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Verwandte Anleitungen für Pfeiffer Vacuum ATH 2300 MT
Inhaltszusammenfassung für Pfeiffer Vacuum ATH 2300 MT
- Seite 1 BETRIEBSANLEITUNG Übersetzung des Originals ATH 2300 M/MT Magnetgelagerte Turbomolekularpumpe...
- Seite 2 Verwendung widersprechen oder explizit als vorhersehbarer Fehlgebrauch definiert sind. Urheberrechtshinweis (Copyright) Dieses Dokument ist das geistige Eigentum von Pfeiffer Vacuum, und alle Inhalte dieses Dokuments sind urheberrechtlich geschützt (Copyright). Sie dürfen ohne vorherige schriftliche Genehmigung von Pfeiffer Vacuum weder ganz noch auszugsweise kopiert, verändert, vervielfältigt oder veröffentlicht werden.
- Seite 3 Inhaltsverzeichnis Inhaltsverzeichnis Zu dieser Anleitung Gültigkeit 1.1.1 Mitgeltende Dokumente 1.1.2 Betroffene Produkte Zielgruppe Konventionen 1.3.1 Anweisungen im Text 1.3.2 Piktogramme 1.3.3 Aufkleber 1.3.4 Abkürzungen Sicherheit Allgemeine Sicherheitshinweise Sicherheitshinweise Sicherheitshinweise in Bezug auf entzündliche/pyrophore Materialien Sicherheitsmaßnahmen Bestimmungsgemäße Verwendung Vorhersehbarer Fehlgebrauch Transport und Lagerung Annahme des Produkts Handhabung der Pumpe Lagerung...
- Seite 4 7.4.1 Pumpe von der Anlage trennen 7.4.2 Entleeren des Wasserkreislaufs 7.4.3 Pumpe für den Versand vorbereiten Außerbetriebnahme Abschalten für längere Zeit Wiederinbetriebnahme Entsorgung Servicelösungen von Pfeiffer Vacuum Zubehör Ersatzteile Technische Daten und Abmessungen 12.1 Allgemeines 12.2 Technische Eigenschaften 12.3 Eigenschaften der Umgebung 12.4 Eigenschaften des Kühlwassers...
- Seite 5 Tabellenverzeichnis Tabellenverzeichnis Tab. 1: Auf die Anlage ausgeübte Lasten Tab. 2: Sichern des Hochvakuumflansches (Ansaugflansch) Tab. 3: Umrechnungstabelle: Druckeinheiten Tab. 4: Umrechnungstabelle: Einheiten für Gasdurchsatz Tab. 5: Eigenschaften der Umgebung Tab. 6: Eigenschaften des Kühlwassers Tab. 7: Eigenschaften des Stickstoffgases Tab.
- Seite 6 Abb. 8: Abmessungen ATH 2300 M Abb. 9: Abmessungen ATH 2300 MT Abb. 10: Abmessungen ATH 2300 MT mit OBC Abb. 11: Abmessungen des Magnetventils Spülung Abb. 12: Abmessungen des Einlassventils Abb. 13: Abmessungen des Wasserventils Abb. 14: Gewicht von ATH 2300 M-MT...
- Seite 7 Aufbewahren für späteres Nachschlagen. 1.1 Gültigkeit Diese Betriebsanleitung ist ein Kundendokument der Firma Pfeiffer Vacuum. Die Betriebsanleitung be- schreibt das benannte Produkt in seiner Funktion und vermittelt die wichtigsten Informationen für den sicheren Gebrauch des Geräts. Die Beschreibung erfolgt nach den geltenden Richtlinien. Alle Angaben in dieser Betriebsanleitung beziehen sich auf den aktuellen Entwicklungsstand des Produkts.
