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INFICON
UL6000-Fab-Betriebsanleitung-iina75de1-04-(2109)
Elektronische Schnittstellen
Physikalische Daten
Kleinste nachweisbare Leckrate,
Vakuumbetrieb
Ansprechzeit, blindgeflanscht
Ansprechzeit, 50 l Volumen
Maximaler Einlassdruck (Vakuumbereich
MASSIVE)
Heliumsaugvermögen (Vakuumbereich
ULTRA, Einlassflansch DN63)
Heliumsaugvermögen (Vakuumbereich
ULTRA, Einlassflansch DN40)
Luftsaugvermögen der Vorpumpe
Zeit bis 1 mbar für 50 l Volumen
Belüftungszeit, 50 l Volumen bis 1000
mbar
Zeit für Kalibrierung
Hochlaufzeit
Messbare Massen
Kleinste nachweisbare Leckrate,
Schnüffelbetrieb
Gasfluss durch Schnüffelleitung SL200
Gasfluss durch Schnüffelleitung SL3000
Messbereich
Schalldruckpegel in Standby
Ionenquelle
*) Der A-bewertete Emissions-Schalldruckpegel am Standort des Bedienpersonals
beträgt bei sämtlichen vorhersehbaren Einsatzzwecken des Geräts jederzeit weniger
als 70 dB(A). Die Geräuschemissionsmessungserklärung wurde gemäß der
harmonisierten Norm DIN EN ISO 3744:2011 erstellt.
UL6000 Fab
USB, Ethernet, HDMI, SNIFFER,
ACCESSORIES, LD, REMOTE
CONTROL, SERVICE
UL6000 Fab
-12
< 5·10
mbar l/s
< 1 s
~ 1,4 s
Umgebungsdruck
> 36 l/s
~ 30 l/s
3
36 m
/h
< 52 s
~ 16 s
< 30 s
< 2 Minuten
4
He, H
, Masse 3 (z. B. H-D,
2
-8
< 5·10
mbar l/s
25 sccm
160 sccm
12 Dekaden
< 70 dB (A) *)
2 langlebige Iridiumkathoden,
Yttriumoxid-beschichtet
Beschreibung | 4
3
He oder H
)
3
35 / 154
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