Verwandte Anleitungen für INFICON Stripe CDG045Dhs
Inhaltszusammenfassung für INFICON Stripe CDG045Dhs
- Seite 1 Capacitance Diaphragm Gauge Stripe™ CDG045Dhs Gebrauchsanleitung inkl. EU-Konformitätserklärung tina84d1-a (2019-07)
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Seite 2: Produktidentifikation
Produktidentifikation Im Verkehr mit INFICON sind die Angaben des Typenschildes erforderlich. Tragen Sie deshalb diese Angaben ein. Gültigkeit Dieses Dokument ist gültig für Produkte der Baureihe Stripe CDG045Dhs. Nachfolgend sind die Artikelnummern der Standardprodukte an- geführt. OEM-Produkte besitzen andere Artikelnummern und un- terscheiden sich durch die im Bestelltext definierten Parameter (z. - Seite 3 Sie finden die Artikelnummer (PN) auf dem Typenschild. Nicht beschriftete Abbildungen entsprechen einer Messröhre mit Vakuumanschluss DN 16 ISO-KF. Sie gelten sinngemäß auch für die anderen Vakuumanschlüsse. Technische Änderungen ohne vorherige Anzeige sind vorbehal- ten. tina84d1-a (2019-07)
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Seite 4: Bestimmungsgemäßer Gebrauch
Bestimmungsgemäßer Gebrauch Die temperaturgeregelten Capacitance Diaphragm Gauges der Serie Stripe CDG045Dhs sind Vakuum-Messröhren und erlau- ben die Absolutdruck-Messung von Gasen in unterschiedlichen Messbereichen (→ 3). Die Messdaten werden idealerweise digital über die EtherCAT- Schnittstelle oder analog ausgelesen. Die Messröhren können auch mit einem INFICON-Messgerät (VGC-Serie) oder mit... -
Seite 5: Inhaltsverzeichnis
Lieferumfang 1× Messröhre Stripe CDG045Dhs 1× Taststift 1× Kalibrierzertifikat 1× Gebrauchsanleitung deutsch 1× Gebrauchsanleitung englisch Inhalt Produktidentifikation Gültigkeit Bestimmungsgemäßer Gebrauch Funktion Marken Patente Lieferumfang Sicherheit Verwendete Symbole Personalqualifikation Grundlegende Sicherheitsvermerke Verantwortung und Gewährleistung Technische Daten Einbau Vakuumanschluss Elektrischer Anschluss 3.2.1 Stecker D-Sub, 15-polig 3.2.2 Stecker EtherCAT... - Seite 6 Betrieb Anzeigen Messröhre abgleichen 4.2.1 <ZERO> Adjust 4.2.2 <ZERO> Adjust mit Rampenfunktion Schaltfunktionen SP1, SP2, ATM, Status 4.3.1 Vakuumdruck-Schaltpunkte einstellen (SP1& SP2) 4.3.2 ATM-Schaltpunkt programmieren 4.3.3 Messröhren-Status programmieren Werkseinstellung laden (Factory Reset) Diagnostik-Port (USB-Schnittstelle) EtherCAT-Betrieb Ausbau Instandhaltung, Instandsetzung Produkt zurücksenden Produkt entsorgen Literatur EU-Konformitätserklärung...