- Seite 8 Zu dieser Anleitung Hinweis Tipp 1.3.3 Aufkleber PURGE Anschluss des Spülkreises PUMP EXHAUST Pumpenauslass WATER MAX Pr 7 bar/101 psi Max. Druck des Wasserkreislaufs WATER Anschluss Wasserkreislauf Anschluss Funktionserdung Verriegeln des Anschlusses vor dem Verwenden der Pumpe. Erst trennen, wenn die Pumpe gestoppt hat LOCK Drehrichtung des Pumpenrotors Typenschild (Beispiel)
- Seite 9 Zu dieser Anleitung Dieser Aufkleber warnt Benutzer, dass sie Gefahr laufen, ver- letzt zu werden, wenn ihre Hände mit einer heißen Oberflä- che in Berührung kommen: Schutzhandschuhe müssen bei Arbeiten an der Pumpe stets getragen werden. Dieser Aufkleber warnt den Benutzer vor gepumpten Pro- zessgasen, die gefährlich oder giftig sein und zu Verletzun- gen oder zum Tod führen können.
- Seite 10 Sicherheit 2 Sicherheit 2.1 Allgemeine Sicherheitshinweise Im vorliegenden Dokument sind folgende 4 Risikostufen und 1 Informationslevel berücksichtigt. GEFAHR Unmittelbar bevorstehende Gefahr Kennzeichnet eine unmittelbar bevorstehende Gefahr, die bei Nichtbeachtung zum Tod oder zu schweren Verletzungen führt. ► Anweisung zur Vermeidung der Gefahrensituation WARNUNG Möglicherweise bevorstehende Gefahr Kennzeichnet eine bevorstehende Gefahr, die bei Nichtbeachtung zum Tod oder zu schweren Verlet-...
- Seite 11 ► Halten Sie die in dieser Anleitung beschriebene Installationsanleitung strikt ein. Pfeiffer Vacuum ist bei Nichteinhaltung der Installationsanleitung von der Gewährleistung und Haftung befreit. ► Verwenden Sie nur die von Pfeiffer Vacuum für den Anschluss der Anlage zugelassenen Origi- nalteile (siehe „Zubehör“).
- Seite 12 Sicherheit WARNUNG Verletzungsgefahr bei Kontakt mit unter Druck stehendem Stickstoff Das Produkt verwendet unter Druck stehenden Stickstoff als Spülgas. Nicht konforme Anlagen oder Anlagen, die nicht fachgerecht ausgeführt wurden, können das Leben der Benutzer gefährden. ► Installieren Sie ein Handventil im Kreislauf in einem Abstand von 3 m vom Produkt, so dass die Stickstoffzufuhr gesperrt werden kann.
- Seite 13 Sicherheit 2.3 Sicherheitshinweise in Bezug auf entzündliche/pyrophore Materialien Der Benutzer und/oder der Integrator ist/sind allein für die Sicherheit der Pumpenanlage, des Geräts und des Gasabsaugsystem verantwortlich. Der Benutzer und/oder der Integrator ist/sind für die Anwen- dung verantwortlich, die das Produkt verwendet. Das Pumpen pyrophorer oder entzündlicher Gase kann gefährlich sein.
- Seite 14 ● Die Turbomolekularpumpe muss mit einer geeigneten Vorpumpe kombiniert werden. ● Die Vakuumpumpe muss in der Industrieanlage integriert sein. ● Die Pumpe muss mit einer OBC- oder Magpower-Antriebselektronik von Pfeiffer Vacuum betrie- ben werden. ● Die MT-Pumpenversion kann zum Pumpen von kondensierbaren Flüssigkeiten verwendet wer- den, sofern keine Kondensation in der Pumpe stattfindet.
- Seite 15 Sicherheit ● Entlüften mit unzulässig hohen Entlüftungsraten ● Verwenden von Zubehör oder Ersatzteilen, die in dieser Betriebsanleitung nicht erwähnt werden ● Verwenden der Pumpe in potentiell explosiven Umgebungen ● Verwenden der Vakuumpumpe zur Druckerzeugung ● Verwenden in Bereichen mit ionisierender Strahlung ●...
- Seite 16 Transport und Lagerung 3 Transport und Lagerung 3.1 Annahme des Produkts Lieferbedingungen ● Vergewissern Sie sich, dass das Produkt während des Transports nicht beschädigt wurde. ● Sollte das Produkt beschädigt sein, setzen Sie sich mit dem Spediteur in Verbindung und informieren Sie den Hersteller. ►...
