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Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)
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Parameter
T1 (purge)
T2 (purge delay)
T3 (Evacuate Cyc)
V2 cycles
T6 (vent)
Gross Leak threshold
SEM Target
Beschreibung
► Um eine neue Methode zu erstellen, drücken Sie diese
Taste.
► Um eine Methode zu löschen, drücken Sie diese Taste.
► Um Messungen gemäß einer bestehenden oder einer
neu erstellten Methode durchzuführen, drücken Sie
diese Taste.
► Um den Methoden-Editor zu beenden, drücken Sie diese
Taste.
Beschreibung
Zeit in [s]. Während dieser Zeit werden die Prüfkammer
und das Volumen zwischen den 2 Dichtungsringen auf der
Prüfkammer zu Beginn des Messablaufs mit Spülgas
gespült.
Zeit in [s]. Wartezeit zwischen Spülen und Evakuieren des
Ventilblocks.
Zeit in [s]. Während dieser Zeit werden die Spülgase aus
der Prüfkammer, aus dem Volumen zwischen den
2 Dichtungsringen der Prüfkammer sowie aus dem
Ventilblock abgepumpt und aus dem System entfernt.
Anzahl der Zyklen gemäß benutztem Rezept. Bei jeweils
500 ms im Rezept dauert ein Zyklus etwa 1 Sekunde.
Während dieser Zeit wird Helium von allen Oberflächen
sowie aus dem Volumen zwischen den 2 Dichtungsringen
auf der Prüfkammer abgepumpt und aus dem System
entfernt. Nach Ablauf dieser Zeit ist nur noch Helium im
System vorhanden, welches maßgeblich aus dem
Prüfobjekt stammt.
Zeit in [s]. Während dieser Zeit werden die Prüfkammer
und das Volumen zwischen den 2 Dichtungsringen auf der
Prüfkammer nach dem Messablauf mit Spülgas gespült.
Schwellenwert für die obere Grenze für den Grobleck-
Test. Unterhalb dieses Schwellenwertes haben die zu
messenden Prüfobjekte definitionsgemäß keine
Groblecks. Dieser Wert muss größer sein als jeder
Messwert von Prüfobjekten ohne Grobleck. Siehe auch
"Schwellenwert für Grobleck-Test einstellen [} 67]".
Parameter im Zusammenhang mit dem SEM-Verstärker
des CHLD-Sensors.
► Verändern Sie nicht die Voreinstellung.
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