Inhaltsverzeichnis - Pfeiffer Vacuum HiQuad QMG 700 Betriebsanleitung

Inhaltsverzeichnis

Marken. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2
Haftungsausschluss . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2
Urheberrecht. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2
Inhaltsverzeichnis . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3
1 Sicherheit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
1.1 Verwendete Symbole . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
1.2 Bestimmungsgemäßer Gebrauch . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
1.3 Grundlegende Sicherheitsvermerke . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
1.4 Verantwortung und Gewährleistung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
1.5 Kurse. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
2 Systemübersicht . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
2.1 QMG 700 Quadrupol Massenspektrometer,
Komponenten und Module . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
3 Technische Daten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
3.1 Allgemeines . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
3.2 Systemchassis SC 700 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
3.3 Quadrupol Controller QC 700 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
3.4 Ionenquellenversorgung IS 716 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17
3.5 Hochspannungsversorgung HV 701 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
3.6 Hochspannungsversorgung HV 702 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
3.7 I/O System IO 700 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24
3.8 Feldbus FB 711. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26
3.9 Elektrometer-Vorverstärker EP 422 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27
3.10 Ionenzähler-Vorverstärker CP 400 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 28
4 Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30
4.1 QMG 700 Gesamtsystem . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31
4.2 Aufstellen des Systemchassis . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31
4.3 Einbau / Austausch von Steckmodulen im Systemchassis. . . . . . . . . . . . 32
4.4 Einbau Feldbus FB 711. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 34
4.5 Elektrometer-Vorverstärker EP 422 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 35
4.6 Ionenzähler-Vorverstärker CP 400 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 35
4.7 HF-Generator QMH 4xx . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 35
4.8 Analysator QMA 4x0 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 35
4.9 Systemverkabelung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 36
4.10 PC-Anschluss . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 42
4.11 IO 700 Verkabelung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 43
4.12 Betrieb von zwei und mehreren Chassis . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 43
5 Betrieb . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 44
5.1 Erste Inbetriebnahme . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 44
6 Instandhaltung. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 45
6.1 Wartung des Luftfilters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 45
7 Instandsetzung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 46
7.1 Sicherungswechsel . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 46
8 Zubehör . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 47
9 Produkt lagern . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 48
10 Produkt zurücksenden . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 49
11 Produkt entsorgen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 50
Anhang A Anschlussschema . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 51
Anhang B Literatur. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 52
Konformitätserklärung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 53
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