- Seite 17 Transport und Lagerung Nur Pumpe Pumpe mit OBC 1. Band 2. Hebering Heben der Pumpe an ihren Ringen Bei Handhabung der Pumpe muss eine dem Gewicht des Produkts angemessene Hebevorrich- tung verwendet werden. Das Gewicht und der Schwerpunkt variieren abhängig vom Modell (Siehe Kapitel „Abmessungen“).
- Seite 18 Produktbeschreibung 4 Produktbeschreibung 4.1 Produktidentifizierung Um das Produkt korrekt zu identifizieren, wenn Sie mit unserem Servicecenter sprechen, halten Sie stets die Informationen bereit, die auf dem Typenschild stehen (siehe Kapitel „Aufkleber“). 4.1.1 Lieferumfang ● 1 Magnetgelagerte Turbopumpe ● 1 Splitterschutzfilter (im Ansaugflansch der Pumpe) ●...
- Seite 19 1 Splitterschutzfilter Wasseranschluss OUT 2 Ansaugflansch (Hochvakuumflansch) Wasseranschluss IN 3 Neutralgasspülung (Purge) Pumpenauslass (Pump exhaust) Abb. 2: Beschreibung einer ATH 2300 MT Pumpe 1 Splitterschutzfilter Anschluss der Kabelversorgung des Heizbandes (optio- nal) 2 Ansaugflansch (Hochvakuumflansch) Wasseranschluss IN/OUT 3 Neutralgasspülung (Purge)
- Seite 20 ► Halten Sie die in dieser Anleitung beschriebene Installationsanleitung strikt ein. Pfeiffer Vacuum ist bei Nichteinhaltung der Installationsanleitung von der Gewährleistung und Haftung befreit. ► Verwenden Sie nur die von Pfeiffer Vacuum für den Anschluss der Anlage zugelassenen Origi- nalteile (siehe „Zubehör“).
- Seite 21 Installation 5.1.1 Installationsvorschriften Turbo Abb. 3: Mechanischer Anschluss der Pumpe an die Anlage 1 Vakuumkammer Rahmen 2 Anlage Sicherer Verankerungspunkt Beschreibung eines plötzlichen Blockierungsszenarios Die kinetische Energie des Rotors muss von der Anlage absorbiert werden, wenn die Pumpe plötzlich blockiert. Die maximal resultierenden Lasten wurden auf einem Prüfstand gemessen, indem die schlimmstmögliche Blockierung der Turbopumpe mit einem Aufteilen des Rotors in zwei Teile simuliert wurde, wobei sich die Pumpe mit Nenndrehzahl drehte.
- Seite 22 Installation Zeit ms Abb. 4: Diagramm der auf die Anlage ausgeübten Lasten - ATH 2300 M 1 Turbopumpe Pendelschieber Eigenschaften Einheit ATH 2300 M/MT Nenndrehzahl 31000 Energie Drehmoment (C) Max. kN·m Dauer ms Verzögerung ms Biegemoment (B) Max. kN·m Dauer ms Verzögerung ms Max.
- Seite 23 Installation Art des Ansaugflansches Einheit DN250 ISO-F DN250 CF-F oder ISO-K Anziehdrehmoment je Schraube N·m Antriebsdrehmoment 161500 355000 Länge der Schrauben * Die Art, Anzahl, der Grad und das Anziehdrehmoment der Schrauben sind ausschließlich und ob- ligatorisch. Tab. 2: Sichern des Hochvakuumflansches (Ansaugflansch) Der Hersteller empfiehlt die Verwendung eines Satz Schrauben, die für diesen Zweck entwickelt wurde (Zubehör).
- Seite 24 Installation Positionieren der Pumpe 1. Handhaben der Pumpe (siehe Kapitel „Handhabung der Pumpe“). 2. Befestigen und sichern Sie die Befestigungen der Turbomolekularpumpe, um die Sicherheit des Bedieners und die Betriebssicherheit zu garantieren (siehe Kapitel „Installationsvorschriften“). 3. Bringen Sie die Sicherheitsaufkleber in der Sprache des Betreibers an den am besten geeigneten und sichtbaren Stellen an der Pumpe an, um den Betreiber vor folgenden potentiellen Risiken zu warnen.
