruck ansteigen könnte. Edwards unterstützt Sie bei der Dimensionierung der Rohrweiten für lange Leitungsstrecken gern.
  • Seite 34: Vakuumeinlassrohrleitung

    Achten Sie darauf, dass das Vakuumsystem und die Anschlussleitungen sauber und frei von Schweißspritzern, Verschmutzungen oder Strahlmittel sind. Um das Eindringen von Fremdstoffen zu vermeiden, empfiehlt Edwards den Einbau von Einlassfiltern und Fallen. Bei der Verwendung von Einlassfiltern oder Fallen werden häufigere Ölwechsel empfohlen.
  • Seite 35: Installation Von Rootspumpen Mit Riemenantrieb

    Betriebsanleitung zu befolgen und das Antriebssystem regelmäßig zu inspizieren. Die axiale Riemenbelastung muss unter 890 N (200 lb) liegen. Tabelle 11 zeigt die zulässigen Mindestdurchmesser für Riemenscheiben. Bei Motoren mit über 30 kW (40 PS) nehmen Sie bitte Kontakt mit Edwards auf. Befolgen Sie alle Sicherheitsvorkehrungen in Abschnitt 3.1.
  • Seite 36: Drehmoment-Nennwerte

    5. Ermitteln Sie anhand des Durchmessers der kleinsten Riemenscheibe und des Riementyps die richtige Riemenspannkraft. Bei den von Edwards gelieferten Antriebsriemensystemen handelt es sich gewöhnlich um „B“-Ausführungen mit 3 Laufrillen. Prüfen Sie, ob jeder Riemen gleichmäßig belastet ist. Eine ungleichmäßige Belastung weist auf Fluchtungsfehler der Riemenscheiben oder nicht parallel liegende Wellen hin.
  • Seite 37: Installation Direkt Angetriebener Rootspumpen

    Bei Rootspumpen mit Direktantrieb ist die Motorkupplung bei Lieferung bereits eingestellt. Vor dem ersten Betrieb ist die Fluchtung jedoch nochmals zu überprüfen. Folgende Werte gelten für L190-Kupplungen. Nähere Informationen zu anderen Kupplungsgrößen erhalten Sie bei Edwards. Überprüfen Sie den Zustand des Kupplungsdistanzstücks (Stern) alle 2000 Betriebsstunden.
  • Seite 38: Ausrichtung Der Kupplung

    C. Falsche Ausrichtung 6. Abstand: 0,5 mm (0,02 Zoll) D. Falsche Ausrichtung 7. Antriebskupplungshälfte des Motors (falsch ausgerichtet) 8. Antriebskupplungshälfte der Pumpe (falsch ausgerichtet) Seite 30 © Edwards Limited 2014. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
  • Seite 39: Befüllung Der Pumpe Mit Öl

    Eine Rootspumpe, die bisher für Öle auf Kohlenwasserstoffbasis verwendet wurde und nun auf PFPE (Fomblin)-Öl umgestellt werden soll, darf nicht einfach mit dem neuen PFPE-Öl durchspült werden. Die Pumpe muss an ein Edwards-Kundendienstzentrum geschickt werden, um dort von qualifizierten Edwards Kundendiensttechnikern überholt und gereinigt zu werden. Bei einem Wechsel des Öltyps müssen die gesamte Pumpe zerlegt und alle Einzelteile gründlich gereinigt...
  • Seite 40: Perfluorpolyether (Pfpe)-Öl

    Verwenden Sie keine anderen Öle und mischen Sie beim Nachfüllen die verschiedenen Ölsorten nicht. Edwards empfiehlt, größere Reparaturen an Rootspumpen für den Sauerstoffeinsatz immer in einem Edwards Kundendienstzentrum ausführen zu lassen. Kleinere Reparaturen können vor Ort durchgeführt werden. Wegen der Möglichkeit gefährlicher Reaktionen auf Schmutz und bestimmte chemische Zusammensetzungen in einer...
  • Seite 41: Elektrische Anschlüsse

    Person. Zu den Kontrolleinrichtungen können Temperatur- und Druckwächter gehören. Ein Nichteinbau der vorgeschriebenen Kontrolleinrichtungen kann schwere Verletzungen oder den Tod von Personen, Anlagenschäden und das Hinfälligwerden der Gewährleistung durch Edwards nach sich ziehen. Hinweise zur Verdrahtung des Motors befinden sich im Schaltplan im Motor-Anschlusskasten. Sie können die spannungsumschaltbaren Motoren so konfigurieren, dass diese entweder mit Hochspannung oder Niederspannung betrieben werden können.
  • Seite 42: Überprüfung Der Drehrichtung

    Ist die Drehrichtung nicht korrekt, trennen Sie die Pumpe von der externen Stromversorgung ab, korrigieren Sie die elektrischen Anschlüsse an die Rootspumpe und wiederholen Sie die Prüfung der Drehrichtung. Seite 34 © Edwards Limited 2014. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
  • Seite 43: Betrieb

    Situationen getroffen worden sind. 11. Verwenden Sie zum Herausspülen von Prozessgasen und zur Belüftung der Pumpe auf Atmosphärendruck stets Inertgas oder andere sichere Gase. © Edwards Limited 2014. Alle Rechte vorbehalten. Seite 35 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
  • Seite 44: Inbetriebnahme