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Seite 7: Sicherheit
Sicherheit Verwendete Symbole GEFAHR Angaben zur Verhütung von Personenschäden jeglicher Art. WARNUNG Angaben zur Verhütung umfangreicher Sach- und Umwelt- schäden. Vorsicht Angaben zur Handhabung oder Verwendung. Nichtbeachten kann zu Störungen oder geringfügigen Sachschäden führen. Hinweis <…> Beschriftung Personalqualifikation Fachpersonal Die in diesem Dokument beschriebenen Arbeiten dürfen nur durch Personen ausgeführt werden, welche die geeignete technische Ausbildung besitzen und über die nötigen Erfah- rungen verfügen oder durch den Betreiber entsprechend ge-... -
Seite 8: Grundlegende Sicherheitsvermerke
Sie die Schutzmaßnahmen ein. Geben Sie die Sicherheitsvermerke an alle anderen Benutzer weiter. Verantwortung und Gewährleistung INFICON übernimmt keine Verantwortung und Gewährleistung, falls der Betreiber oder Drittpersonen • dieses Dokument missachten • das Produkt nicht bestimmungsgemäß einsetzen • am Produkt Eingriffe jeglicher Art (Umbauten, Änderungen usw.) vornehmen... -
Seite 9: Technische Daten
Technische Daten Messbereich → "Gültigkeit" Präzision 0.01 … 0.05 F.S. 0.2% vom Messwert Genauigkeit 0.1 … 1100 F.S. 0.15% vom Messwert Temperatureinfluss auf Nullpunkt 0.01 … 0.02 F.S. 0.0100% F.S./ °C 0.05 … 0.5 F.S. 0.0050% F.S./ °C 1 … 1100 F.S. 0.0025% F.S./ °C Temperatureinfluss auf Bereich 0.01% vom Messwert / °C... - Seite 10 Identifikation Widerstand R 13.2 kΩ gegen Speisungserde Ident Spannung ≤5 V Remote Zero Adjust Digitaler Eingang für den Nullpunktabgleich mit exter- nem Schaltkontakt Externer Schaltkontakt 30 V (dc) / <5 mA (dc) Impuls >1 s … <5 s Schaltfunktionen Schaltpunkte SP1 & SP2, ATM, Status Schaltpunkte Einstellbereich SP1 &...
- Seite 11 Messröhre +14 … +30 V (dc) oder ±15 V (dc) Leistungsaufnahme während Aufheizphase ≤14 W in Betrieb ≤9 W Sicherung vorzuschalten 1.25 AT Messröhre ist gegen Verpolung der Versorgungsspannung und Überlast geschützt. INFICON-Messgeräte erfüllen diese Forderung. tina84d1-a (2019-07)
- Seite 12 Anschluss elektrisch D-Sub 15-polig, Stifte Messkabel 15-polig plus Abschirmung Kabellänge Versorgungsspannung 15 V ≤ 8 m (0.14 mm²/Leiter) ≤15 m (0.25 mm²/Leiter) Versorgungsspannung 24 V ≤43 m (0.14 mm²/Leiter) ≤75 m (0.25 mm²/Leiter) Versorgungsspannung 30 V ≤88 m (0.14 mm²/Leiter) ≤135 m (0.25 mm²/Leiter) Für längere Kabel sind größere Leiterquerschnitte erforderlich ≤1.0 Ω).
- Seite 13 Abmessungen [mm] Gewicht 837 … 897 g tina84d1-a (2019-07)
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Seite 14: Beziehung Messsignal Analog - Druck
Beziehung Messsignal analog – Druck Druck p 1.1×F.S. 1.0×F.S. 0.9×F.S. 0.8×F.S. 0.7×F.S. 0.6×F.S. 0.5×F.S. 0.4×F.S. 0.3×F.S. 0.2×F.S. 0.1×F.S. 0.0×F.S. Messsignal U p = (U / 10 V) × p (F.S.) Umrechnung Torr ↔ Pascal Torr mbar 1013.25 / 760 = 101325 / 760 = 1.00 1.3332…... -
Seite 15: Einbau
Einbau WARNUNG Bruchgefahr Schläge können den keramischen Sensor zer- stören. Produkt nicht fallen lassen und starke Schläge ver- meiden. Vakuumanschluss GEFAHR Überdruck im Vakuumsystem >1 bar Öffnen von Spannelementen bei Überdruck im Va- kuumsystem kann zu Verletzungen durch herum- fliegende Teile und Gesundheitsschäden durch ausströmendes Prozessmedium führen. - Seite 16 GEFAHR Schutzerdung Nicht fachgerecht geerdete Produkte können im Störungsfall lebensgefährlich sein. Die Messröhre muss galvanisch mit der geerdeten Vakuumkammer verbunden sein. Die Verbindung muss den Anforderungen einer Schutzverbindung nach EN 61010 entsprechen: • CF- und VCR-Anschlüsse entsprechen dieser Forderung. • Für KF-Anschlüsse ist ein elektrisch leitender Spannring zu verwenden.
- Seite 17 Einbaulage vertikal stehend oder 0.01 … 0.05 F.S. waagrecht gemäß "Cali- bration Test Report". vertikal stehend bis 0.1 … 1100 F.S. waagrecht Für einen manuellen Abgleich der Messröhre im eingebauten Zustand ist die Zugänglichkeit zu den Tastern mit einem Stift zu gewährleisten.