- Seite 25 Installation Abb. 6: Installation des Pumpeneinlasses nach oben weisend 1 Hubtisch (Beispiel) Installation des Pumpeneinlasses nach oben weisend Bei Handhabung der Pumpe muss eine dem Gewicht des Produkts angemessene Hebevorrich- tung verwendet werden. Das Gewicht und der Schwerpunkt variieren abhängig vom Modell (Siehe Kapitel „Technische Daten“...
- Seite 26 Installation Allgemeine Anweisungen für die Installation der Pumpe in eine Anlage in Übereinstimmung mit den besten Praktiken der Branche (Industrie) Die Anschlüsse am Ein- und Auslass dürfen keine übermäßige Belastung auf den Pumpenleitung aus- üben, was zu Lecks führen könnte. 1.
- Seite 27 Installation 5.3.2 Auslass der Pumpe WARNUNG Vergiftungsgefahr, wenn sich Prozessgase in der Atmosphäre befinden Der Hersteller hat keinen Einfluss darauf, welche Gase mit der Pumpe verwendet werden. Prozess- gase sind häufig toxisch, brennbar, korrosiv, explosiv und/oder anderweitig reaktionsfähig. Es besteht ein Risiko schwerer oder tödlicher Verletzungen, wenn diese Gase frei in die Atmosphäre entweichen können.
- Seite 28 Installation WARNUNG Verletzungsgefahr bei Kontakt mit unter Druck stehendem Wasser Das Produkt verwendet unter Druck stehendes Wasser als Kühlflüssigkeit. Nicht konforme Anlagen oder Anlagen, die nicht fachgerecht ausgeführt wurden, können das Leben der Benutzer gefährden. ► Installieren Sie ein Handventil im Kreislauf in einem Abstand von 3 m vom Produkt, so dass die Wasserzufuhr gesperrt werden kann.
- Seite 29 Installation Verfahren für die Montage der Klemmringanschlüsse Anschlüsse werden für die Verbindung von starren Rohren verwendet (Edelstahl, vernickeltes Kupfer usw.) 1. Führen Sie das Rohr mit den Klemmringen ein, bis es fest am Anschluss sitzt. 2. Arretieren Sie die Verbindung. 3.
- Seite 30 Installation WARNUNG Verletzungsgefahr bei Kontakt mit unter Druck stehendem Stickstoff Das Produkt verwendet unter Druck stehenden Stickstoff als Spülgas. Nicht konforme Anlagen oder Anlagen, die nicht fachgerecht ausgeführt wurden, können das Leben der Benutzer gefährden. ► Installieren Sie ein Handventil im Kreislauf in einem Abstand von 3 m vom Produkt, so dass die Stickstoffzufuhr gesperrt werden kann.
- Seite 31 Installation Spülgasvorrichtung 50 sccm Der Betrieb dieser Spülung erfolgt durchgehend. Die Spülreduzierung garantiert einen Durchfluss von 50 ؘsccm bei einem Druck von 1,1 · 10 hPa. Ist die Inertgasleitung mit einem Massendurchflussmesser ausgestattet, installieren Sie die Spülgasvorrichtung nicht. 1. Schließen Sie die Inertgaszufuhr direkt am Anschluss „Purge“ der Spülgasvorrichtung an (siehe Kapitel „Zubehör“).
- Seite 32 Installation 1 Magnetventil Lufteinlass Staubfilter 1. Schließen Sie das Magnetventil an den Anschluss PUMP EXHAUST der Pumpe an (verwenden Sie die Anschlusszubehörteile des Produktkatalogs). 2. Schließen Sie das Magnetventil an den Anschluss der Antriebselektronik an (siehe Betriebsanlei- tung der Antriebselektronik). 3.
- Seite 33 Installation WARNUNG Stromschlaggefahr durch Berührung bei Wartungs- oder Revisionsarbeiten Es besteht eine Stromschlaggefahr bei Berührung mit einem eingeschalteten Produkt, das nicht gal- vanisch getrennt ist. ► Vor Ausführung von Arbeiten stellen Sie den Netzschalter auf O. ► Trennen Sie das Stromkabel vom Stromnetz. ►...
