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9.8
Strahllagenstabilität überwachen
In diesem Messmodus wird die Strahllagenstabilität eines Laserstrahls gemessen und bewertet. Dazu führt
der MSM+ HB abwechselnd Messungen an zwei verschiedenen z-Positionen durch.
Als Ergebnis wird die Lage des Schwerpunktes zum Tool Center Point (TCP) sowie die Verkippung zur opti-
schen Achse des Geräts ermittelt.
Nach einer vollautomatischen Vorkaustik, die idealerweise etwas oberhalb des Fokus gestartet wird, be-
stimmt der MSM+ auf der z-Achse die Fokusposition (z
Strahls.
Für die xy-Ebenen bei z1 (Fokusposition) und z2 (-2z
stimmt.
Die folgende Abbildung zeigt ein Beispiel für die Ermittlung eines Strahlschwerpunkts.
Die Koordinaten werden zur Berechnung der folgenden Werte verwendet:
•
x/y-Position und
•
Neigung (Winkel)
86
) und die Rayleigh-Länge (z
0
) werden die x/y-Koordinaten des Schwerpunkts be-
R
MSM+ HB
) des zu untersuchenden
R
Revision 00 DE - 02/2022
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