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Seite 18: Elektrischer Anschluss
Steckergehäuse mit der Erde verbinden. Das andere Schirmende offen lassen. • Die Speisungserde direkt beim Netzteil mit Schutz- erde verbinden. • Differentiellen Messeingang verwenden (getrennte Signal- und Speisungserde). • Potentialdifferenz zwischen Speisungserde und Gehäuse ≤18 V (Überspannungsschutz). INFICON-Messgeräte erfüllen diese Forderungen. tina84d1-a (2019-07) -
Seite 19: Stecker D-Sub, 15-Polig
3.2.1 Stecker D-Sub, 15-polig Falls kein Messkabel vorhanden ist, ein Messkabel gemäß fol- gendem Schema herstellen. Messkabel anschließen (Kabel- länge und -querschnitt → 12). Status Remote Zero Adjust Ident 10 Ω 14…30 V case Elektrischer Anschluss Pin 1, 4 Relais SP1, Schließer Pin 2 Signalausgang (Messsignal) -
Seite 20: Stecker Ethercat
3.2.2 Stecker EtherCAT EtherCAT ist eine Kommunikationsschnittstelle. Die Versorgung erfolgt über das Sensor Kabel. Falls keine EtherCAT Kabel vorhanden sind, Kabel gemäß folgendem Schema herstellen. EtherCAT Kabel anschließen. FCC68, 8-polig, lötseitig Pin 1 Sendedaten + Pin 2 Sendedaten - Pin 3 Empfangsdaten + Empfangsdaten - Pin 6... -
Seite 21: Stecker Mini-Usb Typ B (Diagnostik-Port)
3.2.3 Stecker Mini-USB Typ B (Diagnostik-Port) Handelsübliches USB-Kabel verwendbar. Falls kein Kabel vor- handen ist, Kabel gemäß folgendem Schema herstellen. Kabel anschließen. Mini-USB Typ B, lötseitig Pin 1 VBUS (5 V) Pin 2 Pin 3 Pin 4 Pin 5 tina84d1-a (2019-07) -
Seite 22: Betrieb
Betrieb Nehmen Sie die Messröhre in Betrieb. Bei Verwendung mit einem INFICON-Messgerät den Messbereich eingeben [1], [2], [3]). → Beachten Sie eine Aufwärmzeit der Messröhre von mindestens ½ Stunde, bei Präzisionsmessungen mindestens 2 Stunden. Anzeigen Zustand Bedeutung <STATUS> Keine Versorgungsspannung leuchtet grün... -
Seite 23: Messröhre Abgleichen
Messröhre abgleichen Die Messröhre ist ab Werk in vertikal stehender oder waagrech- ter Lage abgeglichen (→ "Calibration Test Report"). Den Nullpunkt bei der Erstinbetriebnahme einstellen. Langzeitbetrieb und Verschmutzung können zu einer Nullpunkt- verschiebung führen und periodisch eine Nullpunkteinstellung erfordern. Nullpunkteinstellung bei den gleichen, konstanten Umgebungs- bedingungen und bei gleicher Einbaulage durchführen, bei denen die Messröhre normalerweise verwendet wird. - Seite 24 • die EtherCAT-Schnittstelle (→ [5], [6]), • den digitalen Eingang "Remote Zero": Am Pin 10 die Versorgungsspannung anlegen (Impuls → 10), • ein INFICON-Messgerät (VGC-Serie). Während der Aufwärmphase und bei Atmosphärendruck ist der Nullpunktabgleich verriegelt, um Fehlbe- dienungen zu verhindern.
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Seite 25: Adjust Mit Rampenfunktion
Taster <ZERO> mit einem Stift (max. ø1.1 mm) kurz drücken, oder … … beim Remote Zero am Pin 10 die Versorgungsspannung anlegen (Impuls → 10). Der Nullpunkt-Abgleich erfolgt automatisch. Die <STATUS> Anzeige blinkt, bis der Abgleich (Dauer ≈8 s) abgeschlossen ist. - Seite 26 Weiterhin kann mit der Rampe ein Offset der Kennlinie einge- stellt werden, um • einen Offset vom Messsystem auszugleichen, oder • einen leicht positiven Nullpunkt für einen 0 … 10 V AD-Wand- ler zu erzeugen. Der Offset sollte nicht größer als 5% vom F.S. (+500 mV) sein. Bei größerem positivem Offset wird die obere Messbereichs- grenze überschritten.
