Verwandte Anleitungen für thyracont VSM72
Inhaltszusammenfassung für thyracont VSM72
- Seite 1 VSM72 Vakuum Messumformer Vacuum Transducer Betriebsanleitung Operating Instructions Downloaded from www.Manualslib.com manuals search engine...
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Seite 2: Inhaltsverzeichnis
Anschluss an Thyracont Anzeigegeräte ......7 3.3.2 Kundeneigene Spannungsversorgung ........ 8 Betrieb ..................... 9 Allgemeines ................9 Kommunikation ................. 10 4.2.1 Die serielle Schnittstelle des VSM72 ........ 10 4.2.2 Kommunikationsprotokoll ..........11 4.2.3 Befehlsübersicht ..............11 Gasart-Korrekturfaktoren ............13 Schaltpunkte ................14 Modus Kaltkathode .............. -
Seite 3: Hinweise Für Ihre Sicherheit
Ihrer Anlage ausgehen Beachten Sie die Sicherheits- und Unfall-Verhütungsvorschriften Prüfen Sie regelmäßig die Einhaltung aller Schutzmaßnahmen Installieren Sie das VSM72 unter Einhaltung der entsprechenden Umgebungsbedin- gungen; die Schutzart ist IP40, d.h. die Geräte sind geschützt gegen Eindringen von Fremdkörpern Beachten Sie beim Umgang mit den verwendeten Prozessmedien die einschlägigen Vorschriften und Schutzmaßnahmen... -
Seite 4: Vakuum Messumformer Vsm72
Gegenstecker SubD 15polig, XB1500002 2.3 Produktbeschreibung Der Vakuum Messumformer VSM72 dient zur Absolutdruck-Messung im Bereich 1000 – 5x10-9 mbar. Das Gerät kann an ein Thyracont Anzeigegerät ange- schlossen oder gemäß Anschlussbelegung mit einer kundeneigenen Span- nungsversorgung betrieben werden. Das analoge Mess-Signal 1,8V – 8,6V ist dabei über den gesamten Messbereich logarithmisch vom Druck abhängig. -
Seite 5: Installation
Bestimmungsgemäße Verwendung Das VSM72 dient ausschließlich der Totaldruckmessung im Bereich 1000 - 5x10-9 mbar. Es darf nur an geeignete und hierfür vorgesehene Komponenten angeschlossen werden. Nicht bestimmungsgemäße Verwendung Als nicht bestimmungsgemäß gilt der Einsatz zu Zwecken, die von oben genannten abweichen, insbesondere: der Anschluss an Geräte oder Komponenten, die laut ihrer Betriebs-... -
Seite 6: Vakuumanschluss
Vakuumanschluss Schmutz und Beschädigungen, insbesondere am Flansch, be- einträchtigen die Funktion dieses Gerätes. Beachten Sie bitte die beim Umgang mit Vakuumkomponenten erforderlichen Regeln in Bezug auf Sauberkeit und Schutz vor Beschädigung. - Staubschutzkappe entfernen (wird bei Instandhaltungsarbeiten wieder benötigt!) - Vakuumanschluss über Kleinflansch DN25 ISO KF (VSM72MV) oder DN40CF-Flansch (VSM72MVCF) herstellen - Bei Verbindung über Kleinflansch Metall-Spannelemente verwenden, die sich nur mit einem Werkzeug öffnen und schließen lassen (z.B. -
Seite 7: Elektrischer Anschluss
Elektrischer Anschluss 3.3.1 Anschluss an Thyracont Anzeigegeräte Wird der Messumformer an einem Thyracont Anzeigegerät betrieben, ist ein geeignetes Messkabel zu verwenden (siehe Zubehör). Anschluss des Messumformers niemals mit Spannung führen- dem Kabel herstellen! Stecker am Messumformer einstecken und mit Schrauben sichern. Gegenüber- liegenden Stecker am Anzeigegerät anstecken und sichern. -
Seite 8: Kundeneigene Spannungsversorgung
3.3.2 Kundeneigene Spannungsversorgung Der Messumformer kann auch mit anderen Anzeigegeräten oder kundeneigener Spannungsversorgung betrieben werden. Die elektrische Verbindung ist unter Verwendung geeigneter Kabel EMV-gerecht gemäß untenstehender Pinbelegung herzustellen: Stecker Typ SubD, PIN 1 17K2 15polig, männlich PIN 2 Pin 1: Identifikation PIN 3 Pin 2:... -
Seite 9: Betrieb
