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3. Übersicht
Eine Pumpe nEXT 730D oder nEXT 930D besteht aus einer Turbomolekularpumpe mit
einem dauerhaft angebrachten Motor-Controller, der die Ansteuerungselektronik
enthält.
Der Motor-Controller steuert die Stromversorgung der Pumpe. Er ermöglicht die
manuelle Anpassung der Standby-Drehzahl; alle anderen Steuerungen sind nur über die
Logik-Schnittstelle möglich. Um die Pumpe in Betrieb zu nehmen, schließen Sie sie an
Ihre eigene Steuereinrichtung und Ihre Stromversorgung an oder verwenden Sie den
Edwards TIC Turbo Instrument Controller, den TIC Turbo Controller oder den TAG
Controller und die Edwards Stromversorgung.
Zur Steuerung der Pumpe mit TIC ist ein Upgrade auf die TIC-Software erforderlich. Ein
TAG stellt die grundlegenden Steuerfunktionen zur Verfügung und zur Steuerung der
nEXT-Pumpe ist kein Software-Upgrade erforderlich.
Der Motor-Controller treibt den bürstenlosen Motor in der Pumpe an.
Die nEXT-Pumpen werden mit einem Ansaugsieb geliefert, das bei Pumpen der ISO-
Version in den Zentrier-O-Ring und bei Pumpen der CF-Version im Gehäuse eingebaut
ist. Das Ansaugsieb schützt die Pumpe vor Schäden, die entstehen könnten, wenn
Schmutzpartikel in die Pumpe gelangen.
nEXT-Pumpen verfügen über einen Belüftungsanschluss, über den die Pumpe und das
Vakuumsystem auf Atmosphärendruck belüftet werden können. Die Pumpe ist mit
einem manuellen Belüftungsventil ausgestattet. Dieses kann durch ein Magnetventil als
Belüftungsventil TAV5 ausgetauscht werden. Das TAV-Ventil kann direkt über den
integrierten Motor-Controller gesteuert werden.
nEXT-Pumpen verfügen über einen Spülanschluss: Ein Inert-Spülgas kann eingeleitet
werden, um Lager und Motor vor Korrosion zu schützen. Ein als Sonderzubehör
erhältlicher Belüftungsanschluss-Adapter und ein Spülgas-Drosselventil können auf den
Spülanschluss montiert werden, um den Durchsatz des Spülgases zu regeln und das
einströmende Gas zu filtern. Zusätzlich kann dieses genutzt werden, um die Leistung der
Pumpe, etwa für Gase mit niedriger Molekülmasse, zu optimieren.
Ein Druckluftkühler und ein Wasserkühlungsblock sind als Sonderzubehör zum Kühlen
der nEXT-Pumpen lieferbar
3.1 Bestellinformationen
Tabelle 1 Tabelle Bestellinformationen
Teile-Nr.
B8J200300
B8J200400
B8K200D00
B8K200F00
B8J200882_A - Übersicht
Name der Pumpe
nEXT 730D NW25 ISO-K 160
nEXT 730D NW25 CF 160
nEXT 930D NW25 ISO-K 200
nEXT 930D NW25 CF 200
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