Produktbeschreibung; Produktidentifizierung; Lieferumfang; Produktanwendungen - Pfeiffer Vacuum ATH 1603 M Betriebsanleitung

Produktbeschreibung

4 Produktbeschreibung
4.1 Produktidentifizierung
Um das Produkt korrekt zu identifizieren, wenn Sie mit unserem Servicecenter sprechen, halten Sie
stets die Informationen bereit, die auf dem Typenschild stehen (siehe Kapitel „Aufkleber").
4.1.1 Lieferumfang
● 1 Magnetgelagerte Turbopumpe
● 1 Splitterschutzfilter (im Ansaugflansch der Pumpe)
● 2 am Produkt installierte Heberinge
● 1 Aufkleberbogen
● 1 Betriebsanleitung
die folgenden Komponenten sind abhängig vom Bestellnummernleitfaden vorhanden:
● 1 Kupferdichtung
● 1 Magnetventil Spülung
● 1 Satz Schrauben und Bolzen
● 1 Lufteinlassventil
4.1.2 Produktanwendungen
Der Pumpenhersteller hat eine Reihe von zuverlässigen magnetgelagerten Turbopumpen hoher Leis-
tungsfähigkeit mit aktiven Magnetlagern (AMB) und Verdichtungsphasen entwickelt. Diese Pumpen
können einen Einlassdruck in Höhe von 2 hPa oder einen Einlassdurchfluss von etwa 4000 sccm pum-
pen.
Sie wurden speziell für Plasmabeschichtungs- und -trockenätzverfahren für saubere Anwendungen so-
wie für F&D-Anwendungen entwickelt. Diese Pumpen werden über eine auf der Pumpe montierte oder
über ein Kabel verbundene Antriebselektronik gesteuert.
Diese Pumpen sind durch ihre Widerstandsfähigkeit, einen hohen Gasdurchsatz bei hohen Betriebsdrü-
cken und sehr geringen Wartungsanforderungen gekennzeichnet.
Kontaktieren Sie uns zu weitergehenden Informationen zu speziellen Anwendungen.
Pumpendrehzahl
Die Drehzahl der magnetgelagerten Pumpe kann zwischen einer Mindestdrehzahl und einer Nenndreh-
zahl ausgewählt und eingerichtet werden. Dadurch können die Pumpeneigenschaften entsprechend ei-
ner jeden Anwendung optimiert werden (z. B. Pumpen unter hohem Druck). Eine Unterscheidung wird
zwischen den folgenden Drehzahlen getroffen:
● Ausgewählte Drehzahl (=Stand-by-Drehzahl) zwischen Mindestdrehzahl und Nenndrehzahl.
● Werkseitig eingerichtete Nenndrehzahl.
Pumpe der Version M
Standardversion für die meisten sauberen Anwendungen. Diese Pumpenversion verfügt über kein Tem-
peraturmanagementsystem (kein TMS).
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Die Handfernbedienung (HHR) ist nicht im Lieferumfang der Pumpe enthalten. Zur Bestel-
lung, siehe Kapitel „Zubehör".