- Seite 34 Installation Differentialschutzschalter Für den Fall eines Isolationsfehlers müssen Sie einen Differentialschutzschalter installieren, um das Personal zu schützen (siehe Kapitel „Eigenschaften der Stromversorgung“). Die Pumpe ist ein Gerät der Klasse 1 und muss deshalb geerdet werden. Der Benutzer muss sicher- stellen, dass die Anlage über einen Erdleiter verfügt, der ordnungsgemäß an den Erdanschluss ange- schlossen ist.
- Seite 35 Betrieb 6 Betrieb 6.1 Vorsichtsmaßnahmen für das Verwenden WARNUNG Vergiftungsgefahr, wenn sich Prozessgase in der Atmosphäre befinden Der Hersteller hat keinen Einfluss darauf, welche Gase mit der Pumpe verwendet werden. Prozess- gase sind häufig toxisch, brennbar, korrosiv, explosiv und/oder anderweitig reaktionsfähig. Es besteht ein Risiko schwerer oder tödlicher Verletzungen, wenn diese Gase frei in die Atmosphäre entweichen können.
- Seite 36 Betrieb 6.2 Inbetriebnahme der Pumpe 6.2.1 Einschalten ► Stellen Sie den Netzschalter der Antriebselektronik auf I: Die Antriebselektronik schaltet sich ein. 6.2.2 Start der Pumpe Die folgenden Schritte beschreiben den Verwenden der Pumpe ungeachtet der Steuerschnittstelle: ● Verwenden per HHR. ● Verwenden per REMOTE-Steuerung. ●...
- Seite 37 Betrieb 6.3 Abschalten der Pumpe 6.3.1 Abschalten der Pumpe HINWEIS Risiko der Beschädigung der Pumpe durch Erzeugung eines Lichtbogens Die Pumpe und ihre Antriebselektronik dürfen nicht vom elektrischen Netz abgeschaltet werden, be- vor der Rotor vollständig stillsteht und die Antriebselektronik vom Netz getrennt wurde: ein Lichtbo- gen wird erzeugt, wenn der Kreis unterbrochen wird, so dass interne Komponenten beschädigt wer- den können.
- Seite 38 Betrieb Wenn die Stromversorgung wieder hergestellt wird, bevor die Mindestdrehzahl erreicht wird, nimmt die Pumpe ihre anfängliche Geschwindigkeit ohne jede Unterbrechung wieder auf. Der Zähler der Kugella- ger zählt nicht herunter. Andernfalls, wenn die Mindestdrehzahl erreicht wird, bevor die Stromversorgung wieder hergestellt wird: ●...
- Seite 39 Wartung 7 Wartung 7.1 Sicherheitshinweise zur Wartung GEFAHR Gefahr für die Gesundheit aufgrund von Restspuren der Prozessgase in der Pumpe Prozessgase sind toxisch und gesundheitsschädlich. Sie können zu Vergiftungen und Tod führen. Vor Tennen der Pumpe müssen alle Reste von Prozessgasen entfernt werden. ►...
- Seite 40 Warnung ausgelöst: Die Hilfslager müssen unbedingt ausgetauscht werden. Wenn es zu weiteren Landungen kommt, geht der Zähler weiter nach unten bis auf 0 %. Diese Lager müssen von einem Pfeiffer Vacuum Servicecenter ausgetauscht werden. Rotor der Pumpe Die Lebensdauer des Pumpenrotors ändert sich mit den Betriebsbedingungen und den Anwendungen.
- Seite 41 6. Installieren einer neuen Pumpe (siehe Kapitel „Installation“). Machen Sie sich mit dem Verfahren der Service-Anforderung vertraut und füllen Sie die Kontaminati- onserklärung aus, wenn Produkte an unser Servicecenter zurückgesendet werden (siehe Kapitel “Ser- vicelösungen von Pfeiffer Vacuum”, Seite 47). 41/64...
- Seite 42 Wartung 7.4.1 Pumpe von der Anlage trennen Erinnerung an die Risiken und Sicherheitsmaßnahmen ● Beachten Sie die Sicherheitshinweise für Wartungsarbeiten. ● Befolgen Sie die speziellen Sicherheitshinweise gemäß den lokalen Gesetzen; diese Informationen werden von der Abteilung für Gesundheitsschutz und Arbeitssicherheit des Kunden bereitgestellt. Verfahren für das Trennen 1.
