Agilent Technologies 1200 Serie Benutzerhandbuch Seite 9

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Einführung
Funktionsweise der Elektronik
Die Fehlerüberwachung prüft kontinuierlich die Fehlergrenze des Entgasers
(190 Torr).Wird die Fehlergrenze überschritten (z. B. bei einem Leck in der
Kammer), wird der Zeitgeber für den Störungsbetrieb aktiviert und die gelbe
Lampe leuchtet.Die Vakuumpumpe arbeitet dabei kontinuierlich.Kann die
Vakuumpumpe dabei keinen der beiden Betriebszustände innerhalb von 8
Minuten erreichen (Grenze der Zeitschaltung für den Störungsbetrieb), wird
die Fehlerschaltung aktiviert.Dieser schaltet die Vakuumpumpe ab und deakti-
viert das Magnetventil.Die Zustandsanzeige schaltet auf rot, und am Steuer-
ausgang (Remote) wird eine Störungsmeldung ausgegeben.
Am Remote-Anschluss wird dabei für die Dauer der Störung ein Kontakt
geschlossen (potentialfreier offener Kollektor, maximal 35 V Gleichstrom bei
50 mA).Diese Störungsmeldung wird gesetzt, wenn die Zustandsanzeige auf
rot schaltet.
Der kontinuierliche Modus ignoriert alle anderen Betriebszustände des Entga-
sers.Wird dieser entweder über den Schalter SW1 auf der Platine oder über
die Steuerleitung (Auxiliary Kabel) aktiviert, geht die Vakuumpumpe, solange
der Entgaser eingeschaltet ist, in den kontinuierlichen Betrieb.
Benutzerhandbuch zum Vakuumentgaser der Serie 1200 9