    3. Halten Sie die Vorvakuumpumpe an und entlüften Sie das Vakuumsystem, um einen Umkehrbetrieb zu vermeiden. Entlüften Sie das Vakuumsystem mit einem Gas, das nicht zu einer gefährlichen, toxischen, zündfähigen oder explosiven Situation führen kann. Seite 36 © Edwards Limited 2014. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
  • Seite 45: Wartung

    Öle, Fette und Dichtungen. Die Rootspumpe kann überhitzen, wenn sie für andere als die zulässigen Zwecke genutzt wurde, Fehlfunktionen aufwies oder Feuer ausgesetzt war. Die Datenblätter von Edwards zur Materialsicherheit für die in der Rootspumpe verwendeten fluorierten Materialien sind auf Anfrage erhältlich.
  • Seite 46: Lecksuche

    Wenden Sie sich an Ihren Lieferanten oder an Edwards, um eine Überholung der Pumpe zu vereinbaren. * Oder gemäß Empfehlung Ihres Lieferanten oder von Edwards. Allgemeine Wartungsarbeiten Lesen Sie vor dem Abschalten und der erneuten Inbetriebnahme der Rootspumpe nach Wartungsarbeiten an der Pumpe die Abschnitte 3.1...
  • Seite 47: Ölstand Überprüfen

    Eine Rootspumpe, die bisher für Öle auf Kohlenwasserstoffbasis verwendet wurde und nun auf PFPE (Fomblin)-Öl umgestellt werden soll, darf nicht einfach mit dem neuen PFPE-Öl durchspült werden. Die Pumpe muss an ein Edwards-Kundendienstzentrum geschickt werden, um dort von qualifizierten Edwards Kundendiensttechnikern überholt und gereinigt zu werden. Bei einem Wechsel des Öltyps müssen die gesamte Pumpe zerlegt und alle Einzelteile gründlich gereinigt...
  • Seite 48: Kupplung Warten

    Wenn das Axialspiel den vorgeschriebenen Wert überschreitet, wenden Sie sich an Ihren Händler oder an  Edwards, um die Rootspumpe instandsetzen zu lassen. 5. Bringen Sie die Schutzvorrichtungen wieder an. Seite 40 © Edwards Limited 2014. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
  • Seite 49: Motor Und Getriebe Reinigen

    Verwenden Sie geeignete persönliche Schutzausrüstung, wenn Sie die Flügelradsteuerung einstellen. Die Flügelradsteuerung darf nur von qualifiziertem Personal inspiziert werden. Kundendiensttechniker von Edwards stehen für Inspektionen vor Ort oder in einem Edwards Kundendienstzentrum zur Verfügung. Wird die Rootspumpe nicht einwandfrei gesteuert, kann dies zu katastrophalen Schäden an der Anlage führen.
  • Seite 50 Ölstand zu hoch Ölstand anpassen. Zu hohe Druckdifferenz Einschaltdruck und Vorvakuumpumpe überprüfen. Unzureichendes Vakuum System auf Leckverluste und Spülmengen prüfen, alle gefundenen Lecks abdichten. Seite 42 © Edwards Limited 2014. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
  • Seite 51 Naben schleifen Überprüfen, dass die Naben keinen Kontakt haben. Fluchtungsfehler des Motors Ausrichtung des Motors korrigieren. Dichtung quietscht Unzulässiger Ölstand Ölstand etwas absenken. © Edwards Limited 2014. Alle Rechte vorbehalten. Seite 43 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
  • Seite 52 S900-02-882 Issue A Diese Seite bleibt absichtlich frei. Seite 44 © Edwards Limited 2014. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
  • Seite 53: Lagerung Und Entsorgung

    Sicherheits- und Umweltschutzbestimmungen sicher entsorgt werden. Seien Sie besonders vorsichtig bei Bauteilen, die mit gefährlichen Prozessstoffen verunreinigt sind. Die Fluorelastomerdichtungen und O-Ringe nicht verbrennen. © Edwards Limited 2014. Alle Rechte vorbehalten. Seite 45 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
  • Seite 54 S900-02-882 Issue A Diese Seite bleibt absichtlich frei. Seite 46 © Edwards Limited 2014. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
  • Seite 55: Kundendienst Und Ersatzeile

    Werkspezifikationen. Anlagen und Geräte, an denen Kundendienst-, Reparatur- oder Instandsetzungsarbeiten durchgeführt wurden, gehen mit voller Gewährleistung an den Kunden zurück. Das Kundendienstzentrum in Ihrer Nähe kann auch Ingenieure von Edwards als Vor-Ort-Support für Wartung, Kundendienst oder Reparatur Ihrer Anlage bereitstellen.
  • Seite 56 S900-02-882 Issue A Diese Seite bleibt absichtlich frei. Seite 48 © Edwards Limited 2014. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
  • Seite 57 Diese Seite bleibt frei.
  • Seite 58 Diese Seite bleibt frei.
  • Seite 59: Rücksendung Von Ausrüstung Oder Komponenten An Den Kundendienst

    Sie die Anweisungen in HS1, füllen Sie das elektronische HS2-Formular aus, drucken Sie es aus, unterschreiben Sie es und senden Sie die unterschriebene Kopie an Edwards zurück. Hinweis: Wenn wir kein ausgefülltes HS2-Formular erhalten, akzeptieren wir die Rückgabe der...
  • Seite 60 edwardsvacuum.com...

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