- Seite 43 Wartung dem über Anschlusszubehör verfügen, damit die Pumpe dicht versiegelt werden kann (siehe „Zube- hör“). Vollständiges Spülen 1. Installieren Sie den mit dem Injektor ausgestatteten Blindflansch an den Anschluss Purge. 2. Schließen Sie den Stickstoffkreislauf an den für diesen Zweck be- reitgestellten Gasanschluss an.
- Seite 44 Wartung Kennzeichnen der Pumpe 1. Bringen Sie diesen Aufkleber am Pro- dukt an, um die Benutzer zu warnen, dass die Pumpe mit unsicheren Produk- ten in Kontakt war. Exposure may result in severe injury or death. Preventive maintenance must be done by trained 2.
- Seite 45 Ansammlung von Prozessgasen im abgeschalteten Gerät Alle Prozesspumpen wurden für den Dauerbetrieb in Pumpanwendungen mit Prozessgasen entwi- ckelt und sollten nicht gestoppt werden. Pfeiffer Vacuum lehnt jegliche Gewährleistungen für die Kon- densation von Abfallprodukten, die Ansammlung von Pulver oder die Korrosion innerhalb der Pumpe für Prozesspumpen ab, die für längere Zeit abgeschaltet werden.
- Seite 46 Außerbetriebnahme Unsere Produkte enthalten verschiedene Werkstoffe, die recycelt werden können: Stahl, Edelstahl, Messing, Aluminium, Nickel, Kupfer, fluorierte Elastomere, PTFE, FEP und Elektronikbaugruppen. Be- sondere Vorsichtsmaßnahmen sind erforderlich bei: ● Fluorierten Elastomeren, die sich zersetzen können, wenn sie hohen Temperaturen ausgesetzt sind, ●...
- Seite 47 Wir sind stets darauf bedacht, unsere Kernkompetenz, den Service an Vakuumkomponenten, zu per- fektionieren. Nach dem Kauf eines Produkts von Pfeiffer Vacuum ist unser Service noch lange nicht zu Ende. Oft fängt Service dann erst richtig an. Natürlich in bewährter Pfeiffer Vacuum Qualität.
- Seite 48 6. Bringen Sie die Erklärung zur Kontaminierung außen an der Verpa- ckung an. ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG 7. Senden Sie nun Ihr Produkt an Ihr lokales Service Center. 8. Sie erhalten eine Rückmeldung/ein Angebot von Pfeiffer Vacuum. Für alle Serviceaufträge gelten unsere Verkaufs- und Lieferbedingungen sowie die Reparatur- und War- tungsbedingungen für Vakuumgeräte und -komponenten.
- Seite 49 Zubehör 10 Zubehör Zubehör Funktion Beschreibung Abmessung Bestellnr. Absperrventil Dieses Ventil wird verwendet, um Handventil siehe Herstellerkatalog das Vakuum in der Pumpe zu er- halten und in der Pumpleitung zu isolieren. Kupferdichtung DN 250 CF-F 303294 für CF-F-An- (Anz. 5) saugflansch Splitterschutzfil- Dieser Splitterschutzfilter schützt Gebogener Filter aus Edel-...
- Seite 50 Zubehör Zubehör Funktion Beschreibung Abmessung Bestellnr. Kabel Die Kabel für Lufteinlassventil und Spülventil werden durch die A462403-010 Antriebselektronik (Typ Magpower) gesteuert. 3,5 m A462403-035 A462403-050 10 m A462403-100 20 m A462403-200 Blindflansche, Spannkrallen und Klemmschellen finden Sie im Katalog für Anschlusszubehör auf der Website unter pfeif- fer-vacuum.com.
- Seite 51 Ersatzteile 11 Ersatzteile Beschreibung Bestellnr. Kommentare 24 V DC coil 038066 für Spülventil und Lufteinlassventil 24 V DC coil 108667 am Wasserventil Staubfilter 106229 auf Lufteinlassventil 51/64...
- Seite 52 Technische Daten und Abmessungen 12 Technische Daten und Abmessungen 12.1 Allgemeines Grundlagen für Technische Daten von Pfeiffer Vacuum Turbomolekularpumpen: ► Vorgaben des PNEUROP Komitees PN5. ► ISO 21360; 2007: „Vakuumtechnik – Standardverfahren zur Messung der Leistungsdaten von Va- kuumpumpen – Allgemeine Beschreibung“...