Der gemessene Ionenstrom ist ein Maß für die Anzahl der vorhandenen Gasmoleküle und somit für den Absolutdruck. Ausgangssignal Das Mess-Signal 1,8 – 8,6 V des VSM72 ist über den gesamten Messbereich von 5x10 - 1000 mbar logarithmisch vom Druck abhängig. Die Umrechnung erfolgt gemäß... -
Seite 10: Kommunikation
Kommunikation 4.2.1 Die serielle Schnittstelle des VSM72 Der Messumformer VSM72 verfügt über eine serielle Schnittstelle RS485. Um die Kommunikation über RS485 zu aktivieren, ist zunächst der Gummistopfen über dem Adress-Schalter zu entfernen (1) und anschließend der Adress- Schalter mit einem dünnen Schraubendreher oder ähnlichem Hilfsmittel auf einen Wert zwischen 1 und 15 einzustellen (2). -
Seite 11: Kommunikationsprotokoll
Der Messumformer reagiert auf Typanfragen, Messwertanfragen, Justierbefehle, und Befehle zum Setzen von Gasart-Korrekturfaktoren (siehe Abschnitt 4.3). Die Programmierung der beiden Relais-Schaltpunkte des VSM72 ist ebenfalls via RS485 möglich (siehe Abschnitt 4.4). Darüber hinaus lassen sich bestimmte Parameter konfigurieren, die das Verhalten der Sensorik bestimmen (siehe Abschnitt 4.5 und 4.6). - Seite 12 STRING lesen (VSM72: VSH208) Messwert FLOAT lesen Schaltpunkt S, s FLOAT lesen S, schreiben s (VSM72: SP1 und SP2) Gasart-Korrekturfaktor C, c UNSIGNED INT lesen C, schreiben c (VSM72: C1 für Pirani, C2 für Kaltkathode) Modus Kaltkathode I, i BOOLEAN...
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Seite 13: Gasart-Korrekturfaktoren
Gasart-Korrekturfaktoren Das Mess-Signal des VSM72 ist gasartabhängig. Das Gerät ist auf N bzw. trockene Luft abgeglichen. Für andere Gase kann die Druckausgabe unterhalb 0,1 mbar korrigiert werden, indem Korrekturfaktoren für beide Sensortypen via RS485 gesetzt werden. Die Messwerte der Sensoren werden dann bereits im Gerät jeweils mit den... -
Seite 14: Schaltpunkte
Die Schalter sind jeweils bei Druckwerten unterhalb der zugehörigen Sollwerte aktiv und es leuchten die entsprechenden Kontroll-LEDs auf der Steckerseite des VSM72. Die Schalthysterese ist fest auf 30% vom Sollwert eingestellt. Die Programmierung der beiden Sollwerte erfolgt via RS485-Schnittstelle. Address... -
Seite 15: Modus Kaltkathode
"1": Modus "aktiv" automatisches Ein- und Abschalten der Kaltkathode Bei deaktivierter Kaltkathode verhält sich der VSM72 wie ein reiner Pirani- Messumformer mit Messbereich 1000 – 1x10 mbar. Entsprechend bedeutet die Ausgabe "ur" in diesem Fall, dass der Druckwert unterhalb 1x10 mbar liegt. -
Seite 16: Modus Wertangleichung
Modus Wertangleichung Im VSM72 erfolgt standardmäßig ein kontinuierlicher Übergang zwischen Pirani- und Kaltkathodenbereich. Dabei findet eine Wertangleichung statt. Um das Verhalten des Messumformers den Prozessanforderungen optimal anzupassen, können mit dem Parameter "Modus Wertangleichung" per RS485 folgende Optionen konfiguriert werden: keine Wertangleichung, d.h. hartes Umschalten zwischen Pirani und Kaltkathode bei 1.0 x10... -
Seite 17: Nachjustieren
Nachjustieren Das Gerät ist ab Werk bei Versorgungsspannung 24V stehend, d.h. mit dem Flansch nach unten, abgeglichen. Andere Einbaulagen, Einsatz unter anderen klimatischen Bedingungen, extreme Temperaturschwankungen, Alterung oder Verschmutzung können ein Nachjus- tieren des Piranisensors erforderlich machen. Nachjustieren am Gerät Ein Nachjustieren auf Atmosphärendruck oder Nulldruck ist digital über den Taster "adj"... - Seite 18 "001j1l " Atmosphärendruck Justieren auf Atmosphärendruck "001j100023a " "001j100023a " Unlock Justierpunkt für "001j0k " "001j0k " Nulldruck Justieren auf Nulldruck "001j100016c " "001j100016c " Weitere Informationen zum Thyracont-Kommunikationsprotokoll finden Sie in Abschnitt 4.2. Downloaded from www.Manualslib.com manuals search engine...