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Seite 27: Schaltfunktionen Sp1, Sp2, Atm, Status
• Richtungswechsel (Inversrampe): Den Taster loslassen und innerhalb von 3 … 5 s erneut drücken und halten (die Blinkfrequenz der <STATUS> Anzeige ändert kurz). • Feineinstellung des Zero-Adjust Wertes: Den Taster loslassen und innerhalb von 3 s erneut kurz drücken. Der Wert ändert in Einzelschritten. - Seite 28 Schaltverhalten und Hysterese der Schaltpunkte • Low Trip Point (ab Werk), oder • High Trip Point Das Schaltverhalten und die Hysterese des jeweiligen Schaltpunktes können nur über den Diagnostik-Port (→ [4]) und die EtherCAT-Schnittstelle (→ [5], [6]) programmiert werden. Low Trip Point (ab Werk) Ist der Druck im Vakuumsystem niedriger als der eingestellte Schwellwert, leuchtet die jeweilige LED (<SP1>...
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Seite 29: Vakuumdruck-Schaltpunkte Einstellen (Sp1& Sp2)
High Trip Point Ist der Druck im Vakuumsystem höher als der eingestellte Schwellwert, leuchtet die jeweilige LED (<SP1> oder <SP2>) und der entsprechende Schaltkontakt ist geschlossen. Messsignal (Druck p) Schwellwert Hysterese Schaltpunkt (1% F.S.) Rückstellwert Zeit t 4.3.1 Vakuumdruck-Schaltpunkte einstellen (SP1& SP2) Die zwei Schaltpunkte sind auf einen beliebigen Druck im gan- zen Messbereich der Messröhre einstellbar. - Seite 30 GEFAHR Fehlfunktion Falls mit dem Signalausgang Prozesse gesteuert werden, ist zu beachten, dass das Drücken des Tasters <SP> das Messsignal unterbricht und statt- dessen den entsprechenden Schwellwert auf den Ausgang gibt. Dies kann zu Fehlfunktionen führen. Taster <SP> nur drücken, wenn gewährleistet ist, dass keine Fehlfunktion ausgelöst wird.
- Seite 31 • Richtungswechsel (Inversrampe): Den Taster loslassen und innerhalb von 3 … 5 s erneut drücken und halten (die Blinkfrequenz der <STATUS> Anzeige ändert kurz). • Feineinstellung des Schwellwertes: Den Taster loslas- sen und innerhalb von 3 s erneut kurz drücken. Der Wert ändert in Einzelschritten.
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Seite 32: Atm-Schaltpunkt Programmieren
Schwellwert SP1 programmieren Programmierbare Parameter: Low Trip Point Low Trip Enable (→ [4], [5], [6]) Low Trip Point Hysteresis High Trip Point High Trip Enable High Trip Point Hysteresis Setpoint Mode Schwellwert <SP2> einstellen Taster <SP> zweimal betätigen (LED <SP2> blinkt). Der Einstell- vorgang entspricht demjenigen von Schwellwert <SP1>. - Seite 33 Messsignal (Druck p) ATM-Schaltpunkt 110% (= Faktor 1.1) Schwellwert 1078 mbar Hysterese (1% F.S.) Rückstellwert Atmosphärendruck 980 mbar (Umgebung) Der aktuell programmierte ATM-Schwellwert • kann über den Diagnostik-Port gelesen und geschrieben werden (→ [4]) • kann über die EtherCAT-Schnittstelle gelesen und geschrie- ben werden (→...
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Seite 34: Messröhren-Status Programmieren
4.3.3 Messröhren-Status programmieren Die Vakuumdruck-Schaltpunkte SP1 & SP2 können über den Diagnostik-Port (→ [4]) oder über die EtherCAT-Schnittstelle (→ [5], [6]) auf Messröhren-Status umprogrammiert werden. Der Status der Messröhre wird als digitales Signal ausgegeben. Werkseinstellung laden (Factory Reset) Sämtliche vom Anwender gesetzten / veränderten Parameter (z. -
Seite 35: Ethercat-Betrieb
Ein gleichzeitiger Betrieb der Messröhre mit der EtherCAT-Schnittstelle und dem Diagnostik-Port ist nicht zulässig. Der Betrieb der Messröhre mit EtherCAT erfordert bei der über- geordneten Steuerung die Installation der für diese Messröhre spezifischen Stammdatei (ESI-Datei). Diese Datei kann von unserer Website heruntergeladen werden (www.inficon.com). tina84d1-a (2019-07) - Seite 36 Spezifische Gerätedresse ändern (ab Werk 00 Während der Initialisierung liest die Gerätefirmware die am Gerät eingestellte Adresse. Diese Adresse wird als spezifische Geräteidentifikation an den Master übertragen. Die Spezifische Gerätedresse wird in hexadezimaler Form (00 … FFF ) mit den Schaltern <x100>, <x10> und <x1> eingestellt.