- Seite 53 Technische Daten und Abmessungen Technische Daten Einheiten ATH 2300 M ATH 2300 MT Maximaler Gasdurch- sccm 3000 1000 satz sccm 1300 sccm > 4000 > 1000 sccm > 4000 > 1000 0.25 0.015 Einlassdruck max. 0.04 0.006 Vorvakuum max, am Aus- lass 0.75...
- Seite 54 Technische Daten und Abmessungen 12.3 Eigenschaften der Umgebung Eigenschaften ATH 2300 M ATH 2300 MT Verwendung in Innenräumen Betriebshöhe bis zu 2000 m Schutzart IP 42 5 – 45 °C 5 – 25 °C Betriebsumgebungstemperatur Lagertemperatur -5 – +50 °C 80 % max. mit T ≤ 31 °C, bis max. 50 % mit T ≤ 40 °C...
- Seite 55 Technische Daten und Abmessungen Staub < 1 µm Öl < 0.1 ppm v Absoluter Druck 1 · 10 to 1.5 · 10 Tab. 7: Eigenschaften des Stickstoffgases 12.6 Elektrische Eigenschaften Eigenschaften des Drehstrommotors ATH 2300 M-MT (max. Werte) : Spannung zwischen den Phasen 40 Veff Netzfrequenz 1300 Hz...
- Seite 56 Technische Daten und Abmessungen 12.7 Abmessungen und Gewicht 48,2° 52,8 Exh. Exh. 1/4 NPT DN40 ISO - KF 22,5° 60° 50,5° DN16 115,5 ISO - KF Ø260 Abb. 8: Abmessungen ATH 2300 M Schwerpunkt 6 M10-6H Löcher auf Ø 190 max. Tiefe : 29 min.
- Seite 57 60° 50,5° DN16 ISO - KF 115,5 Abb. 9: Abmessungen ATH 2300 MT Schwerpunkt 5 M10-Löcher für die Handhabung Abstandsgleiche Löcher Ø d2 on Ø d1 6 M10-6H Löcher auf Ø 190 max. Tiefe : 29 min. Tiefe : 25...
- Seite 58 193,6 51,4 1/4 NPT 56,7 Exh. Abb. 10: Abmessungen ATH 2300 MT mit OBC Schwerpunkt Abstandsgleiche Löcher Ø d2 auf Ø d1 Abmessungen ATH 2300 MT mit OBC (mm) Ansaugflansch DN 250 232.5 323.5 325.5 ISO-F DN 250 232.5 323.5 325.5...
- Seite 59 Technische Daten und Abmessungen 83.8 Abb. 11: Abmessungen des Magnetventils Spülung 1 Anschluss an Pumpe Mögliche Drehung Abb. 12: Abmessungen des Einlassventils 1 1/8‘‘ NPT Anschlussbuchse 59/64...
- Seite 60 1/8 NPT 47,7 Abb. 13: Abmessungen des Wasserventils 1 Wasserventilkabel Ansaugflansch ATH 2300 M/MT ohne OBC ATH 2300 MT mit OBC Gewicht (kg) Gewicht (kg) DN 250 ISO-F DN 250 ISO-K DN 250 CF-F Abb. 14: Gewicht von ATH 2300 M-MT...
- Seite 61 EN 61000-3-3/A1 : 2019 EN IEC 61000-6-4 : 2019 Autorisierter Repräsentant im Vereinigten Königreich und der bevollmächtigte Vertreter für die Zusammenstellung der technischen Unterlagen ist Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park, MK169PS Newport Pagnell Unterschrift: Pfeiffer Vacuum SAS...
- Seite 62 EN 61000-3-3/A1 : 2019 EN IEC 61000-6-4 : 2019 Bevollmächtigter für die Zusammenstellung der technischen Unterlagen ist Herr Varen- nes Nicolas, Pfeiffer Vacuum SAS (eine vereinfachte Aktiengesellschaft nach französischem Recht), 98, avenue de Brogny B.P. 2069, 74009 Annecy cedex. Unterschrift:...
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