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4. Technische Daten
4.1 Betriebs- und Lagerungsbedingungen
Tabelle 2 Betriebs- und Lagerungsbedingungen
Bereich (Range)
Umgebungstemperaturbereich (Betrieb)
Umgebungsluftfeuchtigkeit
Maximale Betriebshöhe
Umgebungstemperaturbereich (Lagerung)
4.2 Allgemeine technische Daten
4.2.1 Tabelle: Technische Daten
Tabelle 3 Technische Daten
nEXT
Hochvakuumanschluss
Vorvakuumanschluss
Saugvermögen für
N
2
Ar
He
H
2
Gasdurchsatz
N
2
Ar
He
H
2
Kompressionsverhältnis
N
2
Ar
He
H
2
Enddruck mit zweistufiger
ölgedichteter Drehschieberpumpe
ISO-K/CF
max. zulässiger
Vorvakuumdruck für N
Betriebsdrehzahl
B8J200882_A - Technische Daten
DN
DN
-1
I · s
mbar · I · s
mbar
mbar
2
-1
min
Technische Daten
5 °C bis 40 °C
max. 85 % RH, (nicht
‑kondensierend)
4000 m
-15 °C bis 70 °C
730D
160 ISO-K
730
665
820
715
-1
< 3.5·10
Page 23
730D
930D
160 CF
200 ISO-K
25 KF
730
925
665
865
820
905
715
735
14
3.5
21
>> 14
11
> 1·10
11
> 1·10
8
1.2·10
6
4.0·10
-9
-10
/ < 6·10
15
49 200
930D
200 CF
925
865
905
735
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