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Technische Daten und Abmessungen
12 Technische Daten und Abmessungen
12.1 Allgemeines
Grundlagen für Technische Daten von Pfeiffer Vacuum Turbomolekularpumpen:
► Vorgaben des PNEUROP Komitees PN5.
► ISO 21360; 2007: „Vakuumtechnik – Standardverfahren zur Messung der Leistungsdaten von Va-
► Enddruck: Einsatz einer Testkuppel und 48 Stunden des Aufheizens.
► Gasdurchsatz: mit Wasserkühlung.
► Kühlwasserverbrauch: Bei max. Gasdurchsatz, Wassertemperatur 20 °C.
► Schalldruckpegel: Abstand von 1 m von der Pumpe.
► Technische Daten ohne Splitterschutzfilter am Pumpeneinlass gemessen.
mbar
bar
Pa
hPa
kPa
Torr | mm Hg
Tab. 3:
mbar l/s
Pa m
sccm
Torr l/s
atm cm
Tab. 4:
12.2 Technische Eigenschaften
Technische Daten
Ansaugflansch
Auslassflansch
Spülflansch
Saugvermögen
1)
Kompressionsverhältnis
52/64
kuumpumpen – Allgemeine Beschreibung"
mbar
1
1000
0,01
1
10
1,33
Umrechnungstabelle: Druckeinheiten
mbar l/s
1
3
10
/s
-2
1,69 · 10
1,33
1,01
3
/s
Umrechnungstabelle: Einheiten für Gasdurchsatz
Einheiten
ISO-K
ISO-F
ISO-CF
ISO-KF
ISO-KF
N2
l/s
Ar
l/s
He
l/s
H2
l/s
N2
Ar
He
H2
bar
Pa
100
1 · 10
-3
1
1 · 10
5
1
1 · 10
-5
100
1 · 10
-3
0,01
1000
-3
133,32
1,33 · 10
1 Pa = 1 N/m
2
sccm
Pa m
3
/s
0,1
59,2
1
592
-3
1
1,69 · 10
0,133
78,9
0,101
59,8
ATH 2300 M
DN 250
DN 250
DN 250
DN 40
DN 16
2150
2000
1800
1100
8
> 1 · 10
> 1 · 10
8
> 3 · 10
4
> 2 · 10
3
hPa
kPa
Torr | mm Hg
1
0,1
0,75
1000
100
750
0,01
1 · 10
-3
7,5 · 10
1
0,1
0,75
10
1
7,5
1,33
0,133
1
Torr l/s
atm cm
0,75
0,987
7,5
9,87
-2
1,27 · 10
1,67 · 10
1
1,32
0,76
1
ATH 2300 MT
DN 250
DN 250
DN 250
DN 40
DN 16
2150
2000
1800
1100
8
> 1 · 10
> 1 · 10
8
> 3 · 10
4
> 2 · 10
3
-3
3
/s
-2
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