9.6 Hochfrequenz abgleichen und Massenskala kalibrieren
Pfeiffer Vacuum gleicht das HF/DC-Verhältnis eines PrismaPro so ab, dass bei einem bestimmten
HF/DC-Verhältnis immer nur eine Masse den Quadrupol-Massenfilter passieren kann. Durch einen
Feinabgleich ist das HF/DC-Verhältnis für jede ausgesuchte Masse genau bestimmbar.
9.6.1 Werksabgleich
Pfeiffer Vacuum stimmt das PrismaPro ab Werk je nach seinem Massenbereich auf unterschiedliche
Massen ab.
Masse [u]
1
2
4
28
86
134
293
Tab. 14:
9.6.2 PrismaPro auf stabile Betriebstemperatur bringen
Voraussetzungen
● Heizung aus
● EM
● Emission ein
● Parameter Scan: 0 – Max. u
● Parameter Dwell: 32 ms
● Parameter ppAMU:
Benötigte Software
● Web UI
Vorgehen
► Betreiben Sie das PrismaPro mindestens 1 Stunde, bevor Sie Einstellungen oder Kalibrierungen
9.6.3 Gasgemische für den Massenabgleich auswählen
Vorgehen
1. Verwenden Sie für den Massenabgleich verschiedene Gasgemische je nach Massenbereich und
2. Legen Sie für den Abgleich mindestens 3 Massen, je eine im unteren, mittleren und oberen Mas-
7)
Sicherungskopie der Hardware-Konfigurationsdatei
Erstellen Sie vor den Einstellungsarbeiten eine Sicherungskopie der Hardware-Konfigurati-
onsdatei des Analysators auf dem Testcomputer unter Verwendung der PV MassSpec-
Hardwarekonfiguration. Falls erforderlich lassen sich durch die Sicherungskopie die ur-
sprünglichen Einstellungen wieder herstellen.
Verwendetes
Gas
H
H
He
N
Kr
Xe
FC-5311
Massenabgleich
7)
aus
─ 10 (QMA mit Massenbreich bis 100 u)
─ 5 (QMA mit Massenbreich bis 200 u)
─ 1 (QMA mit Massenbreich bis 300 u)
durchführen.
Anforderung an die Genauigkeit.
senbereich, fest.
– Wenn Sie mehr als 3 Massen festlegen, erhöht dies die Qualität des Abgleichs.
nur bei QMA 250 M
Massenpositi-
100 u
onstoleranz [u]
Peakbreite bei 10 % der Peakhöhe (Auflösung)
±0,05
0,5 ±0,15
0,9 ±0,05
-
Wartung
200 u
300 u
0,5 ±0,15
0,5 ±0,15
0,9 ±0,05
0,9 ±0,05
-
59/88