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C: Gasartabhängigkeit - Pfeiffer Vacuum IKR 261 Betriebsanleitung

Compact cold cathode gauge, ganzmetall
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Umrechnungstabelle
Gasartabhängigkeit
C:
Anzeigebereich unter 10
26
Messsignal U
[V]
< 0.5
0.5 ... 1.8
1.8
2.5
3.5
4.5
5.5
6.5
7.5
8.5
8.5 ... 10.5
Angezeigter Druck
(Messröhre für Luft abgeglichen)
p (hPa)
4
2
10
-3
8
6
4
2
10
-4
8
6
4
2
10
-5
8
6
4
2
10
-6
8
6
4
2
10
-7
10
-7
2
4
6
-5
hPa
Im Bereich unter 10
daher der Druck durch eine einfache Umrechnung ermittelt werden:
wobei
Die angeführten Umrechnungsfaktoren sind Mittelwerte.
[hPa]
Sensorfehler (sensor error)
Messbereichsunterschreitung (underrange)
-9
2.0×10
-8
1.0×10
-7
1.0×10
-6
1.0×10
-5
1.0×10
-4
1.0×10
-3
1.0×10
-2
1.0×10
Messbereichsüberschreitung (overrange)
Xe Kr
10
10
10
-6
-5
-4
2
4
6
2
4
6
-5
hPa ist die Anzeige linear. Für andere Gase als Luft kann
p
= K × angezeigter Druck
eff
Gasart
Luft (N
, O
, CO)
2
2
Xe
Kr
Ar
H
2
Ne
He
Druck p
[Torr]
[Pa]
-9
1.5×10
2.0×10
-9
7.5×10
1.0×10
-8
7.5×10
1.0×10
-7
7.5×10
1.0×10
-6
7.5×10
1.0×10
-5
7.5×10
1.0×10
-4
7.5×10
-3
7.5×10
Luft / Air
O
2
CO
N
H
Ar
2
2
10
10
-3
-2
2
4
6
2
4
6
p
(hPa)
eff
K
1,0
0,4
0,5
0,8
2,4
4,1
5,9
BG 5153 BDE / D
-7
-6
-5
-4
-3
-2
0.1
1.0
(2017-07)
IKR 261

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