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Seite 19: Ausheizen - Elektronik Abnehmen
Ausheizen - Elektronik abnehmen Soll die Vakuumkammer ausgeheizt werden, so darf die Temperatur am Sensorflansch 80° C nicht überschreiten. Höhere Ausheiztemperaturen bis maximal 150° C am Fla nsch können realisiert werden, wenn Sie die Elektronikeinheit und den Magneten des Messumformers vor dem Ausheizen des Sensors abnehmen. -
Seite 20: Wartung Und Service
Vorschriften und Schutzmaßnahmen. Das Gerät ist wartungsfrei. Äußerliche Verschmutzungen können mit einem feuchten Tuch beseitigt werden. Sollte wider Erwarten ein Schaden an Ihrem VSM72 auftreten, senden Sie das Gerät bitte mit einer ausgefüllten Kontaminationserklärung (siehe nächste Seite) zur Reparatur an uns. - Seite 21 Downloaded from www.Manualslib.com manuals search engine...
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Seite 22: Technische Daten
Technische Daten Messprinzip Wärmeleitfähigkeit Pirani / Kaltkathode (invertiertes Magnetron) Messbereich 1000 - 5x10 mbar (750 - 5x10 Torr) Max. Überlast 4 bar abs. Genauigkeit 1000 – 20 mbar: ca. 30 % f.r. (v. Messwert) 20 - 0,001 mbar: 10 % f.r. 0,001 –... - Seite 23 Betriebstemperatur 5...50 Lagertemperatur -20...+70 Ausheiztemperatur max. 150° C am Flansch bei abgenommener Elektronik Spannungsversorgung 19 - 30 VDC Leistungsaufnahme ca. 2,5 W Ausgangssignal 0 - 10 VDC Messbereich 1,8 - 8,6 VDC, logarithmisch Serielle Schnittstelle RS485: 9600 baud, 8 databit, 1 stopbit, no parity Elektrischer Anschluss Sub-D, 15-polig, männl., verschraubbar Vakuumanschluss...
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Seite 24: Konformitätserklärung
Konformitätserklärung Downloaded from www.Manualslib.com manuals search engine... - Seite 25 Operation With Other Supply And Evaluation Units ..31 Operation ..................32 General ..................32 Communication ................ 33 4.2.1 The Serial Interface Of The VSM72 ........33 4.2.2 Communication Protocol ........... 34 4.2.3 Survey of Commands ............34 Gas-Correction-Factors ............36 Switchpoints ................
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Seite 26: Safety Instructions
Comply with all safety instructions and regulations for accident prevention Check regularly that all safety requirements are being complied with Take account of the ambient conditions when installing your VSM72. The protection class is IP 40, which means the unit is protected against penetration of foreign bodies. -
Seite 27: Vacuum Transducer Vsm72
Measurement cable 6m for connection to VD9 display unit, W1506006 Counterplug 15pole, XB1500002 Product Description The VSM72 vacuum transducer is measuring total pressure in the range of 1000 - 5x10 mbar. The transducer can be connected to Thyracont display and control units or to customer related power supply and evaluation units in compliance with pin assignment. -
Seite 28: Installation
Proper Use The VSM72 serves exclusively to provide total pressure measurements in the range 1000 – 5x10 mbar. It may only be connected to components specifically provided for such purpose. Improper Use The use for purposes not covered above is regarded as improper, in particular: the connection to components not allowed for in their operating instructions the connection to components containing touchable, voltage carrying parts. -
Seite 29: Vacuum Connection
20 mbar. When mounting the transducer avoid forced twisting or violent opening. This can damage the VSM72! Overpressure in the vacuum system > 1 bar Accidental or unintended opening of clamp elements under... -
Seite 30: Electrical Connection
Electrical Connection 3.3.1 Operation With Thyracont Display Unit For operation of the transducer with a Thyracont display and control unit a suitable measurement cable must be used (see accessories). Do not connect or disconnect the transducer when the cable is on circuit! Connect the cables plug to the transducer and secure it with the screw. -
Seite 31: Operation With Other Supply And Evaluation Units
3.3.2 Operation With Other Supply And Evaluation Units The transducer can be operated with other customer related display units or voltage supplies. The electrical connection is to be made by means of suitable cables considering EMI demands and according to the pin description shown below: Socket Type SubD, PIN 1... -
Seite 32: Operation
The resulting ion current is a measure for the number of gas molecules present in the sensor and proportional to the absolute pressure. Output Signal The output signal 1,8 – 8,6 V of your VSM72 has a logarithmic dependence on pressure over the whole measurement range 5x10 - 1000 mbar. -
Seite 33: Communication
4.2.1 The Serial Interface Of The VSM72 The VSM72 transducer is equipped with a serial RS485 interface. To enable communication via RS485 please remove the rubber cap over the address switch (1) and then set the address switch to a value between 1 and 15 using a small screw driver or a similar tool (2). -
Seite 34: Communication Protocol
4.2.2 Communication Protocol Communication is carried out according to the Thyracont protocol. The commands are sent as ASCII-code in the following command frame: Address Code Data Address: 3 Bytes, decimal; address space RS485: 001 – 999 Code: 1 Byte, command parameter, upper case character for read... - Seite 35 (VSM72: VSH208) Measurement Value FLOAT read Setpoint S, s FLOAT read S, write s (VSM72: SP1 and SP2) Gas-Correction-Factor C, c UNSIGNED INT read C, write c (VSM72: C1 for Pirani, C2 for cold cathode) Mode Cold Cathode I, i...
