Die Mensch-Maschinen-Schnittstelle; Abb. 1: Beschreibung Einer Ath 1603 M Pumpe; Abb. 2: Beschreibung Einer Ath 2303 M Pumpe - Pfeiffer Vacuum ATH 1603 M Betriebsanleitung

4.2 Die Mensch-Maschinen-Schnittstelle
7
6
Abb. 1:
1 Splitterschutzfilter
2 Ansaugflansch (Hochvakuumflansch)
3 Neutralgasspülung (Purge)
4 Pumpenasslass (Pump exhaust)
8
7
Abb. 2:
1 Splitterschutzfilter
2 Ansaugflansch (Hochvakuumflansch)
3 Anschluss an die Stromversorgung
4 Neutralgasspülung (Purge)
Beschreibung einer ATH 1603 M Pumpe
6
5
Beschreibung einer ATH 2303 M Pumpe
1
2
3
4
5
5 Wasseranschluss IN/OUT
6 Anschluss an die Stromversorgung
7 Funktionserdung
1
2
3
4
5 Wasseranschluss (OUT)
6 Funktionserdung
7 Pumpenauslass (Pump exhaust)
8 Wasseranschluss (IN)
Produktbeschreibung
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