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Ursache
Der Hochvakuumbereich des Systems ist verunreinigt.
Beseitigung Reinigen Sie das Hochvakuumsystem.
Ursache
Überprüfen Sie die übrigen Bereiche des Systems auf Lecks und Verunreinigungen.
Beseitigung Wenn Sie die Fehler gefunden haben, reparieren Sie die Lecks und entfernen die
Verunreinigungen.
Ursache
Der Einlassdruck reicht nicht aus.
• Entfernen Sie die Pumpe aus dem System, und testen Sie den Endvakuumdruck der Pumpe allein
Beseitigung
(siehe ).
• Wenn der Einlassdruck unbefriedigend ist, überprüfen Sie die Pumpe auf Verunreinigungen, und
sehen Sie nach in .
• Überprüfen Sie die Pumpe auf Lecks. Ist die Leckrate > 1 × 10
wenden Sie sich an Ihren Lieferanten oder an Edwards.
Fehler
Die Pumpe ist sehr laut, oder es gibt zu starke Schwingungen oder beides
Ursache
Die Drehzahl der Pumpe stimmt mit der Resonanzfrequenz des Systems überein, mit
dem sie verbunden ist.
Beseitigung Ändern Sie die Eigenfrequenz des Systems, oder isolieren Sie die Pumpe mit Hilfe
flexibler Faltenbälge.
Ursache
Die Schwingung wird von der Drehschieber-Vorvakuumpumpe übertragen.
Beseitigung Montieren Sie flexible Faltenbälge oder einen Schwingungsdämpfer in der
Vorvakuumleitung.
Ursache
Das Geräusch ist unregelmäßig und wird immer stärker.
Beseitigung Ein Lager ist defekt. Wenden Sie sich an Ihren Lieferanten oder an Edwards.
Ursache
Die Pumpe erzeugt ein konstantes hohes Geräusch.
Beseitigung Der Rotor hat eine Unwucht. Wenden Sie sich an Ihren Lieferanten oder an Edwards.
Fehler
Keine serielle Datenübertragung
Ursache
Keine Stromversorgung, serielle Verbindung verloren.
Beseitigung Vergewissern Sie sich, dass die Stromversorgung eingeschaltet, die serielle Verbindung
angeschlossen und die Leitung „Serial Enable‟ (serielle Aktivierung) aktiv ist.
Ursache
Der Schiebeschalter befindet sich in der korrekten Position für RS232 oder RS485.
• Vergewissern Sie sich, dass die Stromversorgung eingeschaltet, die serielle Verbindung
Beseitigung
angeschlossen und die Leitung „Serial Enable‟ (serielle Aktivierung) aktiv ist.
• Links für RS485, rechts für RS232.
• Rechts für die parallele Steuerung und Überwachung.
Ursache
Inkorrekte Übertragungsrate und Knotenadresse.
Beseitigung Prüfen Sie, ob die Baudrate und beim Betrieb im Multidrop-Modus die Knotenadresse
den Angaben der Pumpe entsprechen.
Ursache
Vergewissern Sie sich, dass die rote Lampe nicht leuchtet oder blinkt.
Beseitigung Falls die LED leuchtet, führen Sie die Prüfungen auf Symptome durch, bei denen die
rote Alarm-LED leuchtet.
B8J200882_A - Fehlersuche
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