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Seite 36: Gas-Correction-Factors
Gas-Correction-Factors The output signal of the VSM72 depends on type and composition of the gas being measured. The unit is adjusted for N and dry air. For other gases the pressure display can be corrected below 0.1 mbar by setting correction factors for both sensor types via RS485. -
Seite 37: Switchpoints
3.3.2. The switches are active below the corresponding pressure setpoints. The control LEDs at the connector side of the VSM72 are on then. The hysteresis is fixed to 30% from the setpoint value. The programming of both setpoints is done via RS485 interface. -
Seite 38: Mode Cold Cathode
Modus " enabled " start of cold cathode is automatically controlled by the transducer (standard) When the cold cathode is disabled your VSM72 behaves like a Pirani transducer with range 1000 – 1x10 mbar. Correspondingly the output "ur" in this case means that actual pressure is below 1x10 mbar. -
Seite 39: Mode Sensor Transition
Mode Sensor Transition By default the VSM72 performs a continuous transition between Pirani and cold cathode range whereupon an assimilation of the sensor signals is carried out. In order to adapt the performance of the transducer to the requirements of the vacuum process you can configure the parameter "mode sensor transition"... -
Seite 40: Readjustment
Readjustment by pushbutton Readjustment on atmosphere or zero pressure can be done by means of the adjust pushbutton ("adj") of the VSM72. The transducer will notice automatically which adjustment point is relevant. For zero adjustment actual pressure should be less than 5,0x10 mbar. - Seite 41 Adjustment on atmosphere "001j100023a " "001j100023a " Unlock adjustment point for "001j0k " "001j0k " zero pressure Adjustment on zero "001j100016c " "001j100016c " Please find further information about the Thyracont communication protocol in chapter 4.2. Downloaded from www.Manualslib.com manuals search engine...
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Seite 42: Bake-Out - Detachment Of Electronics
Bake-Out – Detachment of Electronics When a bake-out of the vacuum chamber is performed the temperature at the sensor flange must not exceed 80° C. Higher bake-out temperatures up to 150° C at the sen sor flange can be realized if the electronics unit and the magnets of the transducer are detached. -
Seite 43: Maintenance And Service
The unit requires no maintenance. External dirt and soiling can be removed by a damp cloth. Should a defect or damage occur on your VSM72, please send the instrument to us for repair and enclose a decontamination declaration. The unit is not prepared for customer repair! Malfunction of the unit, which is caused by contamination or break of filament is not covered by warranty. - Seite 44 Downloaded from www.Manualslib.com manuals search engine...
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Seite 45: Technical Data
Technical Data Measurement Principle Heat conduction Pirani / Cold Cathode (inverted magnetron) Measuring Range 1000 - 5x10 mbar (750 - 5x10 Torr) Max. Overload 4 bar abs. Accuracy 1000 - 20mbar: ca. 30 % f.r. (from reading) 20 - 0,001mbar: 10 % f.r. 0,001 –... - Seite 46 Storage Temperature -20...+70 ° C Bake Out temperature max. 150° C at the flange when electronics is detach ed Voltage Supply 19 - 30 VDC Power Consumption approx. 2,5 W Output Signal 0 - 10 VDC measuring range 1,8 - 8,6 VDC, logarithmic Serial Interface RS485: 9600 baud, 8 databit, 1 stopbit, no parity Electrical Connection...
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Seite 47: Declaration Of Conformity
Declaration of Conformity Downloaded from www.Manualslib.com manuals search engine... - Seite 48 Downloaded from www.Manualslib.com manuals search engine...