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Seite 37: Ausbau
Ausbau WARNUNG Bruchgefahr Schläge können den keramischen Sensor zer- stören. Produkt nicht fallen lassen und starke Schläge ver- meiden. GEFAHR Kontaminierte Teile Kontaminierte Teile können Gesundheits- und Um- weltschäden verursachen. Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeiten über eine eventuelle Kontamination. Beim Umgang mit kontaminierten Teilen die einschlägigen Vor- schriften beachten und die Schutzmaßnahmen einhalten. - Seite 38 Vorsicht Verschmutzungsempfindlicher Bereich Das Berühren des Produkts oder von Teilen davon mit bloßen Händen erhöht die Desorptionsrate. Saubere, fusselfreie Handschuhe tragen und sauberes Werkzeug benutzen. Vakuumsystem belüften. Messröhre außer Betrieb setzen. Arretierungsschrauben lösen, Mess- und EtherCAT-Kabel ausziehen. ...
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Seite 39: Instandhaltung, Instandsetzung
Fehlfunktionen der Messröhre, die auf Verschmutzung zurückzuführen sind, fallen nicht unter die Gewähr- leistung. Wir empfehlen den Nullpunkt periodisch zu prüfen (→ 23). INFICON übernimmt keine Verantwortung und Gewährleistung, falls der Betreiber oder Drittpersonen Instandsetzungsarbeiten selber ausführen. Produkt zurücksenden WARNUNG Versand kontaminierter Produkte Kontaminierte Produkte (z. -
Seite 40: Produkt Entsorgen
Produkt entsorgen GEFAHR Kontaminierte Teile Kontaminierte Teile können Gesundheits- und Um- weltschäden verursachen. Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeiten über eine eventuelle Kontamination. Beim Umgang mit kontaminierten Teilen die einschlägigen Vor- schriften beachten und die Schutzmaßnahmen einhalten. WARNUNG Umweltgefährdende Stoffe Produkte oder Teile davon (mechanische und Elek- trokomponenten, Betriebsmittel usw.) können Um- weltschäden verursachen. -
Seite 41: Literatur
Literatur Gebrauchsanleitung Einkanal-Messgerät VGC401 tinb01d1 INFICON AG, LI–9496 Balzers, Liechtenstein Gebrauchsanleitung Zwei- & Dreikanal Mess- und Steuergerät VGC402, VGC403 tinb07d1 INFICON AG, LI–9496 Balzers, Liechtenstein Gebrauchsanleitung Ein-, Zwei- & Dreikanal Mess- und Steuergerät VGC501, VGC502, VGC503 tina96d1 INFICON AG, LI–9496 Balzers, Liechtenstein... - Seite 42 [10] ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0: Semiconductor Device profile – Part 2080: Specific Device Profile (SDP): Vacuum Pressure Gauge tina84d1-a (2019-07)
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Seite 43: Eu-Konformitätserklärung
EU-Konformitätserklärung Hiermit bestätigen wir, INFICON, für das nachfolgende Produkt die Konformität zu folgenden Richtlinien: • 2014/30/EU, Abl. L 96/79, 29.3.2014 (EMV-Richtlinie; Richtlinie über die elektromagnetische Verträglichkeit) • 2011/65/EU, Abl. L 174/88, 1.7.2011 (RoHS-Richtlinie; Richtlinie zur Beschränkung der Verwendung be- stimmter gefährlicher Stoffe in Elektro- und Elektronikgeräten) - Seite 44 LI–9496 Balzers Liechtenstein +423 / 388 3111 Fax +423 / 388 3700 reachus@inficon.com Original: Deutsch tina84d1-a (2019-07) t i na84d1-a www.inficon.com...