Inhaltsverzeichnis
Werbung
Evakuieren Sie die Messröhre bis zu einem Druck entspre-
chend der nachfolgenden Tabelle:
F.S.
1100 mbar
1000 Torr
500 Torr/mbar
200 Torr/mbar
100 Torr/mbar
50 Torr/mbar
20 Torr/mbar
10 Torr/mbar
5 Torr/mbar
2 Torr/mbar
1 Torr/mbar
0.5 Torr/mbar
0.25 Torr/mbar
0.1 Torr/mbar
0.05 Torr/mbar
0.02 Torr/mbar
0.01 Torr
Die Messröhre mind. 2 Stunden betreiben (bis Messwert
stabil ist).
24
• die EtherCAT-Schnittstelle (→ [5], [6]),
• den digitalen Eingang "Remote Zero": Am Pin 10 die
Versorgungsspannung anlegen (Impuls → 10),
• ein INFICON-Messgerät (VGC-Serie).
Während der Aufwärmphase und bei Atmosphärendruck
ist der Nullpunktabgleich verriegelt, um Fehlbe-
dienungen zu verhindern.
<5×10
<3×10
<1×10
<5×10
<3×10
<1×10
<5×10
<3×10
<1×10
<5×10
<3×10
<1×10
<5×10
<3×10
<1×10
<5×10
Wird die Nullpunkteinstellung bei zu hohem Enddruck
durchgeführt (>25% von F.S.), kann Zero nicht erreicht
werden und die LED <STATUS> blinkt grün. In diesem
Fall erst die Werkseinstellungen aktivieren und dann den
Nullpunkt erneut abgleichen (→ 34).
Empfohlener Enddruck
bei Nullpunkteinstellung
0
−
<7×10
-2
0
Torr
<7×10
-2
0
Torr
<4×10
-2
-0
Torr
<2×10
-3
-1
Torr
<7×10
-3
-1
Torr
<4×10
-3
-1
Torr
<2×10
-4
-2
Torr
<7×10
-4
-2
Torr
<4×10
-4
-2
Torr
<2×10
-5
-3
Torr
<7×10
-5
-3
Torr
<4×10
-5
-3
Torr
<2×10
-6
-4
Torr
<7×10
-6
-4
Torr
<4×10
-6
-4
Torr
<2×10
-7
-5
Torr
<7×10
-2
Pa
<7×10
mbar
Pa
−
-2
Pa
<4×10
mbar
-2
Pa
<2×10
mbar
-3
Pa
<7×10
mbar
-3
Pa
<4×10
mbar
-3
Pa
<2×10
mbar
-4
Pa
<7×10
mbar
-4
Pa
<4×10
mbar
-4
Pa
<2×10
mbar
-5
Pa
<7×10
mbar
-5
Pa
<4×10
mbar
-5
Pa
<2×10
mbar
-6
Pa
<7×10
mbar
-6
Pa
<4×10
mbar
-6
Pa
<2×10
mbar
Pa
−
tina84d1-a
(2019-07)
Werbung
Inhaltsverzeichnis
