INFICON UL6000 Fab Originalbetriebsanleitung Seite 105

INFICON
Typ Meldung
E312 Kathoden gebrochen
E340 Emissionsfehler
W342 Kathoden nicht
angeschlossen
W350 Suppressor nicht
angeschlossen
E352 Vorverstärker nicht
angeschlossen
W358 Vorverstärkerbereiche
alternieren
W359 Vorverstärker übersteuert
W360 Vorverstärker-
Ausgangssignal zu niedrig
W361 Die Offset-Spannung des
Vorverstärkers ist zu hoch
W362 Vorverstärker Bereichsfehler Vorverstärker defekt
W390 500 GOhm
Verstärkerwiderstand
außerhalb des Bereichs
UL6000-Fab-Betriebsanleitung-iina75de1-04-(2109)
Mögliche Fehlerquellen Störungsbeseitigung
Beide Kathoden defekt
Verbindung zur
Kathode unterbrochen
VI-Board oder MSB
defekt
Druck zu hoch mit
gealterter Kathode
Beide Kathoden defekt
während des
Selbsttests
Stecker der
Ionenquelle nicht
angeschlossen
Suppressorkabel nicht
angeschlossen oder
defekt
Vorverstärker defekt
oder Kabel nicht
angeschlossen
Vorverstärker defekt
Ungewöhnliche
Leckraten-Signalform
Ionenquelle oder
Vorverstärker defekt
Massenspektrometer
verunreinigt
Ionenquelle schlecht
Massenspektrometer
verunreinigt
Vorverstärker defekt
MSB defekt
Vorverstärker defekt
MSB defekt
Warn- und Fehlermeldungen | 7
• Wenden Sie sich an den Kundendienst
• Wenden Sie sich an den Kundendienst
• Wenden Sie sich an den Kundendienst
• Wenden Sie sich an den Kundendienst
• Wenden Sie sich an den Kundendienst
• Wenden Sie sich an den Kundendienst
• Wenden Sie sich an den Kundendienst
• Wenden Sie sich an den Kundendienst
• Wenden Sie sich an den Kundendienst
• Wenden Sie sich an den Kundendienst
• Wenden Sie sich an den Kundendienst
• Wenden Sie sich an den Kundendienst
• Wenden Sie sich an den Kundendienst
• Wenden Sie sich an den Kundendienst
• Wenden Sie sich an den Kundendienst
• Wenden Sie sich an den Kundendienst
• Wenden Sie sich an den Kundendienst
• Wenden Sie sich an den Kundendienst
• Wenden Sie sich an den Kundendienst
105 / 154